一种间距测量装置的制作方法

文档序号:17140681发布日期:2019-03-19 21:32阅读:202来源:国知局
一种间距测量装置的制作方法

本实用新型涉及一种间距测量装置,特别是一种用于液晶制造领域的风刀和液刀与基板之间距离的测量装置。



背景技术:

在液晶显示制造领域,湿式设备是最常用的设备之一,风刀和液刀在新型半导体显示以及半导体的湿式设备中具有广泛应用,风刀装置一般设置在传送腔室出口,药液腔室之间以及除水腔室等。液刀一般设置在湿式腔室内部。在实际应用中各种风刀和液刀与基板的距离控制,跟产品的质量息息相关,因此风刀和液刀与基板之间的距离控制极为重要。

随着液晶面板行业基板不断大型化,液晶显示制造设备的宽度也随着基板的增大而增大,对应的风刀和液刀的长度也不断增加,较长的风刀和液刀在安装使用过程中会存在形变的风险,风刀和液刀的形变会改变风刀和液刀与基板之间的距离,因此在设备保养和维护时,需要对风刀和液刀之间的距离进行测量,并且与标准进行对比,如果存在形变现象,则会做出相应的调整。

目前的风刀和液刀的测量,往往不能直接将测量工具直接放置到风刀和液刀与基板之间,由于设备较大,风刀和液刀的设置深度可达一米以上,因此读数非常不方便以及不准确,在对有盖板包裹位置的风刀和液刀与基板之间的距离进行测量时,需要频繁拆装盖板,极易造成盖板松动,并引起相关设备异常。现在的测量方法不仅测量时间长,测量精度不高,而且测量效率低下。



技术实现要素:

本实用新型提供了一种间距测量装置,该装置能够通过在测量主体上形成接触痕迹,方便在测量装置取出之后进行数据读数,提升了测量数据的准确性,操作简单,可以循环使用。

一种间距测量装置,包括:测量主体,所述测量主体具有一个倾斜的测量面,所述测量面上覆盖叠层结构;所述间距测量装置还包括痕迹清除辊,所述痕迹清除辊设置在叠层结构和测量主体之间,所述痕迹清除辊可以沿着测量面运动。

优选的,所述测量主体为三棱柱,所述三棱柱横截面为直角三角形,所述直角三角形的斜边所在面为测量面。

优选的,还包括手柄,所述手柄设置在测量主体的非测量面上。

优选的,所述手柄包括握持部和连接部,所述连接部采用中空设计,所述握持部嵌入连接部中。

优选的,所述连接部还包括弹簧。

优选的,所述手柄和测量主体由不锈钢材料制成。

优选的,所述叠层结构依次包括:聚氯乙烯接触膜、痕迹膜以及聚氯乙烯接触膜。

优选的,所述测量主体还包括位于测量面下的痕迹清除辊收纳槽,所述痕迹清除辊收纳于痕迹清除辊收纳槽中。

优选的,所述测量主体还包括刻度线,所述刻度线设置在测量主体侧壁上。

优选的,所述测量主体还包括固定所述层叠结构在测量面上的固定螺丝,所述固定螺丝将叠层结构固定到测量主体上。

本实用新型通过在测量主体上覆盖叠层结构,通过叠层结构记录接触痕迹,方便在测量装置取出之后进行数据读数,同时测量装置还可以深入盖板包裹的液刀和风刀内进行有效的测量,提升了测量数据的准确性,操作简单,提升了工作效率,可以循环使用,降低了成本。

附图说明

图1为本实用新型实施例一结构示意图;

图2为本实用新型叠层结构示意图;

图3为本实用新型实施例二结构示意图;

图4为本实用新型手柄结构示意图;

图5为本实用新型实施例二俯视图;

附图标记列表:101-聚氯乙烯接触膜,102-痕迹膜,103-聚氯乙烯接触膜,201-握持部,202-接触部,203-弹簧,301-手柄,302-叠层结构,303-痕迹清除辊,304-固定螺丝,305-测量主体,306-痕迹清除辊收纳槽。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例,进一步阐明本实用新型,应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围,在阅读了本实用新型之后,本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

