一种具有表面增强拉曼效应的传感器的制作方法

文档序号:15377468发布日期:2018-09-07 23:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有表面增强拉曼效应的传感器,其特征在于:包括由铁电材料制成的衬底(1),该衬底(1)上生成有至少一个贵金属三角片(2),所述贵金属三角片(2)上沉积有贵金属颗粒(3)。

2.根据权利要求1所述的一种具有表面增强拉曼效应的传感器,其特征在于:所述贵金属三角片(2)为金三角片。

3.根据权利要求1或2所述的一种具有表面增强拉曼效应的传感器,其特征在于:所述贵金属颗粒(3)为金纳米颗粒。

4.根据权利要求3所述的一种具有表面增强拉曼效应的传感器,其特征在于:所述衬底(1)为铌酸锂单晶片,该铌酸锂单晶片的正向极化面上生成有所述贵金属三角片(2)。

5.根据权利要求1或2所述的一种具有表面增强拉曼效应的传感器,其特征在于:所述衬底(1)上有至少两个所述贵金属三角片(2),至少一个所述贵金属三角片(2)上沉积有所述贵金属颗粒(3)。

6.根据权利要求5所述的一种具有表面增强拉曼效应的传感器,其特征在于:所述贵金属三角片(2)为等边三角形,其边长为400nm-4μm。

7.根据权利要求1所述的一种具有表面增强拉曼效应的传感器,其特征在于:所述衬底(1)的厚度为0.3mm。

8.根据权利要求3所述的一种具有表面增强拉曼效应的传感器,其特征在于:所述金纳米颗粒的粒径为30-200nm。

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