一种基于微纳荧光颗粒的薄膜热导率测量系统的制作方法

文档序号:11228672阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种基于微纳荧光颗粒的薄膜热导率测量系统,所述测量系统至少包括:样品结构模块、成像光路模块以及激发射和光谱测量模块;所述样品结构模块至少包括衬底、待测薄膜、吸收热源和微纳荧光颗粒;所述待测薄膜置于所述衬底上,所述吸收热源和微纳荧光颗粒放置在所述待测薄膜表面;或者所述微纳荧光颗粒直接放置在所述衬底上;所述激光发射和光谱测量模块安装在所述样品结构模块的上方,用于照射待测薄膜以使所述吸收热源吸收激光能量产生热量,同时使微纳荧光颗粒受到激光激发产生荧光,并对光谱进行测量。利用本发明的测量系统可以实现对微纳米薄膜热导率的无损、便捷、可靠测量。

技术研发人员:陈小源;张武康;方小红;李东栋;陈海燕
受保护的技术使用者:中国科学院上海高等研究院
技术研发日:2017.05.23
技术公布日:2017.09.08
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