磁传感器的制作方法

文档序号:11560671阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磁传感器,具备:

磁传感器元件,构成电桥电路的多个磁阻元件形成于基板的上表面;和

一个偏置磁铁,被固定在所述磁传感器元件上,以便所述多个磁阻元件位于所述偏置磁铁与所述基板的所述上表面之间,

所述偏置磁铁被配置为基于所述偏置磁铁的磁化方向相对于所述磁传感器元件的磁场检测方向以90°以外的角度交叉。

2.根据权利要求1所述的磁传感器,其中,

所述多个磁阻元件之中的、具有在与所述磁传感器元件的所述磁场检测方向正交的方向上延伸的易磁化轴的第1磁阻元件的易磁化轴与基于所述偏置磁铁的所述磁化方向所成的角度为29°以上且34°以下。

3.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其中,

所述偏置磁铁的外形是圆柱状或者圆环状。

4.根据权利要求3所述的磁传感器,其中,

所述偏置磁铁是各向同性磁铁。

5.根据权利要求1或2所述的磁传感器,其中,

所述磁传感器元件与所述偏置磁铁通过接合材料而被相互固定。

6.根据权利要求3所述的磁传感器,其中,

所述磁传感器元件与所述偏置磁铁通过接合材料而被相互固定。

7.根据权利要求4所述的磁传感器,其中,

所述磁传感器元件与所述偏置磁铁通过接合材料而被相互固定。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1