一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备的制作方法

本申请涉及蒸镀工艺技术领域，特别是涉及一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备。

背景技术：

目前，蒸镀工艺广泛应用于各种产品的制造中，蒸镀是在真空中将待成膜的物质进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出形成薄膜的过程。例如，有机电致发光显示器件(Organic Electroluminesence Display,OLED)的制作过程中，需要蒸镀多层有机材料薄膜。在蒸镀的过程中，需要使用薄膜厚度传感器实时检测薄膜的厚度，从而对蒸发进行控制。具体地，薄膜厚度传感器中设置有晶体振子，由于晶体振子具有谐振频率随其质量变化的特性，在蒸镀过程中晶体振子谐振频率的变化反映了晶体振子上薄膜厚度的变化，因此检测晶体振子的谐振频率即可得到薄膜厚度。

如图1所示，通常薄膜厚度传感器包括：导向管1、晶体振子2和用于检测晶体振子2谐振频率的检测装置3；其中，导向管1通常为中空圆柱形，包括：蒸镀物入口11和蒸镀物出口12，晶体振子2设置在导向管1的蒸镀物出口12处。在OLED蒸镀工艺中，当使用薄膜厚度传感器长时间检测薄膜厚度，蒸镀物容易堆积在导向管1的蒸镀物入口处(简称导向管入口处)，使得晶体振子可以感应的蒸镀物减少，从而造成检测的薄膜厚度不准确。

基于此，如何减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本申请实施例提供了一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备，用以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响。

本申请实施例提供的一种导向管，用于薄膜厚度传感器，所述导向管中空，包括：蒸镀物入口和蒸镀物出口；其中，所述蒸镀物入口的截面积大于所述蒸镀物出口的截面积。

本申请实施例提供的导向管，由于导向管的蒸镀物入口的截面积大于该导向管的蒸镀物出口的截面积，这样，使用该导向管的薄膜厚度传感器在检测薄膜厚度时，可以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对晶体振子可以感应的蒸镀物的影响，从而减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，提高了薄膜厚度检测的准确度。

较佳地，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，所述导向管的截面积逐渐减小。

较佳地，所述导向管分为两段，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，靠近所述蒸镀物入口的一段导向管的截面积与所述蒸镀物入口的截面积相同，另一段导向管的截面积逐渐减小。

较佳地，所述导向管分为两段，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，靠近所述蒸镀物入口的一段导向管的截面积逐渐减小到与所述蒸镀物出口的截面积相同，另一段导向管的截面积与所述蒸镀物出口的截面积相同。

较佳地，所述导向管分为两段，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，靠近所述蒸镀物入口的一段导向管的截面积逐渐增大，另一段导向管的截面积逐渐减小。

较佳地，所述导向管沿所述蒸镀物入口的中心点与所述蒸镀物出口的中心点连线呈轴对称。

由于导向管沿蒸镀物入口的中心点与蒸镀物出口的中心点连线呈轴对称，这样便于生产。

较佳地，所述导向管的截面为圆形、椭圆形或方形。

本申请实施例还提供了一种薄膜厚度传感器，包括：本申请任意实施例提供的导向管，设置在所述导向管的蒸镀物出口处的晶体振子，以及与所述晶体振子连接的用于检测所述晶体振子谐振频率的检测装置。

由于本申请实施例提供的薄膜厚度传感器采用上述的导向管，而导向管的蒸镀物入口的截面积大于该导向管的蒸镀物出口的截面积，这样，在检测薄膜厚度时，可以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对晶体振子可以感应的蒸镀物的影响，从而减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，提高了薄膜厚度检测的准确度。

本申请实施例还提供了一种蒸镀设备，包括：至少一个蒸发源和本申请任意实施例提供的薄膜厚度传感器；其中，所述薄膜厚度传感器的一根导向管的蒸镀物入口朝向一个所述蒸发源的蒸发面。

由于本申请实施例提供的蒸镀设备采用上述的薄膜厚度传感器，同时薄膜厚度传感器采用上述的导向管，而导向管的蒸镀物入口的截面积大于该导向管的蒸镀物出口的截面积，这样，在检测薄膜厚度时，可以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对晶体振子可以感应的蒸镀物的影响，从而减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，提高了薄膜厚度检测的准确度。

