一种环形温度传感器的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种环形温度传感器，用于测量晶体管的温度，包括：按由内而外顺序依次设置在所述晶体管的有源区的环形P型重掺杂区、环形N型重掺杂区、环形阳极、环形N阱区以及环形P阱区；以及环形阴极，所述环形阴极设置在所述环形N型重掺杂区；其中，所述环形阴极与所述晶体管的源极短路设置。

技术研发人员：顾航;白云;谭犇;陈宏;宋瓘;张有润;汤益丹;田晓丽;刘新宇
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
技术研发日：2018.09.30
技术公布日：2019.02.15