技术总结
本实用新型涉及压电材料检测技术领域,尤其涉及一种探头。本实用新型的探头包括绝缘连接的压电芯片和检测探针,所述压电芯片包括相对的两个表面,其中一个表面接地,所述检测探针触碰压电膜样品时可检测压电膜样品的非接地表面和压电芯片的非接地表面上分别产生的电压信号。本实用新型的探头可以基于压电膜的一个表面去进行压电参数的检测,无须破坏压电膜,操作比较简单,检测效率高。
技术研发人员:吴露;张千;王开安;陈健强
受保护的技术使用者:成都安瑞芯科技有限公司
技术研发日:2018.05.02
技术公布日:2018.12.18