较佳地，所述蒸发源为多个且排列成排，所述导向管的截面为椭圆形，所述导向管的蒸镀物入口的短轴的长度不大于该导向管的蒸镀物入口所朝向的蒸发源的蒸发面沿所述多个蒸发源的排列方向的最大长度。

上述蒸镀设备，由于导向管的蒸镀物入口的短轴的长度不大于该导向管的蒸镀物入口所朝向的蒸发源的蒸发面沿所述多个蒸发源的排列方向的最大长度，这样，使用该导向管的薄膜厚度传感器在检测薄膜厚度时，可以避免邻近蒸发源的蒸镀物对该薄膜厚度传感器产生影响，因此，可以提高薄膜厚度检测的准确度。

附图说明

图1为现有技术中薄膜厚度传感器的结构示意图；

图2为本申请实施例一提供的导向管的结构示意图；

图3为本申请实施例二提供的导向管的结构示意图；

图4为本申请实施例三提供的导向管的结构示意图；

图5为本申请实施例四提供的导向管的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的一种薄膜厚度传感器的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图；

图8为本申请实施例提供的一种蒸镀设备中蒸发源与导向管的蒸镀物入口的俯视图；

图9为本申请实施例提供的另一种蒸镀设备中蒸发源与导向管的蒸镀物入口的俯视图。

具体实施方式

本申请实施例提供了一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备，用以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响。

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请附图中各器件的厚度和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本申请内容。

实施例一：

参见图2，本申请实施例一提供的一种导向管，用于薄膜厚度传感器，导向管中空，包括：蒸镀物入口11和蒸镀物出口12；其中，蒸镀物入口11的截面积大于蒸镀物出口12的截面积，从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，该导向管的截面积逐渐减小。

由于导向管的蒸镀物入口11的截面积大于该导向管的蒸镀物出口12的截面积，这样，使用该导向管的薄膜厚度传感器在检测薄膜厚度时，可以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对晶体振子可以感应的蒸镀物的影响，从而减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，提高了薄膜厚度检测的准确度。

其中，导向管的截面可以为圆形、椭圆形或方形等，本申请实施例对此并不进行限定。

若导向管的截面为圆形，上述蒸镀物入口11的截面积大于蒸镀物出口12的截面积，从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，该导向管的截面积逐渐减小，即蒸镀物入口11的口径大于蒸镀物出口12的口径，从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，该导向管的口径逐渐减小，如图2所示。

在一较佳实施方式中，如图2所示，导向管沿蒸镀物入口11的中心点与蒸镀物出口12的中心点连线13呈轴对称。

由于导向管沿蒸镀物入口11的中心点与蒸镀物出口12的中心点连线13呈轴对称，这样便于生产。

实施例二：

本申请实施例二提供的导向管与本申请实施例一提供的导向管相类似，相同的部分在此不再赘述，下面只描述不同的部分。

参见图3，本申请实施例二提供的导向管分为两段，从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，靠近蒸镀物入口11的一段导向管101的截面积与蒸镀物入口11的截面积相同，另一段导向管102的截面积逐渐减小；若导向管的截面为圆形，可表述为从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，靠近蒸镀物入口11的一段导向管101的口径与蒸镀物入口11的口径相同，另一段导向管102的口径逐渐减小。

实施例三：

本申请实施例三提供的导向管与本申请实施例一提供的导向管相类似，相同的部分在此不再赘述，下面只描述不同的部分。

参见图4，本申请实施例三提供的导向管分为两段，从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，靠近蒸镀物入口11的一段导向管101的截面积逐渐减小到与蒸镀物出口12的截面积相同，另一段导向管102的截面积与蒸镀物出口12的截面积相同；若导向管的截面为圆形，可表述为从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，靠近蒸镀物入口11的一段导向管101的口径逐渐减小到与蒸镀物出口12的口径相同，另一段导向管102的口径与蒸镀物出口12的口径相同。

实施例四：

本申请实施例四提供的导向管与本申请实施例一提供的导向管相类似，相同的部分在此不再赘述，下面只描述不同的部分。

参见图5，本申请实施例四提供的导向管分为两段，从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，靠近蒸镀物入口11的一段导向管101的截面积逐渐增大，另一段导向管102的截面积逐渐减小；若导向管的截面为圆形，可表述为从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，靠近蒸镀物入口11的一段导向管101的口径逐渐增大，另一段导向管102的口径逐渐减小。

