一种阴极检漏设备的制作方法

本实用新型涉及检测设备技术领域，具体涉及一种阴极检漏设备。

背景技术：

在磁控溅射镀膜设备中的阴极上，都会集成有工艺气体管路，如氩气、氮气、氧气、氩氧混合气等等工艺气体管路；用于精确分配工艺气体用量的气体质量流量控制器(MFC：Mass Flow Controller)及用于连接或者断开工艺气体管路的接头及气动截止阀。而在生产过程中，由于产品工艺变更，需要更换管路尺寸或者改变气体管路连接方式及硬件(MFC及气动截止阀) 本身出现异常的情况下。当技术人员完成以上的更换气体管路及更换异常的硬件后，都必须对阴极进行检漏来确保它是否能重新投入使用。在目前的情况下，我们需要一台专用的起吊阴极的液压车将阴极从阴极专用维修车上吊装到磁控溅射设备上，利用磁控假设镀膜设备中的真空泵组将设备抽真空后，再接入氦检仪对阴极进行检漏。

由于利用设备自身进行的真空泵组件，因此在检漏过程中会导致此台设备不能用于生产，其中阴极吊装到设备后，真空泵组对设备进行抽真空需要至少25分钟，对阴极检漏需要至少20分钟，如果阴极出现有漏，还需要对设备破真空，拆下阴极对漏点进行处理，处理完毕后在安装回设备抽真空再检漏这样会大大影响产线的产能。

技术实现要素：

(一)本实用新型所要解决的技术问题是：现有的磁控设备对饮及检测过程中，都需要用到磁控设备本身的真空泵组件抽真空，这样会导致该磁控设备停机，影响产线的产能。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种阴极检漏设备，包括检漏仪和容纳装置，所述容纳装置内形成一个下端开口的容纳腔，所述检漏仪与所述容纳腔连通，所述容纳装置罩在待检测阴极上，且所述容纳装置的开口端与待检测阴极密封连接。

进一步地，还包括支撑架、吊臂和驱动装置，所述容纳装置与所述吊臂相连，所述吊臂的一端与所述支撑架滑动连接，所述驱动装置用于驱动所述吊臂沿所述支撑架上下滑动。

进一步地，还包括真空波纹管，所述容纳装置上设有与所述容纳腔连通的连接口，所述检漏仪通过真空波纹管与所述连接口连通。

进一步地，所述阴极检漏设备还包括下端设有滚轮的底座，所述支撑架固定在所述底座上。

进一步地，所述支撑架为支撑壳体，所述支撑壳体的下端与所述底座垂直连接。

进一步地，所述驱动装置包括驱动电机和丝杆，所述驱动电机固定在所述支撑壳体的上端，所述丝杆位于所述支撑壳体内，所述驱动电机的输出端与所述丝杆传动连接，所述吊臂穿过所述支撑壳体与所述丝杆固定连接。

进一步地，所述支撑壳体的侧壁上设有滑槽，所述滑槽由上至下开设在所述支撑壳体的外侧壁上，所述丝杆上设有滑块，所述滑块和丝杆构成丝杠副，所述吊臂的一端穿过所述滑槽与所述滑块垂直连接，所述吊臂的另一端位于所述底座的上侧。

进一步地，还包括控制组件，所述控制组件包括电机开关、正转按钮和反转按钮，所述电机开关、正转按钮和反转按钮均固定在所述支撑壳体的外壁上，并分别与所述驱动电机电连接。

进一步地，所述容纳装置为下端开口的不锈钢壳体，所述不锈钢壳体的上端与所述吊臂相连。

进一步地，所述不锈钢壳体的上端通过吊索与所述吊臂相连。

进一步地，所述不锈钢壳体的下端设有密封圈，所述不锈钢支撑壳体通过密封圈与待检测阴极密封连接。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供的阴极检漏设备包括检漏仪和容纳装置，在对阴极进行检测时，先将待检测的阴极拆下，然后将一个符合当前生产工艺需求的阴极安装到设备上使用，再将拆下的待检测阴极放置到阴极维护车上，将阴极维护车推至容纳装置的下方，将容纳装置罩设在待检测的阴极外侧并密封，检漏仪与容纳腔连通，通过检漏仪来对容纳腔抽真空，并检测阴极是否有漏；由于本申请提供的阴极检漏装置不需要使用设备本身的真空泵组件抽真空，因此能够实现不停机检测，这样能够大大的增加产线的产能。

