一种无线无源声表面波应变传感器的制作方法

文档序号:11617515阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种无线无源声表面波应变传感器,包括:声表面波反射型延迟线器件、第一匹配网络、第二匹配网络、参考应变片和感知应变片;其中,声表面波反射型延迟线器件作为无线传感系统的应答器,采用双通道反射器型结构,其中参考通道通过第一匹配网络与参考应变片连接,传感通道通过第二匹配网络与感知应变片连接。本发明采用外接应变片负载式感知应变量,解决了声表面波器件由于直接应变而产生的力温耦合问题,比直接用声表面波器件测量应变更加的稳定可靠。此外,声表面波反射型延迟线器件采用双通道反射器结构通过差分的方法解决在应变测量过程中的温度干扰问题。

技术研发人员:王文;王毅坚;薛蓄峰;梁勇
受保护的技术使用者:中国科学院声学研究所
技术研发日:2017.05.11
技术公布日:2017.08.04
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