需要说明的是，本申请实施例提供的导向管还可根据口径的变化分为三段或三段以上，例如：若导向管分为三段，可在本申请实施例二提供的导向管的形状基础上，在导向管102的后面再包括一段口径与蒸镀物出口12的口径相同的导向管；或者，可在本申请实施例三提供的导向管的形状基础上，在导向管101的前面再包括一段口径与蒸镀物入口11的口径相同的导向管；或者，可在本申请实施例四提供的导向管的形状基础上，在导向管101的前面再包括一段口径与蒸镀物入口11的口径相同的导向管，或在导向管102的后面再包括一段口径与蒸镀物出口12的口径相同的导向管；若导向管分为四段，可在本申请实施例四提供的导向管的形状基础上，在导向管101的前面再包括一段口径与蒸镀物入口11的口径相同的导向管，以及在导向管102的后面再包括一段口径与蒸镀物出口12的口径相同的导向管。

基于同一发明构思，本申请实施例还提供了一种薄膜厚度传感器，用于蒸镀工艺中薄膜厚度检测，参见图6，该薄膜厚度传感器包括：本申请任意实施例提供的导向管1，设置在导向管1的蒸镀物出口12处的晶体振子2，以及与晶体振子2连接的用于检测晶体振子2谐振频率的检测装置3。

在一较佳实施方式中，上述薄膜厚度传感器还可以包括：与检测装置3电连接的用于根据晶体振子2谐振频率确定薄膜厚度的处理器。

在一较佳实施方式中，上述薄膜厚度传感器还可以包括：与处理器电连接的显示装置，该显示装置用于显示薄膜厚度。

其中，显示装置可以为数字显示器或表盘显示器。

基于同一发明构思，本申请实施例还提供了一种蒸镀设备，参见图7，该蒸镀设备包括：至少一个蒸发源71和本申请任意实施例提供的薄膜厚度传感器72(如图7中虚线框所示)；其中，薄膜厚度传感器72的一根导向管1的蒸镀物入口11朝向一个蒸发源71的蒸发面73。

其中，蒸发源的蒸发面指蒸发源产生蒸发的开口。

在一较佳实施方式中，蒸发源71为多个且排列成排，导向管的截面为椭圆形，通常情况下，只有位于同一排的蒸发源71中邻近蒸发源71的蒸镀物才会对检测的膜层厚度产生影响，而不同排的蒸发源71的蒸镀物不会对检测的膜层厚度产生影响，为了提高薄膜厚度检测的准确度，如图8、图9所示，导向管1的蒸镀物入口11的短轴a的长度可以设置成等于该导向管1的蒸镀物入口11所朝向的蒸发源71的蒸发面73沿该多个蒸发源71的排列方向的最大长度L，这样，使用该导向管1的薄膜厚度传感器72在检测薄膜厚度时，可以避免邻近蒸发源71的蒸镀物对该薄膜厚度传感器72产生影响，因此，可以提高薄膜厚度检测的准确度。当然，导向管1的蒸镀物入口11的短轴的长度也可以设置成小于该导向管1的蒸镀物入口11所朝向的蒸发源71的蒸发面沿该多个蒸发源71的排列方向的最大长度。

其中，蒸发源71的蒸发面73可以为圆形，如图8所示，蒸发源71的蒸发面73也可以为矩形，如图9所示，当然，还可以为其他的形状，本申请实施例并不对其进行限定。

若导向管1的截面为圆形，为了避免邻近蒸发源71的蒸镀物的影响，提高薄膜厚度检测的准确度，可以设置导向管1的蒸镀物入口11的口径不大于该导向管1的蒸镀物入口11所朝向的蒸发源71的蒸发面沿该多个蒸发源71的排列方向的最大长度。

综上所述，本申请实施例提供的技术方案中，由于导向管的蒸镀物入口的截面积大于该导向管的蒸镀物出口的截面积，这样，使用该导向管的薄膜厚度传感器在检测薄膜厚度时，可以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对晶体振子可以感应的蒸镀物的影响，从而减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，提高了薄膜厚度检测的准确度。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。