附图说明

本实用新型上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请中所述阴极检漏设备的主视图；

图2是本申请中所述阴极检漏设备的右视图；

图3是本申请中阴极检漏设备工作状态的下的主视图；

图4是本申请中阴极检漏设备工作状态的下的右视图。

其中图1至图4中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

1、底座，11、支撑壳体，111、驱动电机，112、吊臂，113、支撑板，114、丝杠，115、控制组件，1151、电机开关，1152、正转按钮，1153、反转按钮，12、滚轮，2、不锈钢壳体，21、容纳腔，22、密封圈，23、吊索， 24、连接口，3、维护车，31、靶座，32、密封面。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

如图1至图4所示，本实用新型提供了一种阴极检漏设备，包括检漏仪和容纳装置，所述容纳装置内形成一个下端开口的容纳腔21，所述检漏仪与所述容纳腔21连通，所述容纳装置罩在待检测阴极上，且所述容纳装置的开口端与待检测阴极密封连接。

本实用新型提供的阴极检漏设备包括检漏仪和容纳装置，在对阴极进行检测时，先将待检测的阴极拆下，然后将一个符合当前生产工艺需求的阴极安装到设备上使用，再将拆下的待检测阴极放置到阴极维护车上，将阴极维护车推至容纳装置的下方，将容纳装置罩设在待检测的阴极外侧并密封，检漏仪与容纳腔21连通，通过检漏仪来对容纳腔21抽真空，并检测阴极是否有漏；由于本申请提供的阴极检漏装置不需要使用设备本身的真空泵组件抽真空，因此能够实现不停机检测，这样能够大大的增加产线的产能。

可选地，如图1至图4所示，所述阴极检漏设备还包括支撑架、吊臂112 和驱动装置，所述容纳装置与所述吊臂112相连，所述吊臂112的一端与所述支撑架滑动连接，所述驱动装置用于驱动所述吊臂112沿所述支撑架上下滑动；在对待检测阴极进行检测时，先将一个符合当前生产工艺需求的阴极安装到设备上使用，然后将待检测的阴极放置到阴极维护车3上，将阴极维护车3推至容纳装置的下方，驱动装置驱动容纳装置向下移动，并罩在待检测的阴极上侧并密封，检漏仪通过管路和连接口24与容纳腔21连通，通过检漏仪来对容纳腔21抽真空，并检测阴极是否有漏；由于本申请提供的阴极检漏装置不需要使用设备本身的真空泵组件抽真空，因此能够实现不停机检测，这样能够大大的增加产线的产能。

如图1至图4所示，本实用新型提供的所述阴极检漏设备还包括真空波纹管，所述容纳装置上设有与所述容纳腔连通的连接口24，所述检漏仪通过真空波纹管与所述连接口24连通。

如图1至图4所示，所述阴极检漏设备还包括下端设有滚轮12的底座1，所述支撑架固定在所述底座1上，这样在使用时将装载维修保养后的阴极的维护车3，推至阴极检漏工具车的吊臂112下，驱动装置驱动容纳装置向下移动，并罩在待检测的阴极上侧并密封，检漏仪通过管路和连接口24与容纳腔21连通；优选地，所述检漏仪为氦检仪，所述管路为真空波纹管，通过检漏仪来对容纳腔21抽真空，并检测阴极是否有漏；由于在所述底座1 上设有由滚轮12，因此整个印迹检测设备能够移动，因此可远离磁控溅射生产线来对阴极进行检漏，这样不会影响整个磁控溅射产线的正常运转，能够保证产线的正常运行，避免因对阴极进行检漏导致的产线停机影响产能的问题发生。可选地，本申请中所述滚轮12可以为万向轮，这样能够方便的对整个阴极检漏设备进行转向，便于使用和移动。

