一种集成片式氧传感器的制作方法

文档序号:12115568阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集成片式氧传感器,包括氧化锆基体(1)、多孔保护层(2)、陶瓷绝缘层(3)和加热层(5),其特征在于,所述氧化锆基体(1)的上方设有多孔保护层(2),所述氧化锆基体(1)的下方设有陶瓷绝缘层(3),所述陶瓷绝缘层(3)的下方设有加热层(5),所述氧化锆基体(1)和陶瓷绝缘层(3)之间设置有参比气层(4),所述参比气层(4)内设置有通气体(41)和扩散孔(42),所述通气体(41)包括基体(411)和设置在基体(411)上的若干个参比气孔(413),所述多孔保护层(2)内设置有若干个透气孔(21),若干个参比气孔(413)设置在扩散孔(42)的周围,相邻两个参比气孔(413)之间设置有第一参比气通道(412),所述透气孔(21)的周围设置有若干个过滤孔(22),所述过滤孔(22)和透气孔(21)之间设置有气流道(23)。

2.根据权利要求1所述的集成片式氧传感器,其特征在于,所述加热层(5)内设置有若干个加热片(51)。

3.根据权利要求2所述的集成片式氧传感器,其特征在于,若干个第一参比气通道(412)和扩散孔(42)之间设置有第二参比气通道(414)。

4.根据权利要求1所述的集成片式氧传感器,其特征在于,所述参比气层(4)和加热层(5)的厚度相等,厚度范围是0.3~0.55mm。

5.根据权利要求4所述的集成片式氧传感器,其特征在于,所述参比气层(4)和加热层(5)的厚度为0.4mm。

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