卫生型高性能薄膜压力传感器的制作方法

文档序号:12639070阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种卫生型高性能薄膜压力传感器,由压力基座(1)、薄膜压力传感器芯体(2)、保护胶(3)、上端盖(4)组成;所述薄膜压力传感器芯体(2)由弹性体(21)、金丝引线(22)、电路支架(23)、电路板(24)、信号线(25)组成,其特征在于,所述弹性体(21)是采用真空溅射方法制成的、底部开有“八”字型浅槽的高性能薄膜压力传感器敏感体,当所述弹性体(21)在所述“八”字型浅槽处受到压力作用时,输出与所受压力大小成比例的电信号,检测所述电信号就能得到所受压力值的大小。

2.如权利要求1所述的卫生型高性能薄膜压力传感器,其特征在于,所述薄膜压力传感器芯体(2)底端面与所述压力基座(1)底端面齐平吻合装配并圆周密封焊接。

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