无机双膜电容器成片机的制作方法
【专利摘要】本发明属于电容器生产机械设备，特别涉及一种无机双膜电容器成片机，在主控室（2）的中间处设有机械手角度旋转轴（5），在机械手角度旋转轴（5）的下方铰连接机械手连杆（9），在主控室（2）内的上壁装有有机室闸板阀（6），在主控室（2）内的下壁上装有主控室闸板阀（24），在主控室（2）内左侧壁上装有电极蒸发室闸板阀（1），在主控室（2）内右侧壁上装有无机室闸板阀（12），在主控室（2）的上方外设有机室（7），在有机室（7）的前面设有机材料出品（8），在主控室（2）的左侧面设有金属蒸发室（40），金属蒸发室（40）的下面连接真空阀门八（33），在主控室（2）的右侧面外对庆无机室闸门阀（12）装有无机室（13），无机双膜电容器成片机安装维护方便，不占地面空间，生产的产品质量好。
【专利说明】
无机双膜电容器成片机
技术领域
[0001]本发明属于电容器生产机械设备，特别涉及一种无机双膜电容器成片机。
【背景技术】
[0002]电子元件是一切电子装备、电子信息系统和武器装备控制系统的基础，直接影响装备的性能和功能。装备中的超大规模的集成电路电压要降低到1.8V，即使国外的电容器行业也很难适应这一要求。电容器的生产在不断追求至低电压、大容量、小体积。由于我国的基础工业、设备、工艺及产品与先进国家相比差距很大，尤其是电子工业、面临很多生产困难，现有的生产设备，满足不了形势需要的电容器，而且生产设备不配套，生产的电容器质量难以保证。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于克服上述技术不足，提供一种集多设备为一体，产品质量好，生产效率高的无机双膜电容器成片机。
[0004]本发明解决技术问题采用的技术方案是:无机双膜电容器成片机包括分子栗一、分子栗二、分子栗三、真空阀门、机械栗一、机械栗二、罗茨栗、送料电机、锌丝送丝电机、铝丝送丝电机，其特点是在主控室的中间处设有机械手角度旋转轴，在机械手角度旋转轴的下方铰连接机械手连杆，机械手连杆的下端铰连接机械手，在机械手的下方装有机械手电磁铁，在主控室内的上壁装有有机室闸板阀，在主控室内的下壁上装有主控室闸板阀，在主控室内左侧壁上装有电极蒸发室闸板阀，在主控室内右侧壁上装有无机室闸板阀，在机械手角度旋转轴的左上方设有机械手定位气缸、蒸发挡板换位台，在蒸发挡板换位台内设蒸发挡板，在主控室的上方外设有机室，在有机室的前面设有机材料出品，在有机室的右侧用管路连接真空阀门一、真空阀门二的一端和裂解炉上端，在主控室的左侧面外对应电极蒸发闸板阀设有金属蒸发室，金属在蒸发室内设有锌丝蒸发坩祸、锌丝送丝电机和铝丝蒸发坩祸、铝丝送丝电机，金属蒸发室的下面用管路连接真空阀门八，在主控室的右侧面外对应无机室闸板阀装有无机室，在无机室内装有电子束蒸发坩祸，电子束蒸发坩祸下方为电子束，在无机室的下方用管路连接真空阀门三，在主控室的下面用管路连接真空阀门六和真空阀门九。
[0005]本发明的有益效果是:无机双膜电容器成片机可使各种原料在设备中一次形成超薄无机薄膜技术，节省了多台设备，安装维护方便，不占地面空间，生产的产品质量好，能满足各种高精的电容器使用，整个机械环保卫生，使操作人员省时省力。
【附图说明】
[0006]以下结合附图以实施例具体说明。
[0007]图1是无机双膜电容器成片机结构连接关系示意图。
[0008]图中，1-电极蒸发室闸板阀；2-主控室;3-蒸发挡板换位台；4-机械手定位气缸;5-机械手角度转换轴;6-有机室闸板阀；7-有机室;8-有机材料出口 ；9-机械手连杆；10-真空阀门一；11-真空阀二； 12-无机室闸板阀；13-无机室；14-电子束蒸发坩祸；15-电子束；16-裂解炉；17-送料电机；18-送料室；19-机械栗一;20-真空阀门三;21-分子栗一;22-真空阀门四；23-机械手；24-主控室闸板阀；25-机械手电磁铁;26-机械栗二 ； 27-罗茨栗；28-真空阀门五;29-真空阀门六;30-真空阀门七;31-分子栗二; 32-分子栗三;33-真空阀门八;34-真空阀门九；35-铝丝蒸发坩祸；36-铝丝送丝电机；37-锌丝送丝电机;38-锌丝蒸发坩祸；39-蒸发挡板;40-金属蒸发室。
【具体实施方式】
