一种新型力平衡加速度传感器的制作方法

文档序号:12732395阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型力平衡加速度传感器,包括底座(04)、垫片(01)、中间极板(02)、上极板(12)和下极板(03)、反馈线圈(08)、两个簧片(11)、导磁体(10),其特征在于,所述传感器还包括:辐向充磁体(09)和燕尾槽滑台部;所述垫片(01)为U形结构,与所述燕尾槽滑台安装在底座(04)上表面的四周,并位于所述导磁体(10)的上方,所述导磁体(10)安装在底座(04)的中间圆柱形孔中,其内部安装有辐向充磁体(09),所述辐向充磁体(09)和导磁体(10)内壁之间留有一定间隙;所述反馈线圈(08)安装在导磁体(10)和辐向充磁体(09)所构成的间隙中;所述上极板(12)和下极板(03)与所述中间极板(02)构成三明治式差动电容结构,所述差动电容结构安装在反馈线圈(08)的上方;所述两个簧片(11)的一端固定在上极板(12)的一边,另一端与所述燕尾槽滑台部固定连接,所述燕尾槽滑台部用于调节上极板(12)和下极板(03)的位置,从而使中间极板(02)刚好位于极板和下极板(03)的中间位置即零点位置处;

其中,所述燕尾槽滑台部包括:燕尾滑台(05)、燕尾槽(06)、差分螺纹(07)和差分螺杆,所述燕尾滑台(05)可插入所述燕尾槽(06)中,并能够上下滑动,所述燕尾滑台(05)与底座(04)对应的位置上分别各设有一个螺孔,两个螺孔的螺距不同,组成所述差分螺纹(07),所述差分螺杆可旋入差分螺纹(07)中,用于调节燕尾滑台(05)的高度,从而调节上极板(12)和下极板(03)的位置,使中间极板(02)刚好位于中间位置即零点位置处。

2.如权利要求1中所述的新型力平衡加速度传感器,所述燕尾滑台(05)上螺孔的螺纹为M4,所述底座(04)上与之对应的螺孔的螺纹为M4.2,两者组合成M0.2的所述差分螺纹(07)。

3.如权利要求1或2中所述的新型力平衡加速度传感器,所述差分螺纹(07)位于所述燕尾滑台中间位置处。

4.如权利要求1中所述的新型力平衡加速度传感器,所述差分螺杆上分别设有与所述差分螺纹相适配的外螺纹,差分螺杆的上半部分螺纹为M4,下半部分螺纹为M4.2。

5.如权利要求1中所述的新型力平衡加速度传感器,所述燕尾槽(06)为一个长方体结构,沿厚度方向开有一个与燕尾滑台(05)相配合的凹槽,使燕尾滑台可上下滑动。

6.如权利要求1中所述的新型力平衡加速度传感器,所述燕尾滑台(05)与所述簧片(11)的一侧通过螺钉固定连接。

7.如权利要求1中所述的新型力平衡加速度传感器,所述下极板(03)与所述反馈线圈(08)紧固连接,所述上极板(12)固定在下极板(03)的上方,所述中间极板(02)位于上极板(12)和下极板(03)之间,并通过螺钉固定在垫片(01)的上表面。

8.如权利要求5中所述的新型力平衡加速度传感器,所述下极板(03)与所述反馈线圈(08)通过胶水粘合固定。

9.如权利要求1中所述的新型力平衡加速度传感器,所述簧片(11)通过螺钉固定在上极板(12)的一边。

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