技术总结
本发明公开一种光阻雾化处理设备，其包括：操控座台、容置腔体、样品盒、进气管、紫外灯管以及吸附管；容置腔体设置于操作座台上；样品盒设置于容置腔体中，样品盒用于放置光阻样品；进气管由操作座台穿入容置腔体中，且进气管与样品盒连通，进气管用于将惰性气体通入样品盒中；紫外灯管设置于容置腔体的内表面上，紫外灯管用于对放置于样品盒中的光阻样品进行紫外光曝光；吸附管与样品盒连通，且吸附管穿出容置腔体，吸附管用于收集由惰性气体吹出的经紫外光曝光后的光阻样品的碎裂物。本发明的光阻雾化处理设备能够对光阻材料进行雾化处理，从而便于光阻材料的雾化表现的评估，以筛选出优质光阻材料，减少因光阻材料导致的损失。
技术研发人员：巫景铭
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
文档号码：201610889971
技术研发日：2016.10.11
技术公布日：2017.03.08