本发明属于型面测量技术，涉及一种微小元件高低温形变测量装置。
背景技术：
此装置目前国内外未见报道。现有微小元件形变测量只能在常温条件下进行形变测量，在高温、低温条件下不能实现360度全方位测量。
技术实现要素：
本发明所要解决的技术问题是：提供一种微小元件高低温形变测量装置，能够实现在高温、低温条件下进行360度全方位测量。
本发明的技术方案是：一种微小元件高低温形变测量装置，包括检测舱室、光幕测量仪、可变焦形变测量仪、冷热风通风装置；其中，检测舱室为立方体全透明舱室，采用真空玻璃制成，真空玻璃的内外壁附有透明加热膜，具有加温除冰功能；检测舱室的一面设置有舱门，舱门与检测舱室相连接部位设置有密封条；所述舱门的制造材料与检测舱室相同，其内外壁附有透明加热膜；检测舱室的一面同时设有进气孔、出气孔和温度传感器入口；在检测舱室外，舱门背对面放置可变焦形变测量仪；在检测舱室左右上下四面的外面放置两组光幕测量仪；所述冷热风通风装置通过进气孔吹入所需的冷热风；被测微小元件置于检测舱室内部，实现对微小元件在高低温环境下全方位形变测量。
进一步的，所述进气孔和出气孔设置为检测舱室一面的对角位置。
进一步的，所述进气孔、出气孔、温度传感器入口为可封闭孔。
进一步的，所述密封条为橡胶密封条。
本发明的有益效果是：本发明装置微小元件高低温形变测量装置，采用真空玻璃制成检测舱室，舱室通入暖风、冷风，利用光幕及可变焦形变测量仪实现对微小元件进行360度全方位形变测量。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
其中1-进气孔、2-出气孔、3-温度传感器入口、4-光幕测试仪、5-真空玻璃、6-微小元件、7-可变焦形变测量仪
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式做进一步说明。
参见图1，一种微小元件高低温形变测量装置，包括检测舱室、光幕测量仪4、可变焦形变测量仪7、冷热风通风装置1、2；其中，检测舱室为立方体全透明舱室，采用真空玻璃制成，真空玻璃的内外壁附有透明加热膜，具有加温除冰功能；检测舱室的一面设置有舱门，舱门与检测舱室相连接部位设置有密封条；所述舱门的制造材料与检测舱室相同，其内外壁附有透明加热膜；检测舱室的一面同时设有进气孔、出气孔和温度传感器入口；在检测舱室外，舱门背对面放置可变焦形变测量仪；在检测舱室左右上下四面的外面放置两组光幕测量仪；所述冷热风通风装置通过进气孔吹入所需的冷热风；被测微小元件置于检测舱室内部，实现对微小元件在高低温环境下全方位形变测量。所述进气孔和出气孔设置为检测舱室一面的对角位置。所述进气孔1、出气孔2、温度传感器入口3为可封闭孔。所述密封条为橡胶密封条。
参见图1，本发明一种微小元件高低温形变测量装置，检测舱室均由真空玻璃制成，玻璃内外壁间为真空并有加温除冰功能。正视图为检测舱室的舱门，图中1、2、3均为可封闭孔。其中：
——进风口1，可接入热风、冷风可实现舱内高低温的环境；
——出风口2设置于进风口的对角位置；
——温度传感器入口3，可插入温度传感器对舱内温度进行测量。
检测舱室的舱门左侧一面放置可变焦形变测量仪，在舱室侧面放置两组光幕测试仪，微小元件置于检测舱室内部。实现对微小元件在高低温环境下全方位形变测量。
测试过程：将微小元件6放入检测舱室中心部位，固定后，关闭检测舱室的门，先调整检测舱室两侧的两组光幕测试仪4的位置，使其可持续检测微小元件局部尺寸变化，再调整可变焦形变测量仪7的位置，使其持续检测光幕测试仪无法检测的部位形变，由温度传感器口3插入温度传感器到微小元件的周围，监控温度变化，根据微小元件使用环境的情况，从进风口1持续吹入冷风或热风，通过对流由出风口2排出返回热源，通过持续循环，使检测舱室内温度达到设置的温度要求，即可开展不同温度下微小元件的形变测量。