技术特征：
技术总结
量子隧穿和球面散射场复合原理传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用量子隧穿和球面散射场复合原理传感，首先调整复合原理测头和被测件的相对距离进入工作区间，然后采用球面散射场原理得到瞄准间隙的粗测结果，据此将被测物和微测球的瞄准间隙直接调整至隧穿工作区间，然后通过三维量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号；本发明还提供了一种复合原理传感装置；本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
技术研发人员：边星元;崔俊宁;陆叶盛;谭久彬
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
技术研发日：2018.08.07
技术公布日：2019.01.15