缺陷检查装置、缺陷检查方法及隔膜卷绕体的制造方法与流程

本发明涉及隔膜卷绕体的缺陷检查装置、缺陷检查方法及隔膜卷绕体的制造方法。

背景技术：

在锂离子二次电池的内部，正极以及负极被多孔质的隔膜分离。在锂离子二次电池的制造中，使用将该隔膜卷绕于圆筒形状的芯部而成的部件即隔膜卷绕体。在制造隔膜时，有时产生也将异物一起卷入等缺陷，因此需要检查有无缺陷。尤其是，在缺陷为金属等导电性异物的情况下，有可能在锂离子二次电池内部造成短路。

在专利文献1中公开了如下缺陷检查装置：向搬运的片状物的表面照射可见光和红外光，基于与各自的反射光的受光量相应的摄像数据来判定上述片状物的表面的缺陷的种类是否为金属。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5673621号公报

专利文献1的缺陷检查装置用于检查附着在搬运的片状物的表面上的缺陷。然而，该缺陷也与片状物一起移动，因此无法准确地判定有无缺陷。

另外，根据专利文献1的缺陷检查装置，在要进行缺陷检查的对象物的面积比检测器的面积大的情况下，无法进行该对象物中的充分的范围的缺陷检查。因此，有可能发生漏检。

技术实现要素：

本发明是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于实现大范围且准确的缺陷检查。

用于解决课题的方案

为了解决上述问题，本发明的一方案的缺陷检查装置具有：保持机构，其对隔膜卷绕体进行保持，所述隔膜卷绕体通过将电池所使用的隔膜卷绕于筒状的芯部而成；射线源部，其对所述隔膜卷绕体照射电磁波；以及传感器部，其对从所述射线源部照射到所述隔膜卷绕体的所述电磁波进行检测，所述隔膜卷绕体相对于所述射线源部进行相对移动，所述传感器部在所述隔膜卷绕体进行相对移动的前后针对所述隔膜卷绕体来检测所述电磁波。

为了解决上述问题，本发明的一方案的缺陷检查方法包括：从射线源部对隔膜卷绕体照射电磁波的照射步骤，其中，所述隔膜卷绕体通过将电池所使用的隔膜卷绕于筒状的芯部而成；以及对照射到所述隔膜卷绕体的所述电磁波进行检测的检测步骤，在所述检测步骤中，在相对于所述射线源部进行相对移动的所述隔膜卷绕体的移动前后检测所述电磁波。

发明效果

根据本发明的一方案，起到能够实现大范围且准确的缺陷检查这样的效果。

附图说明

图1是示出本发明的实施方式1的分切装置的简要结构的图。

图2是示出本发明的实施方式1的隔膜卷绕体的结构的示意图，(a)示出从芯部卷出隔膜之前的状态，(b)示出从芯部卷出隔膜后的状态，(c)示出隔膜被卷出并拆下后的芯部的状态，(d)从另一角度示出(b)的状态。

图3是示出本发明的实施方式1的缺陷检查装置的简要结构的图。

图4是示出对保持于本发明的实施方式1的缺陷检查装置的保持机构的隔膜卷绕体进行拍摄而得到的拍摄图像的图。

图5是示出使图4所示的隔膜卷绕体向θ方向旋转规定角度后的情形的图。

图6是示出本发明的实施方式1的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

图7是示出本发明的实施方式2的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

图8是示出本发明的实施方式3的缺陷检查装置的简要结构的图。

图9是示出本发明的实施方式3的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

图10是示出本发明的实施方式4的缺陷检查装置的简要结构的图。

图11是示出对保持于本发明的实施方式4的缺陷检查装置的保持机构的隔膜卷绕体进行拍摄而得到的拍摄图像的图。

图12是示出使图11所示的隔膜卷绕体沿着YZ轴方向移动规定距离后的情形的图。

图13是示出本发明的实施方式4的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

图14是示出本发明的实施方式1的射线源部2的简要结构的图。

图15是示出在本发明的实施方式1的缺陷检查装置中以高倍率进行测定时与以低倍率进行测定时的情形的图。

图16是示出本发明的实施方式5的缺陷检查装置1E的简要结构的图。

图17是示出本发明的实施方式6的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

图18是示出本发明的实施方式7的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

图19是示出本发明的实施方式8的缺陷检查装置的简要结构的图。

图20是示出对本发明的实施方式8的保持于保持机构的隔膜卷绕体进行拍摄而得到的拍摄图像的图。

图21是示出从图20的状态使隔膜卷绕体旋转角度3θ后的情形的图。

图22是示出本发明的实施方式9的缺陷检查装置的结构的图。

图23是示出本发明的实施方式9的变形例的缺陷检查装置的结构的图。

图24是示出本发明的实施方式9的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

图25是示出本发明的实施方式1的变形例的缺陷检查装置的结构的图。

附图标记说明：

1、1C、1D、1E、1H、1J～1L 缺陷检查装置

2 射线源部

2a 照射面

2b 中心

3、3C、3H1、3H2、3J1、3J2、3K1、3K2 传感器部

3b、3b1、3b2 着眼区域

3bC 缺陷检查图像

4、4a 电磁波

5 异物

6 分切装置

8 芯部

8a 中心孔

10、10A、10F、10G 隔膜卷绕体

12、12F、12G 隔膜

20、20C、20D 保持机构

30、30C～30E、30H、30J～30L 控制部

31 射线源控制部

32、32D 保持机构控制部

33、33C、33H、33J 传感器控制部

203 机械手(保持机构)。

具体实施方式

〔实施方式1〕

(隔膜卷绕体的制造工序)

首先，使用图1来说明本发明的实施方式1的隔膜卷绕体的制造工序。

图1是示出对隔膜进行分切的分切装置6的结构的示意图，(a)示出整体的结构，(b)示出对坯料进行分切的前后的结构。

隔膜12是对锂离子二次电池等的正极即阴极与阳极之间进行分离并能够实现它们之间的锂离子的移动的多孔质膜。作为隔膜12的材料，例如包括聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃。

隔膜12也可以通过具有多孔质膜和设置于该多孔质膜的表面的耐热层而具有耐热性。作为该耐热层的材料，例如也可以包括全芳香族聚酰胺(芳酰胺树脂)。

隔膜12也可以是具备包含聚烯烃的多孔质膜、以及粘接层或耐热层等功能层的层叠多孔质膜。功能层包含树脂。作为该树脂，可举出：聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃；聚偏氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯、偏氟乙烯-六氟丙烯的共聚物等含氟高分子；芳香族聚酰胺；苯乙烯-丁二烯共聚物及其氢化物、甲基丙烯酸酯共聚物、丙烯腈-丙烯酸酯共聚物、苯乙烯-丙烯酸酯共聚物等橡胶类；熔点或玻化温度为180℃以上的高分子；聚乙烯醇、聚乙二醇、纤维素醚、藻酸钠、聚丙烯酸、聚丙烯酰胺、聚甲基丙烯酸等水溶性高分子等。另外，功能层也可以包含由有机物或无机物构成的填料。作为无机填料，可举出二氧化硅、氧化镁、氧化铝、氢氧化铝、勃姆石等无机氧化物等。该氧化铝中存在α、β、γ、θ等晶形，但可以使用任一者。上述的树脂以及填料可以仅使用一个种类，也可以组合两个种类以上。在上述功能层包含填料的情况下，填料的含量可以设为功能层的1体积％以上且99体积％以下。

另外，就隔膜12而言，为了减少给后述的缺陷检查带来的影响，优选使隔膜12所包含的水分少。在后述的缺陷检查工序的缺陷检查中，通过使X射线等电磁波透过隔膜12，来检查有无异物等混入到卷绕于芯部的隔膜12内。然而，水分会降低X射线等电磁波的透射率，因此当隔膜12含有大量的水分时，缺陷检查的精度降低，因此不优选。

隔膜12所包含的水分优选为2000ppm以下这种程度。由此，在后述的缺陷检查工序中，能够抑制X射线等电磁波的透射率的降低，并同时精度良好地检查卷绕于芯部的隔膜内的缺陷。

隔膜12优选为适合于锂离子二次电池等应用产品的宽度(以下称作“产品宽度”)。然而，为了提高生产率，首先以使隔膜的宽度成为产品宽度以上的方式制造隔膜。然后，在暂时制造出来之后，隔膜被切断(分切)为产品宽度。

需要说明的是，“隔膜的宽度”是指与隔膜的长边方向以及厚度方向大致垂直的方向上的隔膜的长度。以下，将分切之前的宽度宽的隔膜称作“坯料”。另外，分切是指将隔膜沿着长边方向(制造中的膜的流动方向(搬运方向)、MD：Machine direction)进行切断的意思，切割是指将隔膜沿着横断方向(TD：transverse direction)进行切断的意思。横断方向(TD)是指与隔膜的长边方向(MD)以及厚度方向大致垂直的方向。

分切装置6是对坯料进行分切的装置。分切装置6具备被支承为能够旋转的圆柱形状的卷出辊61、辊62～69及多个卷取辊70U、70L。

在分切装置6中，缠绕有坯料的圆筒形状的芯部c嵌合于卷出辊61。

并且，坯料被从芯部c向路径U或路径L卷出。卷出后的坯料经由辊62～67向辊68搬运。在从辊67向辊68搬运的工序中，坯料被分切为多个隔膜(分切工序)。需要说明的是，在辊68附近配置有将坯料分切为多个隔膜的切断装置(未图示)。

在分切工序之后，从坯料分切为多个的隔膜的一部分分别向嵌合于卷取辊70U的圆筒形状的各芯部u(卷绕架)卷取，另一部分分别向嵌合于卷取辊70L的圆筒形状的各芯部1(卷绕架)卷取(隔膜卷绕工序)。

需要说明的是，将从坯料分切之后的隔膜呈卷状卷取于芯部(卷绕架)而成的物体称作“隔膜卷绕体”。在本实施方式中，在通过该隔膜卷绕工序制造出隔膜卷绕体之后，通过后述的缺陷检查工序来检查卷绕于芯部的隔膜内是否未混入异物。在上述的分切工序中，例如容易因金属构成的分切刃的一部分缺损并附着于分切后的隔膜的表面等而产生异物。因此，缺陷检查工序优选设置于分切工序之后。由此，能够利用缺陷检查工序更高效地检查在容易产生异物的分切工序中产生的异物。

