一种红外探伤仪的制作方法

本实用新型涉及硅片缺陷检测技术领域，更具体的说是涉及一种红外探伤仪。

背景技术：

晶体硅作为重要的半导体材料，其兼备了无机材料和无机材料的性能，是电子信息产业和太阳能光伏产业的关键基础材料，存在于半导体晶片的各种晶体缺陷和加工缺陷对器件质量合成品率都有不同程度的影响，为保证器件的质量和使用寿命，在使用之前需要对晶体硅进行缺陷分析。而现有的红外探伤仪无法对红外光强度进行调整，且检测模块和控制模块设置于一处，布局混乱，且彼此之间的位置不易调整。

因此，如何提供一种整机组成模块化，且自动化程度高的红外探伤仪是本领域技术人员亟需解决的问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供了一种红外探伤仪，将控制装置和检测装置单独安装于不同的箱体内，整机组成模块化程度较高，且均具有较大的调整范围，还通过计算机发送指令并控制检测过程，具有操作简单、自动化程度高的特点。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种红外探伤仪，包括：

上箱体；

检测装置，所述检测装置安装于所述上箱体内部；

下箱体，所述上箱体固定安装于所述下箱体的顶壁上端面，所述下箱体的顶壁的一侧向外延伸形成安装台；

控制装置，所述控制装置安装于所述下箱体内部，且与所述检测装置电性连接；

计算机，所述计算机与所述控制装置之间通信连接；

工作台，所述计算机位于所述工作台上，且所述工作台的水平位置高于所述安装台；

旋转支架，所述旋转支架的一端与所述安装台转动连接，另一端向上倾斜延伸并与所述工作台固定连接。

经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，首先，本实用新型的检测装置和控制装置分别位于不同的箱体中，不仅具有较大的调整空间，且其运行过程互不干涉，具有较高的模块化程度；其次，通过计算机对硅块的检测结果进行分析，操作简单、且自动化程度较高；再次，计算机相对下箱体的位置可以通过旋转支架进行调整，灵活方便；最后，工作台的设置不仅能够放置图表等物品，还一定程度上保证了工作人员工作过程的舒适度。

优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述检测装置包括红外发射装置、成像仪、可沿所述上箱体的高度方向上下移动的升降装置和用于放置待检测物体的转台，其中，所述升降装置的固定端与所述上箱体的底壁上端面固定连接，所述升降装置的移动端的两侧端分别与所述红外发射装置和所述成像仪固定连接，所述转台固定于所述上箱体的底壁上端面、且位于所述红外发射装置和所述成像仪之间。

优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述控制装置包括工控机、控制开关、急停开关、用于显示红外光强度的显示屏和用于调节红外光强度的旋钮，所述控制开关、所述急停开关、所述显示屏、所述旋钮均、所述红外发射装置、所述成像仪、所述升降装置和所述转台均与所述工控机连接。

优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述工控机具有数据处理系统，所述数据处理系统包括微处理器、图像合成模块、图像存储模块、图像查询模块、图表编辑模块和报告输出模块，其中，所述微处理器分别与所述图像合成模块、所述图像存储模块和所述图表编辑模块连接，所述图像合成模块与所述成像仪连接，所述图像查询模块与所述图像存储模块连接，所述报告输出模块与所述图表编辑模块连接。

优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述红外发射装置为红外灯箱，且所述灯箱的长度不小于所述转台的直径。

经由上述技术方案可知，本实用新型能够保证红外光源能够覆盖待检测的硅块，保证成像效果。

优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述红外灯箱的前面板上设置有匀光板。

经由上述技术方案可知，本实用新型使发射的红外光均匀照在待检测硅块上，使成像效果清晰、均匀，提高对硅块缺陷检测的准确度。

优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述红外灯箱的后面板开设有散热孔。

经由上述技术方案可知，本实用新型中散热孔的设置不仅保证了光源的长久稳定运行，还延长了灯箱的使用寿命

优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述红外灯箱的前面板安装有红外滤光片。

经由上述技术方案可知，本实用新型中红外滤光片的设置保证了红外光的透过率，且进一步保证了成像效果，提高检测结果的准确性。

优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述下箱体的底壁下端面安装有脚轮。

经由上述技术方案可知，本实用新型移动方便，且省时省力。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1附图为本实用新型的主视图；

图2附图为本实用新型的侧视图；

图3附图为本实用新型的俯视图；

图4附图为本实用新型检测装置结构示意图；

图5附图为本实用新型控制装置、检测装置和计算机之间的连接示意图；

图6附图为本实用新型数据处理系统的结构示意图。

图中：

1为上箱体，2为检测装置，21为红外发射装置，22为成像仪，23为升降装置，24为转台，3为下箱体，31为安装台，32为脚轮，4为控制装置， 41为工控机，411为微处理器，412为图像合成模块，413为图像存储模块， 414为图像查询模块，415为图表编辑模块，416为报告输出模块，42为控制开关，43为急停开关，44为显示屏，45为旋钮，5为计算机，6为旋转支架， 61为工作台。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例公开了一种红外探伤仪，其不仅将检测装置和控制装置分别位于不同的箱体内部，使整机组成的模块化程度较高；还具有操作简单、调节方便和自动化程度稿的特点。

