一种扫描隧道显微镜用扫描探针装置的制作方法

文档序号:13610697阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种扫描隧道显微镜用扫描探针装置,包括两个针尖托,所述针尖托由上下两个空心圆柱体组成,针尖托下端与针尖托上端通过弹簧片实现插拔配合,实现两个针尖托紧密配合,另针尖托上端装入扫描探针后,可夹瘪探针托上端,实现良好的电接触。本实用新型的主要目的旨在解决探针与针尖托的接触不良问题,提供一种扫描隧道显微镜扫描探针装置。

技术研发人员:董国材;张祥
受保护的技术使用者:常州国成新材料科技有限公司
文档号码:201720846451
技术研发日:2017.07.13
技术公布日:2018.02.02

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