基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器的制作方法

文档序号:12508499阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器,其特征在于,包括转轴弹性体和阅读器,转轴弹性体表面上固定有长方形石英基片,石英基片上通过IC工艺一次制作有两个正交放置的声表面波谐振器,声表面波谐振器谐振的方向分别与石英晶轴X对称成±45°,两个声表面波谐振器的IDT的两个上下电极分别通过汇流金属排连接,构成并联差分结构,转轴弹性体粘贴测量时通过工艺保障石英基片长边与转轴轴线平行,两个声表面波谐振器通过天线接收激励信号和发射谐振器的响应信号,被测转轴附近的阅读器发射激励信号和接收谐振器的回波信号,实现对扭矩的实时测量。

2.根据权利要求1所述基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器,其特征在于,所述汇流金属排通过硅铝丝与天线相连以接收激励信号和发射谐振器的响应信号。

3.根据权利要求1或2所述基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器,其特征在于,所述声表面波谐振器采用单端对的谐振器结构。

4.根据权利要求3所述基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器,其特征在于,所述两个声表面波谐振器的中心频率分别为433MHz和438MHz。

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