1.一种凹槽式真空探针检测装置,包括显微镜、真空反应腔和设备支架，其特征在于还包括：
安装于设备支架上的聚焦调节器，用于调整显微镜的高度和水平位置；
安装于显微镜上的物镜切换盘，用于切换不同倍率的物镜；
所述真空反应腔为凹槽式，凹槽内设置有观察窗口，真空反应腔内、观察窗口下方设置有载物台，载物台上设置有垂直放置的探针，待测物品放置于探针顶部；
所述凹槽为所述物镜工作区域，调节所述显微镜的高度，可使得所述物镜高度下降，伸入所述凹槽内观察待测物品。
2.如权利要求1所述的凹槽式真空探针检测装置，其特征在于，所述物镜包括：5X物镜、50X物镜和500X物镜。