实施例一:

如图1为本实用新型的第一实施例结构示意图,一种间距测量装置,包括具有倾斜测量面的测量主体305,所述测量主体305为三棱柱,测量主体305的横截面为直角三角形,直角三角形的斜边所在面为倾斜测量面,测量面上覆盖叠层结构302,叠层结构302通过固定螺丝304与测量主体305连接,测量主体305设有位于倾斜测量面下的设有痕迹清除辊收纳槽306。

如图2所示为本实用新型叠层结构302结构示意图,叠层结构302自下而上依次为:聚氯乙烯接触膜103、痕迹膜102以及聚氯乙烯接触膜101,所述聚氯乙烯接触膜103与测量面接触,所述聚氯乙烯接触膜101与待测的风刀或液刀接触,所述痕迹膜102为凝胶材质,痕迹膜101可以记录测量面与风刀或液刀的接触痕迹。

本实施例间距测量装置还包括痕迹清除辊303,痕迹清除辊303收纳于痕迹清除辊收纳槽306中,痕迹清除辊303位于测量主体305和叠层结构302之间,痕迹清除辊303可以沿着测量面运动,在测量结束以后,痕迹清除辊303可以对叠层结构302形成的接触痕迹进行清除,使得测量装置可以反复使用,提升了经济性。

本实施例间距测量装置还包括刻度线(图未示),所述刻度线设置在测量主体305的侧壁上,通过刻度线,方便测量人员直接进行读数,从而不需要额外的工具,简化了读数操作,提升了效率。

本实施例中,测量主体305由不锈钢构成,在对湿式设备进行测量时,测量主体305不可避免的与湿式设备中的液体进行接触,湿式设备中液体对测量主体305产生腐蚀后,会影响测量装置的精度,采用不锈钢耐腐蚀的材料,可以有效防止测量主体305遭腐蚀而影响精度的情况发生。

本实施例的使用流程如下:

(1)将测量装置放置在素玻璃上,让测量装置随着素玻璃传送到风刀或液刀下方;

(2)当测量装置与风刀或液刀接触时,停止传送;

(3)传送机构反向输送素玻璃,将测量装置取出,通过刻度线,读出接触痕迹的高度值;

(4)让痕迹清除辊303沿着测量面滚动,清除叠层结构302上的接触痕迹,进行下一次测量。

需要说明的是,本实施例中测量主体还可以是各种其他具有倾斜面的棱柱结构,如五棱柱、六棱柱等,以及一些横截面为不规则的形状,具有一个倾斜边的棱柱结构。一些具有倾斜面的棱锥结构也同样适用。

实施例二:

对上述实施例进行改进,如图3-5为本实用新型第二实施例结构示意图,测量装置还包括手柄301,手柄301设置在测量主体305的非测量面上,手柄301包括握持部201和连接部202,连接部202为中空设计,握持部201嵌入连接部202中,连接部202内设有弹簧203,手柄301采用不锈钢材料制成。操作人员可以手持手柄301,手动将测量主体305送到玻璃基板和风刀或者液刀之间,弹簧203可以让握持部201和连接部202之间具有一定的位移空间,改善了实施例一种因为操作不当,会使测量装置直接撞坏风刀或者液刀的风险,同时可以简化操作方法,提升测量效率。

本实施例的使用流程如下:

(1)将素玻璃传送到风刀或者液刀下方;

(2)手持测量装置的手柄301,将测量主体305推到素玻璃和风刀或者液刀之间,使液刀和风刀在测量装置的叠层结构302上形成痕迹;

(3)取出测量装置,通过刻度线,读出接触痕迹的高度值;

(4)让痕迹清除辊303沿着测量面滚动,清除叠层结构302上的接触痕迹,进行下一次测量。

需要说明的是,实施例二中的手柄301还可以根据需求将手柄301的握持部201设计成为L型或者倒L型用于深度较深,空间较狭小的测量位置。

以上详细描述了本实用新型的优选实施方式,但是本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节,在本实用新型的技术构思范围内,可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换(如数量、形状、位置等),这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。

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