技术总结
本发明属于光学薄膜领域，具体涉及一种氟化钇光学薄膜材料在红外波段的光学常数计算方法。本发明通过建立氟化钇薄膜介电常数的四振子复合模型，将测量的基底—薄膜光谱反射率和光谱透射率作为复合目标，利用基底—薄膜物理模型反演计算出薄膜的介电常数，并通过介电常数计算出薄膜的光学常数。本方法对于所有不同沉积方式制备的氟化钇薄膜材料光学常数具有普适性。
技术研发人员：刘华松;陈丹;刘丹丹;杨霄;孙鹏;冷健;季一勤
受保护的技术使用者：天津津航技术物理研究所
文档号码：201611062442
技术研发日：2016.11.25
技术公布日：2017.05.17