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振动位移测定装置及振动位移测定方法与流程
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来源:国知局
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振动位移测定装置及振动位移测定方法与流程
技术特征:
技术总结
振动位移测定装置具有:光源部,其输出以使被测定对象的测定部位配置于相关峰内的方式进行了频率调制的连续光;分支部,其将连续光分支为第1分支光和第2分支光;受光部,其对在被测定对象处被反射的第1分支光和第2分支光的干涉光进行受光而生成电气信号;以及运算部,其使用电气信号,求出被测定对象的振动或者位移。
技术研发人员:
古川靖
受保护的技术使用者:
横河电机株式会社
技术研发日:
2017.03.02
技术公布日:
2017.09.12
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