1.一种柔性曲率传感器,其特征在于:
包括2个压合在一起的应变片;所述每个应变片包括敏感栅、柔性基底和引出线,所述敏感栅位于柔性基底中央,上面覆盖有保护层,所述敏感栅连接2根引出线;2个应变片以基底相对,其中一个旋转180°后压合而成,敏感栅的测量栅完全重合。
2.一种柔性曲率传感器,其特征在于:
包括2个压合在一起的应变片;所述每个应变片包括2个测量方向相互垂直的敏感栅、柔性基底,所述敏感栅位于柔性基底中央,上面覆盖有保护层,所述敏感栅连接2根引出线;2个应变片以基底相对,完全重合。
3.如权利要求1或2所述的一种柔性曲率传感器,其特征在于:
所述应变片敏感栅材质为康铜箔,基底和保护层材质为酚醛环氧树脂,引出线为细铜丝。
4.一种如权利要求1所述的柔性曲率传感器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
a)将箔材剪裁成大于光刻版的尺寸,除去箔材表面的油脂和脏物;
b)用胶黏剂旋涂于箔材上制作胶膜基底;
c)采用传统的光刻方法制作2个的相同的应变片;
d)将2个应变片以基底相对,其中一个旋转180°后压合在一起,其中敏感栅的测量栅完全重合;
e)将成品进行灵敏度系数的标定。
5.一种如权利要求2所述的柔性曲率传感器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
a)将箔材剪裁成大于光刻版的尺寸,除去箔材表面的油脂和脏物;
b)用胶黏剂旋涂于箔材上制作胶膜基底;
c)采用传统的光刻方法制作2个的相同的应变片;所述每个应变片包括2个测量方向相互垂直的敏感栅;
d)将2个应变片以基底相对压合在一起,其中敏感栅完全重合;
e)将成品进行灵敏度系数的标定。
6.如权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述步骤a)具体为:
1)将康铜箔剪裁成大于光刻版的尺寸;
2)采用丙酮溶液除去箔材表面的油脂和脏物;
所述步骤b)具体为:
1)选择酚醛环氧树脂作为胶黏剂,用旋涂的方法使箔材表面的胶液分布均匀;
2)水平台上晾置、干燥,在150℃的温度下保持约2个小时,直到其固化;
所述步骤c)具体为:
1)采用光刻技术,经涂胶、前烘、曝光、显影之后,用三氯化铁溶液将箔材刻饰成敏感栅;
2)用高倍显微镜对制作好的应变片进行外形检查;
3)用稀释的三氯化铁溶液作腐蚀剂,将应变片阻值调整到120Ω;
4)去除光刻胶之后,采用贴膜法在敏感栅上覆盖一层保护膜;
5)焊接端头接线;
6)按照基底上的尺寸标志进行剪裁,之后进行规格及电阻值的检查;
所述步骤d)具体为:
1)在基底上旋涂胶黏剂之后采用升温加压的方式将2个应变片以基底相对,其中一个旋转180°后压合在一起,其中敏感栅的测量栅完全重合。
7.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤a)具体为:
1)将康铜箔剪裁成大于光刻版的尺寸;
2)采用丙酮溶液除去箔材表面的油脂和脏物;
所述步骤b)具体为:
1)选择酚醛环氧树脂作为胶黏剂,用旋涂的方法使箔材表面的胶液分布均匀;
2)水平台上晾置、干燥,在150℃的温度下保持约2个小时,直到其固化;
所述步骤c)具体为:
1)采用光刻技术,经涂胶、前烘、曝光、显影之后,用三氯化铁溶液将箔材刻饰成敏感栅;每个应变片包括2个测量方向相互垂直的敏感栅;
2)用高倍显微镜对制作好的应变片进行外形检查;
3)用稀释的三氯化铁溶液作腐蚀剂,将应变片阻值调整到120Ω;
4)去除光刻胶之后,采用贴膜法在敏感栅上覆盖一层保护膜;
5)焊接端头接线;
6)按照基底上的尺寸标志进行剪裁,之后进行规格及电阻值的检查;
所述步骤d)具体为:
1)在基底上旋涂胶黏剂之后采用升温加压的方式将2个应变片以基底相对,压合在一起,其中敏感栅完全重合。
8.如权利要求6或7所述的制备方法,其特征在于,所述步骤e)具体为:
1)分别测量已知曲率半径的被测件,通过万用表来读取电阻的改变值;
2)画出曲率半径和电阻变化值之间的关系图;
3)用最小二乘法进行线性拟合得到整个曲率传感器的灵敏度系数。