并且，在缺陷检查工序中判定为合格品的隔膜卷绕体之后在包装工序中多个一起地被包装来进行保管。

在此，在分切工序中被分切且卷绕于芯部的隔膜12的宽度(TD的长度)例如优选为30mm以上且100mm以下这种程度。当隔膜12的宽度过于大时，在后述的缺陷检查工序的缺陷检查中，X射线等电磁波不容易透过隔膜12，缺陷检查的精度降低。于是，通过使隔膜12的宽度为100mm以下这种程度，在后述的缺陷检查工序中能够抑制X射线等电磁波的透射率的降低，并同时能够精度良好地检查卷绕于芯部的隔膜内的缺陷。

(隔膜卷绕体的结构)

图2是示出本发明的实施方式1的隔膜卷绕体10的结构的示意图，(a)示出从芯部8卷出隔膜12之前的状态，(b)示出从芯部8卷出隔膜12后的状态，(c)示出隔膜12被卷出并拆下之后的芯部8的状态，(d)从另一角度示出(b)的状态。

如图2所示，隔膜卷绕体10具备卷绕有隔膜12的芯部8。该隔膜12如上述那样通过从坯料分切而得到。将隔膜卷绕体10中的呈卷状卷绕的隔膜12的外周面称作外周面S1。

芯部8具备外侧圆筒部81、内侧圆筒部82、以及多个肋83，与上述的芯部u、1相同。

外侧圆筒部81是用于在其外周面S2卷绕隔膜12的圆筒构件。内侧圆筒部82是在其内周面设置有用于嵌入卷取辊等的中心孔8a的圆筒构件。肋83是在外侧圆筒部81的内周面与内侧圆筒部82的外周面之间延伸且从内周面支承外侧圆筒部81的支承构件。

芯部8的材料包括ABS树脂。不过，本发明的实施方式1的芯部8的材料不限定于此。作为芯部8的材料，除了ABS树脂以外，也可以包括聚乙烯树脂、聚丙烯树脂、聚苯乙烯树脂、以及氯乙烯树脂等树脂。芯部8的材料优选不是金属、纸、氟树脂。

如图2的(b)、(d)所示，隔膜12的一端通过粘接带130而与芯部8进行贴附。具体而言，隔膜12的一端通过具备粘接剂的粘接带130而固定于芯部8的外周面S2。将隔膜12的一端固定于外周面S2的方式除了粘接带130以外，也可以是将粘接剂直接涂布于隔膜12的一端来进行固定，或者利用夹持件进行固定等。

(缺陷检查装置1的结构)

图3是示出本发明的实施方式1的缺陷检查装置1的简要结构的图。缺陷检查装置1是用于在缺陷检查工序中检查隔膜卷绕体10上是否未产生缺陷的装置。在本实施方式中，就缺陷检查装置1是检查卷绕后的隔膜12内是否未混入异物的装置的方案进行说明。

缺陷检查装置1具备照射电磁波4的射线源部2、检测射线源部2照射出的电磁波4的传感器部3、以及保持隔膜卷绕体10的保持机构20。而且，缺陷检查装置1具备控制部30，该控制部30对包括射线源部2、传感器部3、保持机构20各自的驱动控制在内的缺陷检查装置1整体的驱动进行控制。

控制部30具备：射线源控制部31，其对射线源部2的驱动进行控制；保持机构控制部32，其对保持机构20的驱动进行控制；以及传感器控制部(拍摄图像生成部)33，其对传感器部3的驱动进行控制，得到基于来自传感器部3的检测信息而生成的拍摄图像。

需要说明的是，图3中虽然没有图示，但在缺陷检查装置1中，至少包括射线源部2、保持机构20以及传感器部3在内的周围由包含铅等的电磁波不容易透过的壁部进行覆盖，以使操纵的电磁波不向外部漏出。该壁部是至少包围射线源部2、传感器部3以及保持机构20的结构即可。

在本实施方式中，将射线源部2的电磁波4的照射方向设为X轴方向(纸面左右方向)，将与X轴垂直相交的铅垂方向(纸面上下方向)设为Z轴方向。

保持机构20将作为检查对象的隔膜卷绕体10保持为能够沿着X轴方向以及Z轴方向移动。即，保持机构20使隔膜卷绕体10相对于射线源部2进行相对移动。需要说明的是，保持机构20也能够沿着与X轴方向以及Z轴方向垂直相交的Y轴方向(纸面进深跟前方向)移动。

保持机构20是沿着X轴方向延伸的形状，前端部插入隔膜卷绕体10的中心孔8a来保持该隔膜卷绕体10。由此，隔膜卷绕体10在缺陷检查装置1中设置为：卷绕于芯部8的隔膜12的一部分至少介于射线源部2与传感器部3之间。

需要说明的是，从防止金属异物的产生的观点出发，保持机构20优选至少滑动部由树脂构成。树脂的种类没有限制，可使用聚乙烯树脂、聚丙烯树脂、聚苯乙烯树脂、氯乙烯树脂、丙烯酸树脂、ABS、聚酯等通用树脂、聚缩醛、聚酰胺、聚碳酸酯、改性聚苯醚等工程塑料、聚芳酯、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、聚醚醚酮、聚酰亚胺、聚醚酰亚胺等超级工程塑料等。其中，由于使用于滑动部，因此优选耐磨损能力强的超级工程塑料，更优选聚醚醚酮。需要说明的是，在后述的本申请的实施方式3中，保持机构20优选全部由树脂构成。

作为向保持机构20安装隔膜卷绕体10的方法，可举出从载置有缺陷检查前的隔膜卷绕体10的存放部或带式输送机等场所，通过机械手或人力使隔膜卷绕体10移动并将隔膜卷绕体10向保持机构20插入来进行安装的方法。

另外，作为从保持有隔膜卷绕体10的保持机构20卸下隔膜卷绕体10的方法，可举出通过机械手或人力来卸下缺陷检查后的隔膜卷绕体10的方法。从保持机构20卸下后的隔膜卷绕体10被载置于存放部或带式输送机等场所。

需要说明的是，机械手也可以具有作为保持机构20的功能。关于该机械手具有作为保持机构20的功能的结构，使用图25在后面进行叙述。

当隔膜卷绕体10设置于保持机构20时，在缺陷检查装置1中，射线源部2、隔膜卷绕体10以及传感器部3在X轴方向上按顺序排列配置。在设置于保持机构20的隔膜卷绕体10的两侧面中，一方的侧面与射线源部2的照射面2a对置，另一方的侧面与传感器部3的检测面3a对置。在隔膜卷绕体10的两侧面中，将与射线源部2接近的一侧称作第一侧面A1，将与传感器部3接近的一侧称作第二侧面A2。

本实施方式的缺陷检查装置1反复地使保持机构20所保持的隔膜卷绕体10向θ方向旋转规定角度来进行拍摄，由此对卷绕于芯部8的圆环状的隔膜12整体进行拍摄。需要说明的是，关于该具体的拍摄方法，使用图4等在后面叙述。

如图3所示，传感器部3是能够利用检测面3a检测到射线源部2所照射的电磁波的检测器。传感器部3在检测到射线源部2所照射的电磁波时，将与检测到的电磁波的强度相应的电信号向传感器控制部33输出。传感器控制部33当从传感器部3取得上述电信号时，基于该电信号来生成拍摄图像。

传感器部3是能够检测射线源部2所照射的波长带的电磁波的检测器即可。例如，在射线源部2照射X射线的情况下，传感器部3是能够检测X射线的检测器即可，在射线源部2照射γ射线的情况下，传感器部3是能够检测γ射线的检测器即可，在射线源部2照射可见光的情况下，传感器部3是能够检测可见光的检测器即可。

在本实施方式中，传感器部3是能够进行X射线的检测且像素呈矩阵状配置的平板探测器(FPD)。传感器部3为纵横1500×1500像素或2000×2000像素等的FPD，根据作为检测对象的异物的尺寸来选择1像素20μm～2000μm等最佳的大小的像素。

需要说明的是，传感器部3的检测面3a的面积也可以比隔膜卷绕体10的侧面的面积小。这是因为，使隔膜卷绕体10旋转而对芯部8上的呈圆环状层叠的隔膜12的一部分逐个地进行拍摄，从它们中提取必要的区域并进行拼接，由此得到整体的拍摄图像。

在本实施方式中，射线源部2照射在隔膜卷绕体10中沿着横断方向(TD)透过宽度W的隔膜12的电磁波4。作为这样的电磁波4，可以举出波长为1pm～10nm的电磁波。

其中，作为射线源部2照射的电磁波4，优选X射线。由此，不增大成本便能够得到操纵容易的缺陷检查装置。

射线源部2照射的电磁波4的强度优选为1W以上。由此，与使用γ射线作为电磁波4的情况相比，能够可靠地使电磁波4沿着隔膜12的横断方向(TD)透过。在此，当电磁波4的强度小时，需要使曝光时间增长。于是，更优选射线源部2照射的电磁波4的强度为10W以上。由此，能够缩短曝光时间。

另外，若电磁波4的强度过于强，则射线源部2的寿命有可能变短。于是，优选射线源部2照射的电磁波4的强度为100W以下。由此，能够抑制射线源部2的寿命变短。

另外，在不是针对隔膜卷绕体10的内部的缺陷，而是针对隔膜12的卷绕偏移等而对所卷绕的隔膜12的侧面表面进行检查的情况下，射线源部2照射的电磁波也可以是红外线、可见光或紫外线等。

在该情况下，传感器部3也使用能够进行红外线、可见光或紫外线的检测的传感器部，而且需要将传感器部3配置于隔膜卷绕体10的两侧面中的与配置有射线源部2的一侧相同的一侧。由此，射线源部2所照射的红外线、可见光或紫外线在隔膜卷绕体10的侧面被反射，传感器部3对该反射光进行检测。由此，能够得到隔膜卷绕体10的侧面的缺陷检查图像。

