一种扫描隧道显微镜用扫描探针装置的制作方法

文档序号:13610697阅读:637来源:国知局
一种扫描隧道显微镜用扫描探针装置的制作方法

本实用新型涉及材料测试仪器领域,具体涉及一种扫描隧道显微镜用扫描探针装置。



背景技术:

扫描隧道显微镜(scanning tunneling microscope)是利用量子力学中的隧道效应,通过测量探针与被测样品之间的隧道电流的变化来分辨固体表面的形貌。一般来说扫描隧道显微镜主要由三个部分组成:显微镜主体、控制电路和计算机控制系统(测量软件及数据处理软件),在这其中最重要的就是主体,它包括了针尖平面扫描机构,针尖与样品距离控制调节机构,系统与外界震动隔离装置。

根据量子力学的隧道效应可以知道隧道电流的大小与势垒宽度密切相关,所以针尖的条件非常重要,而如果装载探针的装置导电性不佳,则会直接影响测试的效果,因此,本实用新型提出一种扫描隧道显微镜用扫描探针装置,不仅结构简单,成本低,而且电接触性能优良。



技术实现要素:

本实用新型的主要目的旨在解决探针装置的良好电接触性,提供一种扫描隧道显微镜扫描探针装置。

为达到上述技术效果,本实用新型提供了一种扫描隧道显微镜扫描探针装置,包括两个针尖托,所述针尖托由上下两个空心圆柱体组成,针尖托下端与针尖托上端通过弹簧片实现插拔配合,实现两个针尖托紧密插合。针尖托上端装入扫描探针后,可夹瘪探针托上端,实现良好的电接触。

附图说明

图1探针托正视图

图2探针托剖视图。

具体实施例

参见说明书附图,一种高真空环境下扫描探针换针装置,包括两个针尖托,所述针尖托由上下两个空心圆柱体组成,分别标记为上端1和下端2。针尖托下端2外径与针尖托上端1通过弹簧片实现插拔配合,实现两个针尖托紧密配合,另针尖托上端1装入扫描探针后,可夹瘪探针托上端1,实现良好的电接触。

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