一种硅片称重装置的制作方法

本实用新型属于机械领域，具体涉及一种硅片称重装置。

背景技术：

现有制绒下料工艺中，需要对硅片进行称重只能人工取出硅片进行称重。人工取片容易造成硅片破碎，增加了作业人员的工作强度，降低了生产效率。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片称重装置，以解决现有技术存在的效果不佳等问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

一种硅片称重装置，它包括设置在机架上的吸取装置和称重平台；其中，所述的称重平台上设有称重模块，称重模块上设有导向滑轨和伸缩气缸；所述的吸取装置上设有气缸连接板、升降气缸、吸盘安装座和吸盘。

其中，所述的吸取装置的工作行程为五道输送线工作。

其中，所述的称重平台的材料为大理石，表面水平光滑保证称重装置的精度与稳定性。

其中，称重模块的称重精度可以达到0.01％。

其中，伸缩气缸上设有护罩。

其中，当称重模块工作时，伸缩气缸缩回带动护罩移动，露出称重模块；当称重模块结束工作时，伸缩气缸伸出带动护罩移动，遮住称重模块，起到保护称重模块的作用。

其中，气缸连接板固定在吸取装置底面，气缸连接板、升降气缸、吸盘安装座和吸盘从上至下依次相连。

有益效果：本实用新型装置解决人工称重硅片的问题，在不影响效率的前提下减少了硅片破损，同时减轻了作业人员的劳动强度。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本实用新型的侧视图；

图4为本实用新型的结构示意图。

附图标记：硅称重平台1、称重模块2、吸取装置3、气缸连接板4、升降气缸5、吸盘安装座6、检测装置7、吸盘8、护罩9、硅片10、导向滑轨12、伸缩气缸11。

具体实施方式

实施例1

如图1所示，本实施例工作过程如下：吸取装置3到达硅片上方，升降气缸5伸出，吸盘8吸取硅片10，升降气缸5缩回，吸取装置3移动到称重模块2上方，伸缩气缸11伸出带动护罩9移动，露出称重模块2，升降气缸5伸出，吸盘8放下硅片10，称重模块2检测硅片10重量。吸盘8吸取硅片10，升降气缸5缩回，吸取装置3移动到输送线上方，吸盘8放下硅片10。吸取装置3移动到另一台输送线上方，开始循环重复上述动作。

本实施例结构紧凑，运行稳定、成本低、寿命高，实际生产中已得到验证，设备硅片重量准确度达到99.8％，新型装置机动率在100％；可以在制绒、刻蚀上下料机等设备上使用。