射线源部2中的电磁波4的照射面2a配置为隔着设置于缺陷检查装置1的隔膜卷绕体10而与传感器部3的检测面3a对置。

在本实施方式的电磁波4是波长为1pm～10nm的电磁波的情况下，有时将射线源部2中的呈放射状照射电磁波4的点源特别称作焦点2c。焦点2c的中心2d配置为与照射面2a的中心2b重合。

图14是示出本发明的实施方式1的射线源部2的简要结构的图。该焦点2c在理想情况下为点光源，通常焦点2c的直径2ca具有1～20μm这种程度的大小。

在此，如图3以及图15所示，将隔膜卷绕体10的两侧面中的射线源部2侧的面称作第一面A1，将传感器部3侧的面称作第二面A2。并且，将从焦点2c到隔膜卷绕体10的第二面A2为止的距离设为D1，将从焦点2c到传感器部3的检测面3a为止的距离设为D2。

如图15所示，在缺陷检查装置1中，在以高倍率实施测定的情况下，由焦点2a的大小引起的偏移的影响变大。以高倍率实施该测定的情况是指增大相对于D1的D2(D2/D1)的情况下的测定，以低倍率实施测定的情况是指减小相对于D1的D2(D2/D1)的情况下的测定。

如图3所示，射线源部2将电磁波4朝向隔膜卷绕体10的侧面照射。当将隔膜卷绕体10的隔膜12的横断方向(TD)的长度设为宽度W时，射线源部2根据来自射线源控制部31的指示而照射通过隔膜12的宽度W的强度的电磁波4。

并且，传感器部3检测射线源部2所照射并透过隔膜卷绕体10后的电磁波4。由此，能够检查混入到隔膜卷绕体10内的异物等在隔膜卷绕体10内是否产生了缺陷。

这样，根据缺陷检查装置1，能够在制造出隔膜卷绕体10之后(即在芯部卷绕有隔膜卷绕体12之后)，检查卷绕于芯部的隔膜12内有无缺陷。因此，无需针对在分切工序中从坯料分切为多个的片状的每个隔膜而配置检查缺陷的有无的装置。因此，能够防止缺陷检查装置的台数增加。

另外，射线源部2对保持机构20所保持的隔膜卷绕体10照射电磁波4，传感器部3检测该电磁波4。因此，能够无需对搬运中的隔膜12进行拍摄而对静止的状态下的隔膜卷绕体10进行拍摄。由此，能够充分确保曝光时间，因此能够得到鲜明的拍摄图像，能够准确地进行缺陷检查。

需要说明的是，优选为了改善信号-噪声比(SN比)而将曝光时间取得比较长，曝光可以是连续曝光，也可以是反复进行短时间的曝光的多次曝光。在通过反复进行短时间的曝光的多次曝光来进行拍摄的情况下，之后重叠图像。与连续曝光相比，多次曝光能够进一步减少噪声的影响，因此优选。

另外，缺陷检查装置1无需对搬运中的隔膜12在全长的范围进行拍摄，能够以卷取后的块体即隔膜卷绕体10的形式进行检查，因此能够在短时间内进行缺陷检查。

另外，在操纵X射线或γ射线等能量高的电磁波的情况下，为了避免对人体的影响，需要用包含铅等的壁部来对射线源以及传感器的周围进行包围。因此，为了对搬运中的隔膜或隔膜卷绕体照射X射线来进行缺陷检查，设置于周围的壁部也变大，成为大型的装置。

另一方面，根据缺陷检查装置1，即使作为电磁波4使用了X射线或γ射线，由于对保持机构20所保持的隔膜卷绕体10进行拍摄，因此对射线源部2以及传感器部3的周围进行包围的壁部较小即可，作为装置整体而能够构成为较小的装置。

射线源部2对隔膜卷绕体10从侧面侧照射电磁波4。由此，能够得到基于透过隔膜卷绕体10中的卷绕于芯部8的隔膜12之后的电磁波4而产生的拍摄图像。因此，尤其是能够得到对卷绕于芯部8的隔膜12内进行拍摄所得的鲜明的拍摄图像。

射线源部2以不仅向卷绕于芯部8的隔膜12照射还向芯部8照射的方式向隔膜卷绕体10照射电磁波4。并且，优选的是，在通过传感器部3检测电磁波4a而拍摄到的拍摄图像中，除了包括隔膜12的像以外，还包括芯部8的像。这样，能够得到隔膜卷绕体10的大范围的拍摄图像。由此，能够减少拍摄次数，并且在隔膜卷绕体10中，能够无遗漏地整体进行缺陷检查。

在此，在作为电磁波4使用了X射线或γ射线的情况下，从射线源部2的焦点2c照射的电磁波4以放射角度B0呈放射状照射。因此，从射线源部2的照射面2a的中心2b照射出的电磁波4、即从焦点2c照射出的电磁波4中的相对于照射面2a垂直地照射出的电磁波4以与卷绕于芯部8的隔膜12的膜面平行的方式在隔膜卷绕体10内行进，向传感器部3的检测面3a垂直地入射。另一方面，随着从射线源部2的照射面2a的中心2b离开、即随着从自焦点2c照射出的电磁波4中的相对于照射面2a垂直地照射出的电磁波4倾斜，从射线源部2的照射面照射出的电磁波4相对于卷绕于芯部8的隔膜12的膜面倾斜地在隔膜卷绕体10内行进，向传感器部3的检测面3a倾斜地入射。

在卷绕后的隔膜12的拍摄图像中，与通过相对于卷绕后的隔膜12的膜面倾斜地在隔膜12内行进的电磁波4而得到的区域相比，有时在通过相对于卷绕后的隔膜12的膜面平行地在隔膜12内行进的电磁波4而得到的区域会映出亮线。当映出该亮线时，有时不容易观察到卷绕后的隔膜12内的异物等缺陷的像，导致产生缺陷的漏检。当拍摄图像映出了亮线时，通过改变射线源部2与隔膜12的位置关系而再次对观察到所述亮线的部位的图像进行拍摄，由此能够防止缺陷的漏检的发生。

具体而言，在对隔膜12的外周侧的区域进行拍摄之后，以使所述外周侧的产生有亮线的区域重复的方式对内周侧的区域进行再次拍摄，由此即使在外周侧的区域产生有亮线的情况下，也能够无漏检地检查缺陷。另外，通过像这样以改变射线源部2与隔膜12的位置关系而使区域重复的方式进行多次拍摄，能够防止外接球的直径为100μm以上的异物中的扁平状这样的薄形状的异物的漏检。

另外，从防止亮线的映入的观点出发，优选射线源部2的照射面2a的中心2b配置于不与保持机构20所保持的隔膜卷绕体10的侧面中的卷绕的隔膜12对置的位置，更优选配置为与比卷绕的隔膜12所构成的圆环部分靠中心侧的芯部8的侧面对置。

由此，从照射面2a的中心2b照射出的电磁波4在隔膜卷绕体10中的芯部8内行进而非在隔膜12内行进，并向传感器部3的检测面3a入射。因此，隔膜12的拍摄图像中不会产生亮线。

另外，X射线以焦点2c的中心2d为中心呈放射状照射，因此在卷绕的隔膜12内行进的电磁波4以相对于隔膜12的膜面倾斜的方式在隔膜12内行进，并向传感器部3的检测面3a入射。因此，能够防止拍摄图像中的卷绕的隔膜12的像的部分产生亮线。由此，不增加拍摄次数便能够防止缺陷的漏检的发生。

而且，从防止亮线的映入的观点出发，优选射线源部2的焦点2c配置于不与保持机构20所保持的隔膜卷绕体10中的卷绕的隔膜12对置的位置，更优选配置为与比卷绕的隔膜12所构成的圆环部分靠中心侧的芯部8的侧面对置。据此，更可靠地使隔膜12的拍摄图像中不会产生亮线。

在缺陷检查装置1中，在射线源部2与保持机构20所保持的隔膜卷绕体10之间、以及保持机构20所保持的隔膜卷绕体10与传感器部3的检测面3a之间没有配置结构物，仅存在空气。

由此，与在隔膜卷绕体与传感器部的受光面之间配置有结构物的情况相比，根据缺陷检查装置1，能够得到更鲜明的隔膜卷绕体10的拍摄图像。因此，能够精度良好地检查隔膜卷绕体10内有无缺陷。

作为一例，在缺陷检查装置1中，通过使沿着X轴方向延伸的保持机构20的前端部穿过隔膜卷绕体10的芯部的中心孔8a，由此保持机构20保持隔膜卷绕体10的中心部，将射线源部2与传感器部3隔着隔膜卷绕体10而对置配置。

由此，能够在射线源部2与传感器部3之间仅配置有作为检查对象的隔膜卷绕体10。据此，隔膜卷绕体10以外的结构不会映入到拍摄图像上，因此能够得到容易进行缺陷检查的拍摄图像。

另外，优选的是，使用了缺陷检查装置1的隔膜卷绕体10内有无缺陷的检查通过将缺陷检查装置1配置于净化间等而在洁净的环境下进行。作为洁净的环境，例如优选等级(class)10万以下。通过在这样的环境下进行，能够降低在检查中以及检查后新附着异物的可能性。而且，优选缺陷检查装置1的装置内或装置外且由铅等的壁部包围的区域也处于这样的洁净的环境。由此，能够使用缺陷检查装置1来精度良好地检查卷绕于芯部的隔膜12内有无缺陷。

需要说明的是，优选在隔膜卷绕体10与传感器部3的检测面3a之间未配置结构物，也可以在上述洁净的环境下对将隔膜卷绕体12包装而成的构件进行检查。

如上所述，将从焦点2c到隔膜卷绕体10的第二面A2为止的距离设为D1，将从焦点2c到传感器部3的检测面3a为止的距离设为D2时，将D2/D1定义为测定倍率。

本申请的目的之一在于，短时间内在检查对象的整个区域中得到分辨率高的X射线像。隔膜卷绕体10的检查所需的时间通过下述式给出，需要设定使该时间最小的D2。

(曝光时间+移动时间)×拍摄次数 (式1)

