1.一种用于半导体气敏传感器的老化装置，包括供气装置，其特征在于：所述的用于半导体气敏传感器老化装置还包括用于控制气体流量的阻尼管，所述的阻尼管一端为进气口，进气口与供气装置连接，另一端为用于连接要进行老化处理的半导体气敏传感器的出气口。
2.根据权利要求1所述的用于半导体气敏传感器的老化装置，其特征在于：所述的用于半导体气敏传感器的老化装置还包括用于与要处理的半导体气敏传感器连接的电路控制和信号采集模块。
3.根据权利要求1或2所述的用于半导体气敏传感器的老化装置，其特征在于：所述的供气装置包括第一两通阀门、第二两通阀门、三通接头、高纯空气供给器及还原性气体供给器；所述的三通接头一端连接阻尼管的进气口，所述的第一两通阀门一端连接高纯空气供给器，另一端连接三通阀门，所述的第二两通阀门一端连接还原性气体供给器，另一端连接三通阀门。
4.根据权利要求3所述的用于半导体气敏传感器的老化装置，其特征在于：所述的第一、二两通阀门为两通电磁阀。
5.根据权利要求1或2所述的用于半导体气敏传感器的老化装置，其特征在于：所述的阻尼管为石英阻尼管。