采用非球面透镜的激光解析离子源激光光路的制作方法

文档序号:12358279阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种采用非球面透镜的激光解析离子源激光光路,包括倾斜设置在离子源腔体(1)左上方的激光光纤头调节器(2),所述激光光纤头调节器(2)下方设置有透镜组支架,其特征在于:所述透镜组支架上依次设置有与激光光纤头调节器(2)主光轴同轴的准直用平凸透镜(3)、聚焦用非球面透镜(4)和聚焦用凸透镜(5),所述准直用平凸透镜(3)、聚焦用非球面透镜(4)和聚焦用凸透镜(5)的球差之和为零。

2.根据权利要求1所述的采用非球面透镜的激光解析离子源激光光路,其特征在于:所述准直用平凸透镜(3)的直径为15~35mm,焦距为40~100mm,所述聚焦用非球面透镜(4)的直径为15~35mm,焦距为20~100mm,圆锥系数为-0.7~-0.95,所述聚焦用凸透镜(5)的直径为10~35mm,焦距为50~115mm,所述入射光纤(6)头部与准直用平凸透镜(3)的间距H1在25~35mm之间,聚焦用凸透镜(5)与聚焦焦点(7)的间距H2在25~35mm之间,准直用平凸透镜(3)与聚焦用非球面透镜(4)的间距H3在75~90mm之间,聚焦用非球面透镜(4)与聚焦用凸透镜(5)的间距H4在8~18mm之间。

3.根据权利要求1或2所述的采用非球面透镜的激光解析离子源激光光路,其特征在于:位于所述聚焦用非球面透镜(4)和聚焦用凸透镜(5)之间的所述离子源腔体壁面上开设有排气孔(8)。

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