在置于使D2/D1固定的条件下，当焦点2c与隔膜卷绕体10的距离、即D1成为X倍时，检测面3a上的每单位(时间、面积)的线量成为1/(X²)。即，在D1为X倍的条件下，在欲在检测面3a上得到相同的线量的情况下，曝光时间需要与X的2次方成比例。因此，对于曝光时间而言，D1越小则越有利。另一方面，当减小D1时，隔膜卷绕体10的拍摄范围变窄。因此，虽然能够缩短曝光时间，但用于对整个区域进行拍摄的拍摄次数增加，拍摄期间的移动增加，因此缺陷检查的时间增加。

另外，当减小D2时，相应地隔膜卷绕体10的拍摄图像的分辨率提高，但测定倍率降低，因此需要分辨能力高的传感器部3、即像素尺寸小的传感器部(FPD)。另一方面，当增大D2时，传感器部3的像素尺寸的制约变少，但传感器部自身的尺寸变大，缺陷检查装置的尺寸变大，因此空间成本变高。需要说明的是，从射线源呈放射状照射波长为1pm～10nm的电磁波，因此相对于作为检测对象的异物的实际尺寸而言投影到传感器部3的异物的尺寸非常大。传感器部3的像素尺寸在考虑了以几个像素检测作为检测对象的异物的基础上决定即可。例如，在以3像素以上检测大小为100μm的异物的情况下，像素尺寸选择100μm÷3≈33μm来作为下限即可。

考虑到上述的情况，D1优选为宽度W的1.5倍以上且4倍以下，D2优选为0.3m以上且10m以下，D2/D1优选为比1大且为40以下。另外，传感器部(FPD)的像素尺寸优选为20μm以上且2000μm以下。由此，能够缩短隔膜卷绕体10的缺陷检查所需的时间，并且更加精度良好地进行缺陷检查。

另外，一次的拍摄时间根据每个隔膜卷绕体10的检查所需的时间、传感器部3的传感器灵敏度、处理检体数(要检查的隔膜卷绕体10的数量)等的不同而在能够对需要检测的尺寸的缺陷进行拍摄的范围内适当调整即可。

而且，根据每个隔膜卷绕体10的检查所需的时间、传感器部3的传感器灵敏度、处理检体数(要检查的隔膜卷绕体10的数量)等的不同，例如也可以将多个隔膜卷绕体10重叠而同时进行拍摄、排列多个隔膜卷绕体10而同时进行拍摄，由此同时检查多个隔膜卷绕体10。

(缺陷检查方法)

接着，使用图3、图4～图7来说明通过缺陷检查装置1进行的缺陷检查方法。

图4是示出对保持于保持机构20的隔膜卷绕体10进行拍摄而得到的拍摄图像的图。需要说明的是，在图4中，示出了对隔膜卷绕体10的整体进行拍摄的情形，但也可以在隔膜卷绕体10中仅拍摄后述的着眼区域3b、或者仅拍摄隔膜卷绕体10的包括着眼区域3b在内的一部分。

传感器控制部33为了在隔膜卷绕体10的拍摄图像中判定实际有无缺陷，在拍摄图像中设定着眼的着眼区域3b。

在此，根据电磁波4相对于隔膜卷绕体10的入射角度、从射线源部2的照射面2a到达传感器部3的检测面3a的电磁波4所行进的路径长度的不同等，拍摄图像中存在映出鲜明的像的区域和所映出的像不鲜明的区域。因此，若使用拍摄图像中的映出鲜明的像的区域来进行缺陷检查，则能够漏检少且精度良好地进行缺陷检查。

于是，传感器控制部33预先将会在拍摄图像中映出鲜明的像的区域设定为着眼区域3b。

需要说明的是，若拍摄图像的范围、位置与着眼区域3b相同，则将拍摄图像直接用作着眼区域3b即可。

在本实施方式中，传感器控制部33设定包括芯部8的外周面S2的一部分和隔膜12的外周面S1的一部分在内的四边形的区域来作为着眼区域3b。即，着眼区域3b包括芯部8的一部分以及卷绕的隔膜12的厚度方向(纸面上下方向)上的全部。

在图3中，将从射线源部2的照射面2a的中心2b垂直地向传感器部3的检测面3a引出的线设为中心线CE。

着眼区域3b的上下方向的距离是电磁波4a透过隔膜卷绕体10而入射到传感器部3时的距离，所述电磁波4a是电磁波4中的相对于中心线CE以包含隔膜卷绕体10的第二侧面A2处的外周面S1这种程度的放射角度B1呈放射状照射出的电磁波。

中心线CE通过隔膜卷绕体10中的比隔膜12靠中心侧的芯部8。

在如图4所示那样传感器控制部33设定着眼区域3b后，缺陷检查装置1对所设置的隔膜卷绕体10进行拍摄。

需要说明的是，拍摄是指，根据来自射线源控制部31的指示而使射线源部2照射电磁波4，传感器部3检测由射线源部2照射并透过隔膜卷绕体10后的电磁波4，将与该检测出的电磁波4的强度相应的电信号向传感器控制部33输出，传感器控制部33从传感器部3取得上述电信号，并生成基于该电信号得到的拍摄图像。

接着，传感器控制部33根据所生成的拍摄图像来提取属于着眼区域3b的第一区域R1。

在图4中，在第一区域R1中包含异物5作为需要检测的缺陷。异物5的材质可以考虑各种材质，例如可以举出金属以及碳等。作为需要检测的异物5的尺寸也可以考虑各种尺寸，作为一例，可以考虑100μm、厚度为50μm左右的尺寸。在本说明书中，在异物的尺寸中不存在厚度、宽度等的特别指定时，即，在仅记载了100μm等的长度时，该长度是指异物的外接球的直径的长度。

对于作为需要检测的缺陷的异物5，存在针对比重大的异物5能够检测到小的尺寸的倾向。在需要检测的缺陷为金属异物的情况下，例如在某一检查条件下，在针对比重为6左右的金属能够检测到100μm左右时，针对比重为2左右的金属能够检测到300μm左右。在缺陷检查装置1中，适当地根据作为检测对象的金属异物的种类(即比重)来设定作为检测对象的异物5的尺寸即可。

需要说明的是，在缺陷检查装置1中，若通过延长曝光时间、对隔膜卷绕体10中的相同区域进行多次拍摄等来延长检查所需的时间，则能够检测尺寸小的异物5。因此，上述那样的作为检测对象的金属异物的比重与尺寸的关系是使检查所需的时间为相同的情况下的关系。

需要说明的是，作为代表性的金属的比重，可例示出Fe为7.8左右、Al为2.7左右、Zn为7.1左右、SUS为7.7左右、Cu为8.5左右、黄铜为8.5左右等，但并不限定于此。

图5是示出使图4所示的隔膜卷绕体10向θ方向旋转规定角度后的情形的图。

传感器控制部33从拍摄图像中提取属于着眼区域3b的第一区域R1之后，保持机构控制部32如图5所示那样使保持机构20向θ方向旋转规定角度。由此，保持机构20以及隔膜卷绕体10向θ方向旋转规定角度并停止。需要说明的是，将传感器控制部33在每次拍摄时从拍摄图像中提取出的属于着眼区域3b的各区域称作区域R。

保持机构控制部32使保持机构20以及隔膜卷绕体10向θ方向旋转的规定角度是在对使保持机构20以及隔膜卷绕体10旋转360度而拍摄时得到的多个区域R进行重叠的情况下、在隔膜卷绕体10的第一侧面A1不存在未拍摄区域且拍摄张数最少的角度以下的角度。

由此，能够效率良好地对隔膜卷绕体10的整体进行拍摄。需要说明的是，此时，射线源部2更优选配置为照射面2a的中心2b与传感器部3对置。若形成这样的配置，则在隔膜卷绕体10的第一侧面A1不存在未拍摄区域时，同时在第二侧面A2也不存在未拍摄区域。因此，能够更佳地对隔膜卷绕体10的整体进行拍摄。

并且，当保持机构控制部32使保持机构20以及隔膜卷绕体10向θ方向旋转规定角度而停止时，缺陷检查装置1对旋转后的隔膜卷绕体10进行拍摄。

接着，传感器控制部33从所生成的拍摄图像中提取属于着眼区域3b的第二区域R2。

第二区域R2与旋转后的第一区域R1无间隙地重叠，彼此的角度不同。

这样，反复进行拍摄、隔膜卷绕体10向θ方向的规定角度的旋转、以及属于着眼区域3b的旋转后的区域的提取。

图6是示出本发明的实施方式1的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

如图6所示，在圆环状的隔膜12的一周上，生成通过将属于着眼区域3b的区域提取并组合而成的包括第一区域R1～第十八区域R18的缺陷检查图像。圆环状的隔膜12包含在第一区域R1～第十八区域R18(整个区域R)内。

使保持机构20以及隔膜卷绕体10旋转360度并进行拍摄而得到的第一区域R1～第十八区域R18(整个区域R)以成为在将相邻的区域R彼此重叠时在隔膜卷绕体10的第一侧面A1不存在未拍摄区域且拍摄张数最少的角度以下的方式，使彼此的角度差开规定角度。

这样，通过保持机构20向θ方向以规定角度逐步旋转，从而隔膜卷绕体10以能够得到卷绕于芯部8的隔膜12的整体的像的方式，相对于射线源部2进行相对移动。由此，能够进行隔膜12的整体的缺陷检查。

需要说明的是，也可以是，保持机构20不移动，射线源部2以及传感器部3以隔膜卷绕体10的中心为旋转中心向θ方向以规定角度逐步旋转，从而隔膜卷绕体10相对于射线源部2进行相对移动。

各第一区域R1～第十八区域R18以与相邻的区域之间不存在间隙且重叠的部分的面积最小的方式，使彼此的角度差开。

这样，能够生成通过对圆环状的隔膜12的整体部分进行提取的图像组合而成的缺陷检查图像。

在本实施方式中，将拍摄、拍摄图像中的着眼区域3b的提取、隔膜卷绕体10向θ方向的规定角度的旋转的流程反复进行18次，来生成表示圆环状的隔膜12的整体的缺陷检查图像，但该反复次数可以任意变更。

之后，缺陷检查装置1也可以将缺陷检查图像显示于未图示的显示器。另外，缺陷检查装置1也可以通过对该缺陷检查图像进行图像处理等，来判定有无需要检测的缺陷，并将判定结果通知作业者。

