一种碳化硅测温晶体标定装置的制作方法

本实用新型涉及晶体温度测量技术领域，特别涉及一种碳化硅测温晶体标定装置。

背景技术：

碳化硅测温晶体进行测温前要进行标定实验，获得温度和判读参数的曲线，因此碳化硅测温晶体的标定精度是决定碳化硅测温晶体测温精度的关键因素之一。

使用高温电阻炉进行测温晶体的标定实验时，标定温度的控制和准确记录非常重要，现有技术的温度标定存在以下缺陷：

1、高温电阻炉炉膛内温度场不均匀，所以温度的空间不一致可能导致标定实验中获取的温度不是真实温度；

2、高温电阻控温采用的是PID方法控温，真实温度滞后于控制温度，所以温度的时间不一致也可能导致标定实验中获取的温度不是真实温度，而对于对温度有严格要求的测温晶体标定来说，直接使用控温面板上显示的数据是不可行的，因此，需要开发一种碳化硅测温晶体标定装置，实现测温晶体标定温度的准确控制及标定温度数据的准确记录。

技术实现要素：

为克服上述现有技术存在的至少一种缺陷，本实用新型提供了一种碳化硅测温晶体标定装置，包括恒温管、陶瓷棒、测温热电偶、升降机构和高温合金吊索。

恒温管设置于电阻炉内，且内部设有空腔，用于制造电阻炉炉膛内的恒温腔室；陶瓷棒放置于恒温管空腔内，陶瓷棒内部设有空腔，测温晶体放置于陶瓷棒的空腔内，陶瓷棒空腔内部的温度场比恒温管空腔更加均匀，可增加测得温度的真实性；测温热电偶用于反馈测温晶体的温度，其测量端进入陶瓷棒与测温晶体相接触，另一端与测温仪表相连接，测温仪表用于显示温度示数；升降机构用于放入或取出陶瓷棒，其包括竖杆和横杆，竖杆设置在电阻炉外表面，横杆与竖杆相连接并可沿竖杆的轴线方向移动；高温合金吊索其将陶瓷棒与横杆连接固定。

优选的，横杆通过电机带动沿竖杆的轴线方向移动。

优选的，所述陶瓷棒空腔分为上部空腔和下部空腔，下部空腔的直径比上部空腔的直径大。

优选的，恒温管与陶瓷棒的材料均为耐高温陶瓷。

本实用新型提供的一种碳化硅测温晶体标定装置，具有以下有益效果：

1、通过测温晶体外套陶瓷棒以及陶瓷棒外套恒温管的方式，解决了电阻炉炉膛内温度场的不均匀性的问题，保证测温晶体的标定精度；

2、通过测温热电偶配合测温仪表，解决了电阻炉控温滞后导致记录温度不准确的问题，实现测温晶体标定实验及标定温度数据的准确记录；

3、利用升降机构，方便了测温晶体在电阻炉内的进出，增加标定效率。

附图说明

图1为碳化硅测温晶体标定装置的总体示意图；

图2为碳化硅测温晶体标定装置的陶瓷棒连接示意图。

附图标记：电阻炉1，恒温管2，高温合金吊索3，陶瓷棒4，测温热电偶5，测温仪表6，竖杆7，横杆8，测温晶体9。

具体实施方式

为使本实用新型实施的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行更加详细的描述。在附图中，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

下面通过具体的实施例对本实用新型作进一步详细的描述。

具体实施例：

如图1及图2所示，本实用新型提供的一种碳化硅测温晶体标定装置，包括恒温管2、陶瓷棒4、测温热电偶5、升降机构和高温合金吊索3。

恒温管2采用耐高温陶瓷材料制成，设置于电阻炉1内，恒温管2内部设有空腔，作为电阻炉炉膛内的腔室；

陶瓷棒4采用耐高温陶瓷材料制成，其放置于恒温管2的空腔内，陶瓷棒4内部设有空腔，该空腔分为上部空腔和下部空腔，下部空腔的直径比上部空腔的直径大，测温晶体7放置于陶瓷棒4的下部空腔中；

测温热电偶5用于反馈测温晶体的温度，其测量端进入陶瓷棒4与测温晶体9相接触，另一端与测温仪表6相连接，测温仪表用于显示温度示数；

升降机构包括设置在电阻炉1外表面的竖杆7和与竖杆7相固定的横杆8，横杆8在电机的带动下沿竖杆7的轴线方向移动；

高温合金吊索3用于安装陶瓷棒4，其一端与陶瓷棒4固定连接，另一端与横杆8固定连接。

在需要标定测温晶体9时，将测温晶体9放入陶瓷棒4中的下部空腔中，本实施例中采用碳化硅测温晶体，将测温热电偶5以测量端朝下的状态放入陶瓷棒4的空腔内，并使其测量端与测温晶体9相接触，测温热电偶5的另一端通过线缆与测温仪表6相连接，用于将试验时测得的温度数据传输给测温仪表6，用高温合金吊索3将陶瓷棒4与横杆8连接固定，本实施例中是将高温合金吊索3的一端与陶瓷棒4相连接，另一端与横杆8相连接，将陶瓷棒4吊在横杆8上；

试验开始后，启动电机，使横杆8沿着竖杆7的轴线方向下降，陶瓷棒4就会降入到恒温管2的空腔内，电阻炉1加热完毕后，通过记录测温仪表6的示数来对测温晶体9进行标定。

标定完毕后，关闭电阻炉1，启动电机使横杆8沿竖杆7的轴线方向上升，直到陶瓷棒4完全脱离恒温管2的内腔。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。