一种集成片式氧传感器的制作方法

文档序号:12115568阅读:来源:国知局
技术总结
本申请提供了一种集成片式氧传感器,包括氧化锆基体、多孔保护层、陶瓷绝缘层和加热层,所述氧化锆基体的上方设有多孔保护层,所述氧化锆基体的下方设有陶瓷绝缘层,所述陶瓷绝缘层的下方设有加热层,所述氧化锆基体和陶瓷绝缘层之间设置有参比气层,所述参比气层内设置有通气体和扩散孔,所述通气体包括基体和设置在基体上的若干个参比气孔,所述多孔保护层内设置有若干个透气孔。本申请提供的集成片式氧传感器,由于所述透气孔的周围设置有若干个过滤孔,因而可以有效过滤掉检测气体中的杂质,防止过滤孔被堵塞,保证了灵敏度;由于相邻两个参比气孔之间设置有第一参比气通道,因而检测气体流通顺畅,使得检测结果可靠性高。

技术研发人员:苏昭缄
受保护的技术使用者:苏昭缄
文档号码:201620862665
技术研发日:2016.08.11
技术公布日:2017.03.22

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