这样，在隔膜卷绕体10相对于射线源部2进行相对移动、射线源部2相对于隔膜卷绕体10进行相对移动的前后照射电磁波4。

由此，在隔膜卷绕体10相对地移动的前后，针对隔膜卷绕体10在不同的区域照射电磁波4。由此，传感器控制部33能够在隔膜卷绕体10相对地移动的前后得到不同的区域的拍摄图像。

另外，也可以是，在隔膜卷绕体10相对于射线源部2进行相对移动的前后，代替使电磁波4的照射开启关闭，而使传感器部3的检测开启关闭。即，也可以是，作为持续照射电磁波4的状态，对传感器部3的检测进行切换。由此，与片断地照射电磁波4的情况同样地，传感器控制部33能够得到不同的区域R的拍摄图像。需要说明的是，优选在隔膜卷绕体10相对地移动的前后对传感器部3的检测进行切换。这是因为，若使X射线源频繁地开启关闭，则有可能产生照射的X射线不稳定、X射线源的寿命变短等不良情况。

这样，即使传感器部3的检测面3b小，传感器控制部33也能够得到隔膜卷绕体10的大面积的拍摄图像。由此，能够进行隔膜卷绕体10的大范围的缺陷检查。因而，能够防止缺陷检查所需的时间增加。

另外，在射线源部2相对于隔膜卷绕体10进行相对移动的前后照射电磁波4。因此，传感器控制部33能够得到隔膜卷绕体10静止的状态下的拍摄图像。因此，与对移动中的隔膜卷绕体进行拍摄的情况不同，能够增长曝光时间，能够得到明亮且鲜明的拍摄图像。据此，能够更准确地进行缺陷检查。

这样，根据缺陷检查装置1，能够抑制缺陷检查所需的时间，并同时准确地进行缺陷检查。

另外，隔膜卷绕体10相对于射线源部2进行以隔膜卷绕体10的中心为旋转中心的旋转运动。并且，传感器控制部33生成进行旋转运动的隔膜卷绕体10的拍摄图像。

并且，传感器控制部33将在隔膜卷绕体10相对地移动之前生成的拍摄图像与在隔膜卷绕体10相对地移动之后生成的拍摄图像以一部分重叠的方式合成。由此，能够无遗漏地得到隔膜卷绕体10的大面积的拍摄图像。因此，能够效率良好地得到隔膜卷绕体10的大区域的拍摄图像。

另外，在将隔膜卷绕体10的拍摄图像彼此的一部分重叠时，优选的是，隔膜卷绕体10相对于射线源部2进行以隔膜卷绕体10的中心为旋转中心的旋转运动，传感器控制部33生成进行旋转运动的隔膜卷绕体10的拍摄图像，将该拍摄图像彼此的一部分重叠。由此，能够将拍摄图像彼此以相同的方式重叠，因此效率高。

另外，优选拍摄图像中包括芯部8的一部分。由此，能够连隔膜卷绕体10中的距芯部8最近的最内周的隔膜12也不遗漏而得到隔膜卷绕体10的大面积的拍摄图像。

另外，优选拍摄图像中包括比外周面S1靠外侧的空间区域。由此，能够连隔膜卷绕体10中的构成外周面S1的最外周的隔膜12也不遗漏而得到隔膜卷绕体10的大面积的拍摄图像。

另外，缺陷检查装置1使用电磁波4来作为射线源部2所照射的电磁波。由此，能够比较容易地确认卷绕于芯部8的隔膜12的内部有无缺陷。

另外，缺陷检查装置1也可以针对隔膜卷绕体10中的拍摄过一次的区域以变更射线源部2与隔膜卷绕体10的相对位置的方式进行多次拍摄。通过改变射线源部2与隔膜卷绕体10的角度来对隔膜卷绕体10中的拍摄过一次的区域进行两次等多次拍摄，从而能够确定隔膜卷绕体10所包含的异物的位置(隔膜卷绕体10中的TD的位置)，确定隔膜卷绕体10所包含的异物的整体形状，即使是厚度薄的异物也能够予以检测。

在对隔膜卷绕体10进行第二次拍摄时，可以对隔膜卷绕体10整体进行再次拍摄，但也可以仅拍摄必要的区域。例如，也可以是，在通过使用图4～图6而进行了说明的方法、或者在实施方式2以后说明的方法来对隔膜卷绕体10的整体进行拍摄之后，从拍摄图像中确定隔膜卷绕体10中包含有异物的区域或者映出认为是异物的物体的区域，仅对隔膜卷绕体10中的该区域进行再次拍摄。

需要说明的是，在异物相当小(厚度薄)的情况下，有时对隔膜卷绕体10仅进行一次拍摄的话无法确认到异物的存在。因此，在作为检查对象的异物相当小(厚度薄)的情况下，优选改变射线源部2与隔膜卷绕体10的角度来对隔膜卷绕体10整体进行多次拍摄。由此，即使是小(厚度薄)的异物，也能够予以检测。

另外，根据缺陷检查装置1，能够根据每个隔膜卷绕体10的检查所需的时间、传感器部3的传感器灵敏度、处理检体数(要检查的隔膜卷绕体10的数量)等来调整需要检测的异物5的尺寸。

例如，将缺陷检查装置1设定为检测100μm以上的异物5，利用缺陷检查装置1进行隔膜卷绕体10的缺陷检查，由此能够从在隔膜卷绕体10的制造工序中制造的包含(有可能包含)各种尺寸的异物的各种隔膜卷绕体10中仅挑选出包含100μm以上的异物5的隔膜卷绕体10。

并且，通过将由缺陷检查装置1检测到100μm以上的异物5的隔膜卷绕体10从制造工序中排除，能够从包含(有可能包含)各种尺寸的异物的各种隔膜卷绕体10中挑选出100μm以上的异物5少或者不包含100μm以上的异物5的隔膜卷绕体10。

换言之，在隔膜卷绕体10的制造工序中，通过组入使用了缺陷检查装置1的缺陷检查工序，能够从包含(有可能包含)各种尺寸的异物的各种隔膜卷绕体10中制造出100μm以上的异物5少或者不包含100μm以上的异物5的隔膜卷绕体10。

尤其是，100μm以上的异物5少的隔膜卷绕体10能够降低因附着于隔膜12的异物5而产生不良情况的可能性。

这样，通过在隔膜卷绕体10的制造工序中组入使用了缺陷检查装置1的缺陷检查工序，能够制造出异物5的混入等缺陷少的隔膜卷绕体。

另外，如上述那样，缺陷检查工序优选在隔膜卷绕体10的制造工序中设置于分切工序之后且包装工序之前。由此，能够效率良好地检查在分切工序中产生的异物5。

另外，通过在隔膜卷绕体10的制造工序中设置缺陷检查工序，从而在隔膜卷绕体10的包装工序以后使用卷绕于芯部8的隔膜12来组装电池的制造工序中，能够省去检查附着于隔膜12的异物5的有无的时间和劳力。

另外，控制部30优选在结束一个隔膜卷绕体10的拍摄且开始下一个隔膜卷绕体10的拍摄之前(一个拍摄循环结束后)，使为了进行隔膜卷绕体10的拍摄而移动了的各部分(保持机构20等)返回初始状态。由此，能够防止漏检、重复检查，也能够防止在拍摄中途进入下一次拍摄等误动作。需要说明的是，在实施方式2以后说明的各缺陷检查装置中也同样优选在一个拍摄循环结束后使各部分返回初始状态。

(变形例)

图25是示出本发明的实施方式1的变形例的缺陷检查装置1L的结构的图。

图25是示出本发明的实施方式1的变形例的缺陷检查装置1L的简要结构的俯视图。如图25所示，缺陷检查装置1L具备射线源部2、传感器部3、控制部30L、壁部47、检查前存放部201、检查后存放部202、以及机械手(保持机构)203。需要说明的是，机械手203兼具有保持机构20(参照图3)的功能，因此缺陷检查装置1L不具有保持机构20。

壁部47由包含铅等的使电磁波不容易透过的壁面构成，以使操纵的电磁波不向外部泄漏。壁部47通过使未图示的门开闭而能够进行隔膜卷绕体10的搬入、搬出。

控制部30L与控制部30不同点在于，代替控制部30所具有的保持机构控制部32而具有机械手控制部32L。控制部30L的其他结构与控制部30同样。机械手控制部32L对机械手控制部32L的驱动进行控制。需要说明的是，控制部30L可以配置于由壁部47包围的区域内，也可以配置于由壁部47包围的区域外。

检查前存放部201是用于载置缺陷检查装置1L的缺陷检查前的隔膜卷绕体10的载置部。检查前存放部201从隔膜卷绕体10的第一侧面A1侧向芯部8的中心孔8a(参照图2)插入保持构件来保持隔膜卷绕体10。检查后存放部202是用于载置缺陷检查装置1L的缺陷检查后的隔膜卷绕体10的载置部。检查后存放部202从隔膜卷绕体10的第一侧面A1侧向芯部8的中心孔8a(参照图2)插入保持构件来保持隔膜卷绕体10。

需要说明的是，存放部未必需要将检查前存放部201与检查后存放部202分别设置。例如可以通过如下等方式使一台存放部兼用作缺陷检查前的载置部和缺陷检查后的载置部，所述方式是：将一台存放部分为上下两段，向上段侧或下段侧的一方载置检查前的隔膜卷绕体10，向上段侧或下段侧的另一方载置检查后的隔膜卷绕体10。

机械手203是根据来自机械手控制部32L的指示而在检查前存放部201与检查后存放部202之间进行隔膜卷绕体10的交付的装置。而且，在本实施方式中，机械手203也是对缺陷检查装置1L的缺陷检查中的隔膜卷绕体10进行保持的保持机构。

机械手203具有保持隔膜卷绕体10的前端部203a。前端部203a能够通过对隔膜卷绕体10中的芯部8进行把持等方式不与隔膜12接触地对隔膜卷绕体10进行保持，并且能够使保持的隔膜卷绕体10按规定角度旋转。