[0009]实施例，参照附图1，无机双膜电容器成片机是在主控室2的中间处设有机械手角度旋转轴5，在机械手角度旋转轴5的下方铰连接机械手连杆9，机械手连杆9的下端铰连接机械手23，在机械手23的下方装有机械手电磁铁25。在主控室2内上壁装有机室闸板阀6，在主控室2内的下壁上装有主控室闸板阀24，在主控室2内右侧壁上装有无机室闸板阀12，在主控室2内左侧壁上装有电极蒸发室闸板阀I。在机械手角度旋转轴5的左上方设有机械手定位气缸4、蒸发挡板换位台3，在蒸发挡板换位台3内设有蒸发挡板39。在主控室2的上方外设有机室7，在有机室7的前面设有机材料出口 8，在有机室7的右侧用管路连接真空阀门一 10、真空阀门二 11的一端和裂解炉16上端，在有机室7的左侧面外对应电极蒸发室闸板阀I设有金属蒸发室40，在金属蒸发室40内设锌丝蒸发坩祸38、锌丝送丝电机37、铝丝蒸发坩祸35、铝丝送丝电机36。在金属蒸发室40的下面用管路连接真空阀门八33的一端，在主控室2的右侧面外对应无机室闸板阀12装有无机室13。在无机室13内装有电子束蒸发坩祸14，电子束蒸发坩祸14下方为电子束15。在无机室13的下方用管路连接真空阀门三20的一端，在主控室2的下面用管路连接真空阀门六29、真空阀门九34的一端。真空阀门八、九33、34的另一端用管路分别连接分子栗三、二 32、31的一端，分子栗三、二 32、31的另一端用管路分别连接真空阀门六29的另一端、真空阀门四22、罗茨栗27的一端和真空阀门二 11的另一端。罗茨栗27的另一端用管路连接机械栗二 26，真空阀门三20的另一端用管路连接分子栗一 21的一端，分子栗一 21的另一端与真空阀门四22另一端端用管路连接。裂解炉16的下端连接送料室18的上端，在送料室18的左上方设有送料电机17。送料室18的下方用管路连接真空阀门一 1的另一端和机械栗一 19。
[0010]无机双膜电容器成片机的工作过程是:主控室2分别与无机室13九十度位置、有机室7—百八十度位置、电极蒸发室40 二百七十度位置相连。当主控室2内机械手23放置到90度时，无机室闸板阀12打开，机械手23伸入到无机室12进行介质层的蒸镀。无机室13里装有电子束15和电子束蒸发坩祸14。蒸镀完成后机械手23退回闸板阀12关闭。当机械手23转到180度时，有机室闸板阀6打开，机械手23伸入有机室7进行有机打底层的蒸镀。有机室7通过送料室18和送料电机17，将有机材料均匀送入裂解炉16，在通过有机材料出口 8将材料送入有机室7。蒸镀完成后机械手23退回闸板阀12关闭。当机械手23转到270度时，主控室2通过定位气缸4压下，把机械手23位置固定，再升起蒸发挡板换位台3通过机械手电铁25将蒸发挡板39吸附到机械手23上，定位气缸4升起，电极蒸发室闸板阀I打开，机械手23进入金属蒸发室40，金属蒸发室40通过锌丝送丝电机37和铝丝送丝电机36将锌丝和铝丝均匀送入锌丝蒸发坩祸38和铝丝蒸发坩祸35。蒸镀完成后机械手23退回闸板阀12关闭，上诉所有步骤都是在真空状态下进行的，每个舱室都分别有一套抽取真空的真空阀和真空栗组。
【主权项】
1.一种无机双膜电容器成片机，包括分子栗一(21)、分子栗二(31)、分子栗三(32)、真空阀门、机械栗一(19)、机械栗二(26)、罗茨栗(27)、送料电机(17)、锌丝送丝电机(37)、铝丝送丝电机(36)，其特征在于在主控室(2)的中间处设有机械手角度旋转轴(5)，在机械手角度旋转轴(5)的下方铰连接机械手连杆(9)，机械手连杆(9)的下端铰连接机械手(23)，在机械手(23)的下方装有机械手电磁铁(25)，在主控室(2)内的上壁装有有机室闸板阀(6)，在主控室(2)内的下壁上装有主控室闸板阀(24)，在主控室(2)内左侧壁上装有电极蒸发室闸板阀(1)，在主控室(2)内右侧壁上装有无机室闸板阀(12)，在机械手角度旋转轴(5)的左上方设有机械手定位气缸(4)、蒸发挡板换位台(3)，在蒸发挡板换位台(3)内设蒸发挡板(39),在主控室(2 )的上方外设有机室(7 )，在有机室(7 )的前面设有机材料出品(8 )，在有机室(7)的右侧用管路连接真空阀门一(10)、真空阀门二(11)的一端和裂解炉(16)上端，在主控室(2)的左侧面外对应电极蒸发闸板阀(I)设有金属蒸发室(40)，金属蒸发室(40)的下面用管路连接真空阀门八(33)，在主控室(2)的右侧面外对应无机室闸板阀(12)装有无机室(13)，在无机室(13)的下方用管路连接真空阀门三(20)，在主控室(2)的下面用管路连接真空阀门六(29 )和真空阀门九(34 )。2.根据权利要求1所述的无机双膜电容器成片机，其特征在于金属在蒸发室(40)内设有锌丝蒸发坩祸(38)、锌丝送丝电机(37)和铝丝蒸发坩祸(36)、铝丝送丝电机(36)。3.根据权利要求1所述的无机双膜电容器成片机，其特征在于在无机室(13)内装有电子束蒸发坩祸(14)，电子束蒸发坩祸(14)下方为电子束(15)。
【文档编号】H01G13/00GK106057504SQ201610619800
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2016年8月2日
【发明人】白树春, 王喜成, 白添淇, 曹海彬, 代金辉, 李宫怀, 张鹏, 赵龙
【申请人】阜新市天琪电子有限责任公司