如图1-图3所示，一种红外探伤仪，包括：

上箱体1；

检测装置2，检测装置安装于上箱体1内部；

下箱体3，上箱体1固定安装于下箱体3的顶壁上端面，下箱体3的顶壁的一侧向外延伸形成安装台31；

控制装置4，控制装置4安装于下箱体3内部，且与检测装置2电性连接；

计算机5，计算机5与控制装置4之间通信连接；

工作台61，计算机5位于工作台61上；

旋转支架6，旋转支架6的一端与安装台31转动连接，另一端向上倾斜延伸并与工作台61固定连接。通过对旋转支架的旋转，完成对计算机的位置调整，调节灵活且方便；工作台的设置使工作人员的工作空间变大，保证工作过程的舒适度。

如图4所示，检测装置2包括红外发射装置21、成像仪22、可沿所述上箱体的高度方向上下移动的升降装置23和用于放置待检测物体的转台24，其中，所述升降装置23的固定端与所述上箱体1的底壁上端面固定连接，所述升降装置23的移动端呈V形结构，且其两侧分别与所述红外发射装置21和所述成像仪22固定连接，所述转台24固定于所述上箱体1的底壁上端面、且位于所述红外发射装置21和所述成像仪22之间。

如图5所示，控制装置4包括工控机41、控制开关42、急停开关43、用于显示红外光强度的显示屏44和用于调节红外光强度的旋钮45，控制开关 42、急停开关43、显示屏44、旋钮45、红外发射装置21、成像仪22、升降装置23和转台24均与工控机41连接。

如图6所示，工控机41具有数据处理系统，数据处理系统包括微处理器 411、图像合成模块412、图像存储模块413、图像查询模块414、图表编辑模块415和报告输出模块416，其中，微处理器411分别与所述图像合成模块 412、图像存储模块413和图表编辑模块415连接，图像合成模块412与成像仪22连接，所述图像查询模块414与所述图像存储模块413连接，报告输出模块416分别与所述图表编辑模块415和打印机连接。图像合成模块可以将获取的图像进行处理，并形成3D图像，看起来更加直观，且对硅块的缺陷情况一目了然；图像存储模块对检测的所有硅块的检测结果进行存储，并通过图像查询模块进行随时查询，便于后期追溯；图表生成模块将所检测的硅块的各种参数指标进行汇总，并生成表格，检测结果通过报告输出模块416输出至打印机进行打印。

本实用新型的工作过程如下：将待检测的硅块放置于转台24上，开启控制开关42启动控制装置4，此时，显示屏44显示当时的红外光强度，旋转旋钮45调节红外光强度，直至达到成像效果最佳，调试完成后，计算机5发送指令至工控机41，工控机41控制转台24旋转90°，使待检测硅块的一面正对红外发射装置21，同时工控机41控制升降装置23沿上箱体1的高度方向向上移动，红外发射装置21和成像仪22在升降装置23的带动下均向上移动，分别完成对待检测硅块其中一面的扫描和摄像，并将获取的图像实时传输至计算机5，由计算机5完成对待检测硅块的缺陷分析，当待检测硅块的一面扫描完成后，计算机5再次发送指令至工控机41，工控机41控制转台24再次旋转90°，同时工控机41控制升降装置23开始沿上箱体1高度方向向下移动，开始对待检测硅块的另一面进行扫描和摄像，此过程循环进行两次，直至完成对待检测硅块四个面的扫描和摄像，并由计算机5对获取的图像进行处理和综合分析，即完成对待检测硅块的缺陷分析工作。

根据本实用新型红外探伤仪，在一个实施例中，红外发射装置21为红外灯箱，且红外灯箱的长度不小于转台24的直径，以使红外光源能够覆盖待检测的硅块。

更有利的，红外灯箱的前面板上设置有匀光板和红外滤光片。使发射的红外光均匀照在待检测硅块上，并保证红外光线的透过率，使成像效果清晰、均匀，提高对硅块缺陷检测的准确度。

更有利的，红外灯箱的后面板开设有散热孔，散热孔的设置不仅保证了光源的长久稳定运行，还延长了灯箱的使用寿命。

根据本实用新型红外探伤仪，在另一个实施例中，下箱体3的底壁下端面安装有脚轮32，脚轮32可以是万向轮，且带有制动器，便于对红外探伤仪的位置进行调整，省时省力，且方便制动，使其不易发生移动。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。