机械手203从载置于检查前存放部201的隔膜卷绕体10的第二侧面A2侧把持芯部8而从检查前存放部201取出隔膜卷绕体10。并且，从检查前存放部201取出后的隔膜卷绕体10以第一面A1与射线源部2对置且第二面A2与传感器部3对置的方式，配置并保持于射线源部2与传感器部3之间。此时，机械手203设置为不与隔膜卷绕体10中的要拍摄的区域重叠。并且，如使用图3、图4～图7所说明的那样进行隔膜卷绕体10的缺陷检查。

在缺陷检查后，机械手203将保持着的隔膜卷绕体10向检查后存放部202递送。

检查后存放部202从机械手203接收检查后的隔膜卷绕体10。具体而言，检查后存放部202从检查后的隔膜卷绕体10的第一侧面A1侧向芯部8的中心孔8a(参照图2)插入保持构件(未图示)来接收检查后的隔膜卷绕体10。

这样，机械手203、检查前存放部201以及检查后存放部202不与隔膜12直接接触地进行隔膜卷绕体10的交付。

而且，机械手203在与检查前存放部201以及检查后存放部202之间交付隔膜卷绕体10，并且也实现在隔膜卷绕体10的缺陷检查中保持隔膜卷绕体10的作为保持机构的功用(与保持机构20相同的功用)。

需要说明的是，在缺陷检查装置1L中，配置于壁部47的内部且包括射线源部2、传感器部3、机械手203、检查前存放部201以及检查后存放部202在内的缺陷检查单元可以是一组，也可以是两组以上。

〔实施方式2〕

以下，主要基于图6以及图7来说明本发明的实施方式2。需要说明的是，为了便于说明，对具有与在实施方式1中说明的构件相同功能的构件标注相同附图标记，并省略其说明。

图7是示出本发明的实施方式2的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

如图7所示的隔膜卷绕体10A那样，其圆环状的隔膜12的厚度比隔膜卷绕体10(参照图6)的圆环状的隔膜12的厚度厚，在卷绕的隔膜12的厚度方向(半径方向)没有全部落入着眼区域3b内的情况下，在厚度方向(半径方向)上分多次进行拍摄。

在该情况下，首先，如使用图6进行说明的那样，取得内周侧的第一区域R1～第十八区域R18。各第一区域R1～第十八区域R18(区域R)包含芯部8的外周面S2，并且，以成为在将相邻的区域R彼此重叠时在隔膜卷绕体10的第一侧面A1不存在未拍摄区域且拍摄张数最少的角度以下的方式，使彼此的角度差开规定角度。

接着，保持机构控制部32使保持着隔膜卷绕体10的保持机构20向负Z方向(图3所示的纸面下方)下降规定距离。保持机构控制部32使保持机构20下降的规定距离是使得在着眼区域3b包含隔膜12的外周面S1、且着眼区域3b与第一区域R1～第十八区域R18中的某一方重叠这种程度的距离。

并且，将隔膜卷绕体10的拍摄、拍摄图像中的着眼区域3b的提取、隔膜卷绕体10向θ方向的规定角度的旋转的流程反复进行19次，由此与得到内周侧的第一区域R1～第十八区域R18的方法同样，得到外周侧的第一区域R21～第十九区域R39。

各第一区域R21～第十九区域R39(区域R)包含隔膜12的外周面S1，并且，以成为在将相邻的区域R彼此重叠时在隔膜卷绕体10的第一侧面A1不存在未拍摄区域且拍摄张数最少的角度以下的方式，使彼此的角度差开规定角度。

需要说明的是，在外周侧，反复次数也不限定于19次而可以任意变更。

〔实施方式3〕

以下，主要基于图8以及图9来说明本发明的实施方式3。需要说明的是，为了便于说明，对具有与实施方式1、2中所说明的构件相同功能的构件标注相同附图标记，并省略其说明。

图8是示出本发明的实施方式3的缺陷检查装置1C的简要结构的图。

缺陷检查装置1C代替缺陷检查装置1(参照图3)所具备的传感器部3、保持机构20以及控制部30，而具备传感器部3C、保持机构20以及控制部30C。

传感器部3C的尺寸比传感器部3的尺寸大，且传感器部3C具有收入隔膜卷绕体10整体的像这种程度的检测面3Ca。传感器部3C也可以通过排列多个传感器部3而构成。

保持机构20C是从保持机构20中省略向θ方向旋转的马达22的结构。保持机构20C不使保持的隔膜卷绕体10向θ方向旋转。这是因为，传感器部3C的检测面3Ca大到能收入隔膜卷绕体10整体的像这种程度，无需为了得到隔膜卷绕体10中的隔膜12的整体像而使隔膜卷绕体10进行旋转等移动。

保持机构20C能够根据来自保持机构控制部32的指示而向X轴方向以及Z轴方向移动。也可以是，保持机构20C还能够向与X轴方向以及Z轴方向垂直的Y轴方向移动。

射线源部2配置为照射面2a的中心线CE与保持机构20C的中心轴一致。由此，射线源部2所照射的电磁波4向隔膜卷绕体10均匀地照射，透过隔膜卷绕体10后的电磁波4由传感器部3C的检测面3Ca检测。

传感器控制部33C基于通过传感器部3C检测到电磁波4而得到的电信号，来生成隔膜卷绕体10的整体的拍摄图像。

图9是示出本发明的实施方式3的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

如图9所示，传感器控制部33C得到从拍摄图像中去除隔膜卷绕体10的周围的不需要的部分而成的缺陷检查图像3bC。

如图8所示，缺陷检查图像3bC的上下方向的距离是电磁波4a透过隔膜卷绕体10而向传感器部3C的检测面3Ca中的一部分区域即检测面3Cb入射时的检测面3Cb的上下方向的距离，所述电磁波4a是电磁波4中的以中心线CE为中心而以包含隔膜卷绕体10的第一侧面A1处的外周面S1这种程度的放射角度B1C呈放射状照射出的电磁波。

〔实施方式4〕

以下，主要基于图10～图13来说明本发明的实施方式4。需要说明的是，为了便于说明，对具有与实施方式1～3中所说明的构件相同功能的构件标注相同附图标记，并省略其说明。

图10是示出本发明的实施方式4的缺陷检查装置1D的简要结构的图。

缺陷检查装置1D在代替缺陷检查装置1(参照图3)的保持机构20以及控制部30而具备保持机构20D以及控制部30D这点上有所不同。控制部30D在代替控制部30的保持机构控制部32而具备保持机构控制部32D这点上有所不同。缺陷检查装置1D的其他结构与缺陷检查装置1同样。

保持机构20D是从保持机构20中省略向θ方向旋转的马达22的结构。保持机构20D不使保持的隔膜卷绕体10向θ方向旋转。保持机构20D能够根据来自保持机构控制部32D的指示而向X轴方向、Z轴方向以及与X轴方向及Z轴方向垂直的Y轴方向移动。在本实施方式中，保持机构20D使隔膜卷绕体10不向θ方向旋转而向ZY方向移动，由此使隔膜卷绕体10相对于射线源部2进行相对移动。

图11是示出对保持于保持机构20D的隔膜卷绕体10进行拍摄而得到的拍摄图像的图。需要说明的是，在图11中，示出了对隔膜卷绕体10的整体进行拍摄的情形，但也可以在隔膜卷绕体10中仅拍摄着眼区域3b、或者仅拍摄隔膜卷绕体10的包含着眼区域3b在内的一部分。

传感器控制部33设定包括芯部8的外周面S2的一部分和隔膜12的外周面S1的一部分在内的四边形的区域来作为着眼区域3b。即，着眼区域3b包含芯部8的一部分以及卷绕的隔膜12的厚度方向(纸面上下方向)的全部。

在传感器控制部33设定着眼区域3b后，缺陷检查装置1对所设置的隔膜卷绕体10进行拍摄。

接着，传感器控制部33从所生成的拍摄图像提取属于着眼区域3b的第一区域R41。

在图11中，在第一区域R41中包含异物5作为需要检测的缺陷。

图12是使图11所示的隔膜卷绕体10沿着YZ轴方向移动规定距离后的情形的图。

传感器控制部33从拍摄图像提取属于着眼区域3b的第一区域R41之后，保持机构控制部32D如图12所示那样使保持机构20沿着YZ轴方向移动规定距离。由此，保持机构20D以及隔膜卷绕体10沿着YZ轴方向移动规定距离而停止。

保持机构控制部32D使保持机构20D以及隔膜卷绕体10沿着YZ轴方向移动的规定距离是指，在使保持机构20以及隔膜卷绕体10不向θ方向旋转而沿着圆环状的隔膜12在YZ轴方向上移动并进行拍摄时得到的多个区域R重叠了的情况下、使得在隔膜卷绕体10的第一侧面A1不存在未拍摄区域且拍摄张数最少的距离以下的距离。在本实施方式中，在各区域R包含外周面S1、S2。由此，能够效率良好地对隔膜卷绕体10的整体进行拍摄。

并且，当保持机构控制部32D使保持机构20D以及隔膜卷绕体10沿着YZ轴方向移动规定距离而停止时，缺陷检查装置1D对移动后的隔膜卷绕体10进行拍摄。

接着，传感器控制部33从所生成的拍摄图像中提取属于着眼区域3b的第二区域R42。

第二区域R42与移动后的第一区域R41无间隙地重叠，彼此平行移动。

这样，不断反复进行拍摄、隔膜卷绕体10向YZ轴方向的规定距离的移动、属于着眼区域3b的移动后的区域的提取。

图13是示出本发明的实施方式4的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

如图13所示，在圆环状的隔膜12的一周，生成通过将属于着眼区域3b的区域提取并组合而成的包括第一区域R41～第二十七区域R68的缺陷检查图像。圆环状的隔膜12包含在第一区域R41～第二十七区域二R68内。

这样，保持机构20D沿着YZ轴方向以规定距离逐步移动，由此隔膜卷绕体10相对于射线源部2进行相对移动，以得到卷绕于芯部8的隔膜12的整体的像。由此，能够进行隔膜12的整体的缺陷检查。

需要说明的是，也可以是，保持机构20D不移动而射线源部2沿着YZ轴方向以规定距离逐步移动，由此隔膜卷绕体10相对于射线源部2进行相对移动。

就使保持机构20以及隔膜卷绕体10不向θ方向旋转而沿着圆环状的隔膜12在YZ轴方向上移动并进行拍摄而得到的各第一区域R41～第二十七区域R68(各区域R)而言，以成为在将相邻的区域R彼此重叠时在隔膜卷绕体10的第一侧面A1不存在未拍摄区域且拍摄张数最少的距离以下的方式，使彼此的位置差开规定距离。

