技术总结
本发明公开了一种激光干涉仪的光路调校装置，包括测试光路和成像光路，测试光路中激光器S1发出的激光通过空间滤波器Q1，再经过偏振分光棱镜P1转折90度后通过其上方的1/4波片P3，再经过95/5分光镜P2转折90度后通过准直物镜Q2到达平面镜M4；成像光路包括平面镜M4，所平面镜M4位于测试光路中准直物镜Q2水平方向激光入射的另一侧，被反射回的激光沿水平返回，经过95/5分光镜P2转折90度后通过1/4波片P3，再经过所述偏振分光棱镜P1，然后通过反射镜M1和反射镜M2转折经过中继镜Q3，再经过反射镜M3转折到变焦镜头Q4，最终干涉激光成像在CCD相机S2上。
技术研发人员：张斌
受保护的技术使用者：茂莱（南京）仪器有限公司
文档号码：201610781966
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2017.01.11