如图1至图4所示，所述支撑架为支撑壳体11，所述支撑壳体11的下端与所述底座1垂直连接；所述驱动装置包括驱动电机111和丝杆114，所述丝杆114上设有滑块，所述丝杆114和滑块构成一个丝杠副，所述驱动电机111固定在所述支撑壳体的上端，所述丝杆114位于所述支撑壳体11内，所述驱动电机111的输出端与所述丝杆114传动连接，所述吊臂112穿过所述支撑壳体11与所述丝杆114上的滑块固定连接。通过驱动电机111来带动丝杆114转动运动，丝杆114转动带动滑块上下滑动，进而带动与滑块固定连接的吊臂112上下移动，以带动所述容纳装置上下移动；在对阴极进行检漏过程中，先通过驱动电机111和丝杆114带动吊臂112向上移动，进而带动与吊臂112相连的容纳装置向上移动，然后将待检测的阴极放置到阴极维护车3上，将阴极维护车3推至容纳装置的下方，驱动电机111驱动所述丝杆114转动，带动滑块向下移动，来带动吊臂112向下移动，进而驱动与吊臂112相连的容纳装置向下移动，并罩在阴极上，其中所述阴极包括靶座 31和密封面32，所述靶座31固定在所述密封面32上，所述容纳装置的开口端与密封面32密封连接，靶座31位于容纳装置和密封面32围城的密封的容纳腔21内，然后检漏仪通过管路与容纳装置上的连接口24连通，检漏仪能够通过管路将容纳腔21内抽真空，并检测靶座31是否有漏；检测完成后驱动电机111带动丝杆114转动，进而带动与所述丝杆114配合的滑块向上移动，通过滑块带动吊臂112向上移动，进而带动所述容纳装置向上移动。

可选地，所述支撑壳体11的侧壁上设有滑槽，所述滑槽由上至下开设在所述支撑壳体11的外侧壁上，所述吊臂112的另一端位于所述底座1的上侧，所述吊臂112的一端穿过所述滑槽与所述滑块固定连接；驱动电机111 驱动转动，此时滑块就在滑槽内上下滑动，以实现所述吊臂112的上下移动，进而实现容纳装置的上下移动。如图1至图4所示，所述阴极检漏设备还包括支撑板113，所述支撑板113的一端与所述吊臂112的下端相连，另一端与所述滑块相连，通过支撑板113来提高对于吊臂112的支撑强度，以更好地对所述吊臂112进行支撑，防止吊臂112出现下垂脱落的风险。

如图1至图4所示所述阴极检漏设备还包括控制组件15，所述控制组件 15包括电机开关1151、正转按钮1152和反转按钮1153，所述电机开关1151、正转按钮1152和反转按钮1153均固定在所述支撑壳体11的外壁上，并分别与所述驱动电机111电连接，这样通过电机开关1151来控制驱动电机111 的启动和停止，通过正转按钮1152来控制驱动电机111正向转动，此时驱动电机111带动丝杆114向下移动，进而带动驱动装置向下移动；当检测完成后通过反转按钮1153来控制驱动电机111向上移动，进而带动驱动装置向上移动。

如图1至图4所示，所述容纳装置为下端开口的不锈钢壳体2，所述不锈钢壳体2的上端与所述吊臂112相连，可选地所述不锈钢壳体2的上端通过吊索23与所述吊臂112相连，这样通过吊臂112和吊索23来带动不锈钢壳体2上下移动；所述不锈钢壳体2的下端设有密封圈22，即所述不锈钢壳体2的开口端设有密封圈22，通过密封圈22能够保证不锈钢壳体2与所述阴极密封面32的密封性能，确保容纳腔21内的密封性。

下面结合附图1至附图4来具体说明本实用新型提供的阴极检漏设备的工作过程：

如图1和图2所示，在不使用时所述吊臂112是位于上端的，当需要对阴极进行检测时，通过机械手或者其它设备，将待检测的阴极从产线上去下并放在维修车上，然后将一个符合当前生产工艺需求的阴极安装到设备上使用；将装载待检漏阴极的维护车3推至不锈钢壳体2的下方，此时不锈钢壳体2形成的容纳腔21位于所述待检测阴极的上侧；然后通过安装在支撑壳体11外壁上的控制按钮盒上的电机开关1151启动驱动电机111，然后通过正转按钮1152驱使驱动电机111正转，驱动电机111正转带动丝杆114旋转，丝杆114旋转带动滑块上下移动，使与所述滑块固定连接的吊臂112向下移动，从而使悬挂在吊臂112上的不锈钢壳体2下降；当密封圈22与阴极的密封面32接触时，松开正转按钮1152使驱动电机111停止(如图3和图4所示)，将检漏仪通过管路与所述不锈钢壳体2上连接口24连通；优选地，所述检漏仪为氦检仪，所述管路为波纹管，所述氦检仪通过真空波纹管连接至不锈钢壳体2内形成的密封容纳腔21内，启动检漏仪对容纳腔21 抽真空并对阴极进行检漏；检漏完毕后，将真空波纹管拆卸后，通过反转按钮1153控制电机反转，进而通过丝杆114、滑块、吊臂112和吊索23带动将不锈钢壳体2上升至安全高度(如图1图2所示)；

然后通过电机开关1151关闭驱动电机111的电源从而完成检漏工作。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连通，也可以通过中间媒介间接连通，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。