这样，生成通过对圆环状的隔膜12的整体部分进行提取的图像组合而成的缺陷检查图像。

在本实施方式中，将拍摄、拍摄图像中的着眼区域3b的提取、隔膜卷绕体10向YZ轴方向的规定距离的移动的流程反复进行27次，来生成表示圆环状的隔膜12的整体的缺陷检查图像，但该反复次数可以任意变更。

之后，缺陷检查装置1也可以将缺陷检查图像显示于未图示的显示器。另外，缺陷检查装置1也可以通过对该缺陷检查图像进行图像处理等方式，来判定有无需要检测的缺陷，并将判定结果通知作业者。

〔实施方式5〕

以下，主要基于图16来说明本发明的实施方式5。需要说明的是，为了便于说明，对具有与实施方式1～4中说明的构件相同功能的构件标注相同附图标记，并省略其说明。

图16是示出本发明的实施方式5的缺陷检查装置1E的简要结构的图。

图16所示的缺陷检查装置1E在缺陷检查装置1(参照图3)的结构的基础上具备卷绕体检测部40以及卷绕体检测控制部34。

缺陷检查装置1E所具备的控制部30E是在控制部30(参照图3)的结构的基础上添加卷绕体检测控制部34而得到的结构。

根据来自卷绕体检测控制部34的指示，卷绕体检测部40检测隔膜卷绕体10在缺陷检查装置1E内的位置。然后，卷绕体检测部40将表示检测出的位置的检测信息向卷绕体检测控制部34输出。卷绕体检测控制部34基于从卷绕体检测部40取得的检测信息，来判定隔膜卷绕体10是否配置在缺陷检查装置1E内的规定位置。例如，可以在未图示的显示器显示该卷绕体检测控制部34的检测结果，也可以通过声音等向作业者通知检测结果。

由此，能够防止空运转。

另外，当隔膜卷绕体10配置于缺陷检查装置1E内的偏移了的位置就进行缺陷检查时，有可能产生未检查区域，但根据缺陷检查装置1E，能够防止该情况。

而且，当隔膜卷绕体10配置于缺陷检查装置1E内的偏移了的位置就进行缺陷检查，则有可能与可动部分发生干涉而使装置发生破损，但根据缺陷检查装置1E，也能够防止该情况。

〔实施方式6〕

以下，主要基于图17来说明本发明的实施方式6。需要说明的是，为了便于说明，对具有与在实施方式1～5中说明的构件相同功能的构件标注相同附图标记，并省略其说明。

图17是示出本发明的实施方式6的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。本实施方式的缺陷检查装置是与在实施方式1中所说明的缺陷检查装置1(参照图3)相同的结构。

对于设置于缺陷检查装置1的隔膜卷绕体，存在如图17所示的隔膜卷绕体10F那样隔膜卷绕体10F的半径10Fa小的情况、即卷绕于芯部8的隔膜12F的厚度12Fa与着眼区域3b相比相当小的情况。

在该情况下，缺陷检查装置1在通过第一次的拍摄而提取出与着眼区域3b对应的第一区域R71后，接着使隔膜卷绕体10F向θ方向旋转时，保持机构20旋转到比在实施方式1中所说明的角度大的角度θ1。

角度θ1是使边R71b、边R72a及隔膜卷绕体10的外周面S1重叠的角度，所述边R71b是第一区域R71的与隔膜卷绕体10的半径方向平行的两边R71a、R71b中的位于旋转方向后方侧的边，所述边R72a是与接下来拍摄的着眼区域3b对应的第二区域R72的与隔膜卷绕体10的半径方向平行的两边R72a、R72b中的位于旋转方向前方侧的边。

由此，能够减少拍摄次数。

需要说明的是，该隔膜卷绕体10F中的隔膜12F的厚度12Fa、即隔膜卷绕体10F的外径通过手动或自动来进行检测，并根据其大小而变更为最佳的旋转角度(角度θ1)即可。在自动检测该隔膜卷绕体10F的外径的情况下，传感器控制部33可以基于来自传感器部3的拍摄图像进行计测，也可以在缺陷检查装置1另行设置对隔膜卷绕体10F的外形进行计测的计测机构。

〔实施方式7〕

以下，主要基于图18来说明本发明的实施方式7。需要说明的是，为了便于说明，对具有与实施方式1～6中所说明的构件相同的功能的构件标注相同附图标记，并省略其说明。

图18是示出本发明的实施方式7的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。本实施方式的缺陷检查装置是与在实施方式1中所说明的缺陷检查装置1(参照图3)相同的结构。

对于设置于缺陷检查装置1的隔膜卷绕体，存在如图18所示的隔膜卷绕体10G那样隔膜卷绕体10G的半径10Ga大的情况、即卷绕于芯部8的隔膜12G的厚度12Ga与着眼区域3b相比相当大的情况。

在这样的卷绕的隔膜12G的厚度方向(半径方向)没有全部落入着眼区域3b内的情况下，在厚度方向(半径方向)上分多次进行拍摄。

在图18中，隔膜12G的厚度12Ga是在将着眼区域3b沿半径方向排列成三个彼此重叠的程度时，落入该排列后的着眼区域3b内的厚度。

在该情况下，如实施方式1中所说明的那样，首先，传感器控制部33取得第一周的各区域Rn1(各区域R)，第一周的各区域Rn1(各区域R)是如下区域：包含芯部8的外周面S2，以成为在将相邻的区域R彼此重叠时在隔膜卷绕体10G的第一侧面A1不存在未拍摄区域且拍摄张数最少的角度以下的方式，使彼此的角度差开规定角度。

接着，保持机构控制部32使隔膜卷绕体10G在Z方向上错开，传感器控制部33取得第二周的各区域Rn2(各区域R)，第二周的各区域Rn2(各区域R)是如下区域：仅包含隔膜12G，并且，以成为在将相邻的区域R彼此重叠时在隔膜卷绕体10G的第一侧面A1不存在未拍摄区域且拍摄张数最少的角度以下的方式，使彼此的角度差开规定角度。

并且，接着，保持机构控制部32使隔膜卷绕体10G进一步在Z方向上错开，传感器控制部33取得第三周的各区域Rn3(各区域R)，第三周的各区域Rn3(各区域R)是如下区域；包含隔膜12G的外周面S1，并且，以成为在将相邻的区域R彼此重叠时在隔膜卷绕体10G的第一侧面A1不存在未拍摄区域且拍摄张数最少的角度以下的方式，使彼此的角度差开规定角度。

由此，能够对隔膜12G的整个区域进行拍摄。

〔实施方式8〕

以下，主要基于图19～图21来说明本发明的实施方式8。需要说明的是，为了便于说明，对具有与在实施方式1～7中说明的构件相同功能的构件标注相同附图标记，并省略其说明。

图19是示出本发明的实施方式8的缺陷检查装置1H的简要结构的图。

图19所示的缺陷检查装置1H是代替缺陷检查装置1(参照图3)的结构中的传感器部3以及控制部30而具备传感器部3H1、3H2以及控制部30H的结构。控制部30H是代替控制部30的传感器控制部33而具备传感器控制部33H的结构。缺陷检查装置1H的其他结构与缺陷检查装置1同样。

传感器控制部33H在对两个传感器部3H1、3H2的驱动进行控制这点上与传感器控制部33不同。

传感器部3H1、3H2相对于保持机构20所保持的隔膜卷绕体10的旋转中心呈圆周状地横向排列配置。

图20是示出本实施方式的对保持于保持机构20的隔膜卷绕体10进行拍摄而得到的拍摄图像的图。

如图20所示，传感器控制部33H设定传感器部3H1中的着眼区域3b1，设定传感器部3H2中的着眼区域3b2。然后，缺陷检查装置1H对所设置的隔膜卷绕体10进行拍摄。然后，传感器控制部33H从所生成的拍摄图像中提取属于着眼区域3b1的区域R101，并提取属于着眼区域3b2的区域R102。

然后，保持机构20使隔膜卷绕体10向θ方向旋转规定角度。此时，保持机构20以角度1θ使隔膜卷绕体10旋转，角度1θ是使区域R102与着眼区域3b1以及着眼区域3b2均等地重叠的角度。

换言之，该角度1θ是指，以使基于着眼区域3b1及着眼区域3b2中的旋转方向后侧的着眼区域3b2而得到的区域R与着眼区域3b1及着眼区域3b2均等地重叠的方式，使隔膜卷绕体10旋转的角度。

接着，对以角度1θ旋转后的隔膜卷绕体10进行拍摄。然后，传感器控制部33H从所生成的拍摄图像中提取属于着眼区域3b1的区域R103，并提取属于着眼区域3b2的区域R104。

图21是示出使隔膜卷绕体10从图20的状态旋转角度3θ的量之后的情形的图。

接着，为了使拍摄次数最少，保持机构20使隔膜卷绕体10旋转角度3θ。角度3θ是角度1θ的3倍的角度。并且，对以角度3θ旋转后的隔膜卷绕体10进行拍摄。然后，传感器控制部33H从所生成的拍摄图像中提取属于着眼区域3b1的区域R105，并提取属于着眼区域3b2的区域R106。区域R105与相邻的区域R104重叠。

这样，使隔膜卷绕体10依次旋转角度1θ、3θ、1θ、3θ，能够对隔膜卷绕体10中的一周的量的隔膜12的整体进行拍摄。

根据缺陷检查装置1H，能够效率良好地进行隔膜12的整体拍摄，其结果是，能够效率良好地进行缺陷检查。

需要说明的是，缺陷检查装置1H所具备的传感器部的个数不限定于两个，也可以是，三个以上的传感器部相对于保持机构20所保持的隔膜卷绕体10的旋转中心呈圆周状地横向排列配置。由此，能够进一步效率良好地进行缺陷检查。

〔实施方式9〕

以下，主要基于图22～图24来说明本发明的实施方式9。需要说明的是，为了便于说明，对具有与在实施方式1～8中说明的构件相同功能的构件标注相同附图标记，并省略其说明。

