一种介质膜的飞秒激光损伤无损测试方法及装置与流程

文档序号:11214598阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种介质膜的飞秒损伤无损测试方法及装置,该方法以飞秒激光泵浦探测为主要探测方法,以光电探测器和多通道锁相放大器作为光电信号转换的主要工具,利用计算机LabVIEW编程辅助,得到介质膜在宽频带脉冲内,探测光相对泵浦光延时、入射激光波长、归一化反射率的三维变化图像。依照此图像得到该介质膜反射率在某些特殊波长的时间分辨特性曲线,进一步得到介质膜材料各能级寿命,并依此推定介质材料缺陷态状态;同时可得到该介质的分子振动频谱,进一步对材料所含杂质进行分析。本发明在保证测量高精度的同时,能够对飞秒激光辐照下的介质膜进行实时无损探测,并进一步根据测试结果分析介质膜缺陷态及杂质状态。

技术研发人员:邢昕;袁伟;刘征征;施童超;杜鹃;冷雨欣
受保护的技术使用者:中国科学院上海光学精密机械研究所
技术研发日:2017.04.26
技术公布日:2017.10.10
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