1.一种光阻雾化处理设备，其特征在于，包括：操控座台、容置腔体、样品盒、进气管、紫外灯管以及吸附管；
所述容置腔体设置于所述操作座台上；所述样品盒设置于所述容置腔体中，所述样品盒用于放置光阻样品；所述进气管由所述操作座台穿入所述容置腔体中，且所述进气管与所述样品盒连通，所述进气管用于将惰性气体通入所述样品盒中；所述紫外灯管设置于所述容置腔体的内表面上，所述紫外灯管用于对放置于所述样品盒中的光阻样品进行紫外光曝光；所述吸附管与所述样品盒连通，且所述吸附管穿出所述容置腔体，所述吸附管用于收集由所述惰性气体吹出的经紫外光曝光后的光阻样品的碎裂物。
2.根据权利要求1所述的光阻雾化处理设备，其特征在于，所述容置腔体包括四个侧壁以及一个顶壁，所述四个侧壁两两相对设置，所述顶壁封闭在所述四个侧壁的一侧，所述操作座台封闭在所述四个侧壁的另一侧，以使所述操作座台的顶表面面向所述顶壁。
3.根据权利要求2所述的光阻雾化处理设备，其特征在于，所述四个侧壁中的至少一个被设置为能够打开或关闭。
4.根据权利要求3所述的光阻雾化处理设备，其特征在于，所述紫外灯管设置于所述能够打开或关闭的侧壁的内表面上。
5.根据权利要求2所述的光阻雾化处理设备，其特征在于，所述进气管由外部穿入所述操作座台中，并由所述操作座台的顶表面穿出，从而穿入所述容置腔体中；所述吸附管由所述容置腔体的顶壁穿出；
在所述进气管由所述操作座台的顶表面穿出之后，利用螺母在所述操作座台的顶表面上对所述进气管进行紧固；在所述吸附管由所述容置腔体的顶壁穿出之后，利用螺母在所述顶壁的外表面上对所述吸附管进行紧固。
6.根据权利要求1所述的光阻雾化处理设备，其特征在于，所述样品盒呈长方体形，所述样品盒包括：上壁、下壁、左侧壁、右侧壁、前侧壁以及后侧壁，所述进气管连接到所述下壁，所述吸附管连接到所述上壁；
在所述进气管连接到所述下壁之后，利用螺母在所述下壁的外表面上紧固所述进气管；在所述吸附管连接到所述上壁之后，利用螺母在所述上壁的外表面上紧固所述吸附管。
7.根据权利要求6所述的光阻雾化处理设备，其特征在于，所述左侧壁或其部分和/或所述右侧壁或其部分被设置为能够打开或关闭。
8.根据权利要求1所述的光阻雾化处理设备，其特征在于，所述光阻雾化处理设备还包括温度探测器，所述温度探测器设置于所述容置腔体中，以探测所述容置腔体中的温度。
9.根据权利要求8所述的光阻雾化处理设备，其特征在于，所述操控座台包括：
总气压指示表，用于指示惰性气体源的压力；
电源开关，用于控制电源的打开或关闭；
控制键盘，用于设定工作温度、光阻样品处理时间以及所述样品盒中的气体流量；
温度控制系统，用于将所述容置腔体中的温度保持到所述工作温度；
显示屏，用于显示工作过程中的设定参数；
启动开关，用于控制对所述样品盒中的光阻样品进行处理的开始或停止。
10.一种光阻雾化处理系统，其特征在于，包括惰性气体源以及权力要求1至9任一项所述的光阻雾化处理设备，所述光阻雾化处理设备的进气管与所述惰性气体源连通。