图22是示出本发明的实施方式9的缺陷检查装置1J的结构的图。如图22所示，缺陷检查装置1J是代替缺陷检查装置1C(参照图8)所具备的传感器部3C以及控制部30C而具备传感器部3J1、3J2以及控制部30J的结构。控制部30J在代替控制部30C的传感器控制部33C而具备传感器控制部33J这点上有所不同。缺陷检查装置1J的其他结构与缺陷检查装置1C同样。传感器控制部33J对两个传感器部3J1、3J2的驱动进行控制。

传感器部3J1、3J2以保持于保持机构20的隔膜卷绕体10的旋转中心为对象上下配置。

图24是示出本发明的实施方式9的隔膜卷绕体的缺陷检查图像的情形的图。

如图24所示，传感器控制部33J设定传感器部3J1中的着眼区域3b1，并设定传感器部3H2中的着眼区域362。然后，缺陷检查装置1J对所设置的隔膜卷绕体10进行拍摄。然后，传感器控制部33J从所生成的拍摄图像中提取属于着眼区域3b1的区域R101(区域R)，并提取属于着眼区域3b2的区域R102(区域R)。据此，能够通过一次的拍摄而得到两个区域R，因此能够通过使隔膜卷绕体10旋转半周而非一周来对隔膜12的整体进行拍摄。因此，能够效率良好地进行缺陷检查。

图23是示出本发明的实施方式9的变形例的缺陷检查装置1K的结构的图。缺陷检查装置1K是在缺陷检查装置1J中配置有两个射线源部的结构。

缺陷检查装置1K代替缺陷检查装置1J中的射线源部2、传感器部3J1、3J2以及控制部30J而具备射线源部2K1、2K2、传感器部3K1、3K2以及控制部30K。

射线源部2K1、2K2中的照射面2K1a、2K2a、照射面2K1a、2K2a的中心2K1b、2K2b、焦点2K1c、2K2c、焦点2K1c、2K2c的中心2K1d、2K2d分别与射线源部2中的照射面2a、照射面2a的中心2b、焦点2c、焦点2c的中心2d对应。传感器部3K1、3K2与传感器部3J1、3J2对应。传感器控制部33K对传感器部3K1、3K2进行驱动控制。

在缺陷检查装置1K中，除了传感器部3K1、3K2以保持于保持机构20的隔膜卷绕体10的旋转中心为对象上下配置以外，射线源部2K1、2K2也以保持于保持机构20的隔膜卷绕体10的旋转中心为对象上下配置。

通过缺陷检查装置1K，也能够与缺陷检查装置1J同样地得到图24所示那样的拍摄图像。

缺陷检查装置1J(参照图22)能够利用一个射线源部2进行缺陷检查。然而，由于内侧利用通过芯部8后的电磁波4进行缺陷检查，因此存在拍摄图像的分辨率降低的倾向。

另一方面，缺陷检查装置1K(参照图23)通过两个射线源部2K1、2K2而能够使电磁波4不通过芯部8地进行缺陷检查。然而，为了上下的射线源部2K1、2K2不发生干涉，射线源部2K1、2K2之间需要铅等分隔件。此时，若与射线源部2K1、2K2的照射面相邻地设置对朝向非意图的方向的电磁波进行遮蔽的遮蔽板，则无需将装置内缩窄就能够防止干涉。

需要说明的是，缺陷检查装置1K所具备的传感器部的个数不限定于两个，使三个以上的传感器部相对于保持机构20所保持的隔膜卷绕体10的旋转中心呈点对称地配置即可。

〔总结〕

本发明的方案1的缺陷检查装置的特征在于，具有：保持机构，其对隔膜卷绕体进行保持，所述隔膜卷绕体通过将电池所使用的隔膜卷绕于筒状的芯部而成；射线源部，其对所述隔膜卷绕体照射电磁波；以及传感器部，其对从所述射线源部照射到所述隔膜卷绕体的所述电磁波进行检测，所述隔膜卷绕体相对于所述射线源部进行相对移动，所述传感器部在所述隔膜卷绕体进行相对移动的前后针对所述隔膜卷绕体来检测所述电磁波。

根据上述结构，在所述隔膜卷绕体进行相对移动的前后，针对该隔膜卷绕体而在不同的区域照射所述电磁波。由此，能够在所述隔膜卷绕体进行相对移动的前后得到不同的区域的拍摄图像。因此，即使对所述传感器部的所述电磁波进行检测的检测面小，也能够得到所述隔膜卷绕体中的大面积的拍摄图像。因此，能够进行所述隔膜卷绕体中的大范围的缺陷检查，因此能够准确地进行缺陷检查。

另外，所述传感器部在所述隔膜卷绕体进行相对移动的前后针对所述隔膜卷绕体来检测所述电磁波。因此，能够得到所述隔膜卷绕体静止的状态下的拍摄图像。因此，与对搬运中的隔膜卷绕体进行拍摄的情况不同，能够增长曝光时间，能够得到明亮且鲜明的拍摄图像。据此，能够更准确地进行缺陷检查。

这样，根据上述结构，能够抑制缺陷检查所需的时间，并且准确地进行缺陷检查。

本发明的方案2的缺陷检查装置优选的是，在所述方案1的基础上，所述隔膜卷绕体以得到卷绕于所述芯部的所述隔膜的与所述射线源部接近这侧的面的像的方式，相对于所述射线源部进行相对移动。根据上述结构，能够进行所述隔膜卷绕体中的隔膜整体的缺陷检查。

本发明的方案3的缺陷检查装置优选的是，在所述方案1或2的基础上，所述隔膜卷绕体相对于所述射线源部相对地进行以该隔膜卷绕体的中心为旋转中心的旋转运动。根据上述结构，能够效率良好地得到所述隔膜卷绕体的大区域的拍摄图像。

本发明的方案4的缺陷检查装置优选的是，在所述方案1～3的基础上，将从所述射线源部的照射面到所述隔膜卷绕体的两侧面中的位于所述传感器部侧的第二侧面为止的距离设为D1，将从所述射线源部的照射面到所述传感器部的检测面为止的距离设为D2，则D2/D1比1大且为40以下。

根据上述结构，能够缩短隔膜卷绕体的缺陷检查所需的时间，并且能够更加精度良好地进行缺陷检查。

本发明的方案5的缺陷检查装置优选的是，在所述方案1～4的基础上，缺陷检查装置具有拍摄图像生成部，所述拍摄图像生成部生成基于所述传感器部检测出的电磁波而得到的拍摄图像，所述拍摄图像生成部将在所述隔膜卷绕体进行相对移动之前生成的拍摄图像与在所述隔膜卷绕体进行相对移动之后生成的拍摄图像以一部分重叠的方式合成。

根据上述结构，能够无遗漏地得到所述隔膜卷绕体的大面积的拍摄图像。

本发明的方案6的缺陷检查装置优选的是，在所述方案4的基础上，所述拍摄图像的至少一部分包括所述芯部的一部分或所述隔膜的外周面的一部分。

根据上述结构，能够无遗漏地得到所述隔膜卷绕体的大面积的拍摄图像。

本发明的方案7的缺陷检查装置优选的是，在所述方案1～6的基础上，所述电磁波为X射线。根据上述结构，能够比较容易地确认卷绕于所述芯部的隔膜的内部有无缺陷。

本发明的方案8的缺陷检查装置优选的是，在所述方案5或6的基础上，需要基于所述拍摄图像来检测的缺陷为金属异物。根据上述结构，能够检查有无金属异物。

本发明的方案9的缺陷检查方法的特征在于，包括：从射线源部对隔膜卷绕体照射电磁波的照射步骤，其中，所述隔膜卷绕体通过将电池所使用的隔膜卷绕于筒状的芯部而成；以及对照射到所述隔膜卷绕体的所述电磁波进行检测的检测步骤，在所述检测步骤中，在相对于所述射线源部进行相对移动的所述隔膜卷绕体的移动前后照射所述电磁波。根据上述结构，能够抑制缺陷检查所需的时间，并且能够准确地进行缺陷检查。

本发明的方案10的隔膜卷绕体的制造方法优选的是，包括通过所述方案9所述的缺陷检查方法来检查所述隔膜卷绕体的卷绕于芯部的隔膜内的缺陷的缺陷检查工序。根据上述结构，能够制造出在隔膜卷绕体的卷绕于芯部的隔膜内异物的混入等缺陷少的隔膜卷绕体。

本发明的方案11的隔膜卷绕体的制造方法优选的是，在所述方案10的基础上，包括：从宽度比所述隔膜的宽度宽的坯料分切出所述隔膜的分切工序；将通过所述分切工序分切出的所述隔膜卷绕于所述芯部来制造所述隔膜卷绕体的隔膜卷绕工序；以及对通过所述隔膜卷绕工序制造出的所述隔膜卷绕体进行包装的包装工序，所述缺陷检查工序设置于所述分切工序之后且所述包装工序之前。

根据上述结构，能够利用所述缺陷检查工序更高效地检查在容易产生异物的分切工序中产生的异物。而且，在对隔膜卷绕体进行包装的后续工序中，能够省去对附着于所述隔膜的异物进行检查的时间和劳力。

本发明的方案12的隔膜卷绕体的制造方法优选的是，在所述方案10或11的基础上，在所述缺陷检查工序中，检查有无100μm以上的异物。

根据上述结构，能够制造出100μm以上的异物少或不包含100μm以上的异物的隔膜卷绕体。

本发明的方案13的隔膜卷绕体也可以通过所述方案9～12的隔膜卷绕体的制造方法来制造。由此，能够得到异物的混入等缺陷少的隔膜卷绕体。

本发明的方案14的隔膜卷绕体是通过将电池所使用的隔膜卷绕于筒状的芯部而成的隔膜卷绕体，其特征在于，在卷绕于所述芯部的隔膜内不包含100μm以上的异物。由此，能够得到因附着于隔膜的异物而产生不良情况的可能性低的隔膜卷绕体。

本发明并不限定于上述的各实施方式，能够在技术方案所示的范围内进行各种变更，将在不同的实施方式分别公开的技术手段适当组合而得到的实施方式也包含在本发明的技术范围中。