基于差分测量的离子传感器的制作方法

文档序号:14032545阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种基于差分测量的离子传感器,所述基于差分测量的离子传感器借助于至少两个离子敏感场效应晶体管对待测量的溶液中的某些离子的浓度与微储集器和微通道中所含有的参考溶液中的某些离子的浓度进行比较。为此,所述微储集器和所述微通道至少覆盖所述离子敏感场效应晶体管中的一个的栅极且组成部分地填充有多孔材料的单元,所述多孔材料覆盖整个前述栅极且至少覆盖所述微通道的基极。

技术研发人员:A·巴尔迪科尔;C·费尔南德斯桑切斯;A·卡达尔索布斯托
受保护的技术使用者:CSIC科学研究高级委员会
技术研发日:2016.07.12
技术公布日:2018.03.27
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