一种扫描隧道显微镜用扫描探针装置的制作方法

文档序号:13610697阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种扫描隧道显微镜扫描探针装置,其特征在于,包括两个针尖托,所述针尖托由上部的空心圆柱体和下部的圆柱组成,针尖托下端与针尖托上端通过弹簧片实现插拔配合,实现两个针尖托紧密配合。

2.如权利要求1所述的一种扫描隧道显微镜扫描探针装置,其特征在于,所述针尖托表面镀有一层抗氧化导电层,该镀层为金、银、铂、铱中的一种;其中一个针尖托外壁直接引导线连接至隧道电流,并固定在扫描陶瓷管上,一个针尖托装入扫描探针。

3.如权利要求2所述的一种扫描隧道显微镜扫描探针装置,其特征在于,所述针尖托上端装入扫描探针后,可夹瘪探针托上端,实现针尖和针尖托的良好的电接触。

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