一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置的制作方法

本实用新型属于直拉单晶技术领域，尤其是涉及一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置。

背景技术：

石英坩埚作为直拉单晶炉重要辅料之一，对单晶炉装料、成晶及单晶品质有着重要作用，因此，石英坩埚的尺寸将影响其与其他热场件的合理装配，如果石英坩埚直壁部分尺寸不合理易造成单晶成晶差甚至坩埚上沿变形、卷边异常，如果弧度部分尺寸不合理，易造成单晶尾部断苞，势必造成单晶拉制成本上升，品质下降。因此对于单晶硅制造企业石英坩埚进厂检验工作做好尤为重要。

当前对石英坩埚测量方法多数为使用游标卡尺、卷尺、专用弧度卡尺等工具的形式进行测量，工作量大且受测量水平影响误差大、一致性差，同时存在数据不准的情况，一旦反馈尺寸不合理追溯将非常困难，这对企业的可持续发展十分不利。

技术实现要素：

鉴于上述问题，本实用新型要解决的问题是提供一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置，用于对石英坩埚的尺寸进行测量，测量方便，误差小，可应用于自动化测量。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置，包括弧度部和直壁部，弧度部与直壁部可单独使用，或弧度部与直壁部可拆卸连接，其中，

弧度部包括第一弧度部和第二弧度部，第一弧度部分别设于第二弧度部的两端，弧度部设有多个网孔，弧度部用于与石英坩埚装配，对石英坩埚的底部弧度进行测量，第一弧度部与第二弧度部分别对石英坩埚的底部的第一弧度和第二弧度进行测量；

直壁部包括观察部和测量部，观察部设于测量部一端，测量部另一端开口，测量部设有观察孔，直壁部用于与石英坩埚的直壁部装配，用于对石英坩埚的直壁部进行测量。

进一步的，网孔尺寸为25-100mm。

进一步的，测量部包括内径层和外径层，内径层与外径层同轴设置，内径层与外径层的一端均与观察部连接，内径层与外径层之间具有测量间隙。

进一步的，测量间隙与石英坩埚的壁厚相适应。

进一步的，弧度部与直壁部均为透明材质。

进一步的，内径层与外径层另一端开口。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置结构简单，使用方便，具有弧度部和直壁部，且弧度部与直壁部配合使用时的形状与石英坩埚相适应，弧度部和直壁部分别与石英坩埚装配，通过判断弧度部与直壁部是否与石英坩埚装配合理来判断石英坩埚的尺寸是否合格，快速测量，节约测量工时，测量误差小，一致性好，测量方便、易懂，测量装置成本小，便于实现自动化测量。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例的弧度部的结构示意图；

图2是本实用新型的一实施例的直壁部的结构示意图。

图中：

1、观察部2、测量间隙3、内径层

4、外径层5、观察孔6、网孔

7、第二弧度部8、第一弧度部

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。

图1和2示出了本实用新型一实施例的结构，本实施例涉及一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置及使用方法，用于对石英坩埚的尺寸进行测量，便于后续直拉单晶使用的石英坩埚尺寸合格，保证直拉单晶的正常进行，该快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置具有弧度部和直壁部，弧度部与直壁部相配合使用对石英坩埚进行尺寸测量，测量方便，误差小。

一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置，如图1和2所示，包括弧度部和直壁部，弧度部与直壁部可单独使用，或者，弧度部与直壁部可拆卸连接，弧度部用于对石英坩埚的底部弧度部分进行尺寸测量，直壁部用于对石英坩埚的直壁部分进行尺寸测量，弧度部与直壁部可以是单独使用，分别对石英坩埚的弧度部分和直壁部分进行尺寸测量；或者，弧度部与直壁部可拆卸连接，两者配合使用，对石英坩埚的尺寸进行测量，弧度部与直壁部可通过插接，或者是滑动连接，或者是其他可拆卸连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

其中，弧度部包括第一弧度部8和第二弧度部7，第一弧度部8的数量为两个，两个第一弧度部8分别设于第二弧度部7的两端，两个第一弧度部8分别与第二弧度部7固定连接，第一弧度部8可以通过粘胶与第二弧度部7固定连接，或者第一弧度部8与第二弧度部7一体成型，或者是其他固定连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求，优选的，在本实施例中，第一弧度部8与第二弧度部7一体成型，结构稳定，不易变形。第一弧度部8的弧度尺寸小于第二弧度部7的尺寸，使得两个第一弧度部8与第二弧度部7构成的弧度部与石英坩埚的底部弧度部分形状相适应，便于弧度部在对石英坩埚底部的弧度部分的尺寸测量时，石英坩埚放置在弧度部上，进行装配，使得弧度部与石英坩埚的底部弧度部分贴合，进行石英坩埚底部的尺寸测量，当石英坩埚底部弧度部分与弧度部相贴合，且紧密贴合，没有间隙时，说明装配合理，表示石英坩埚底部弧度部分尺寸合格。

弧度部设有多个网孔6，网孔6的设置，便于对石英坩埚底部弧度部分的尺寸测量时观察，观察石英坩埚底部弧度部分是否与弧度部相贴合，优选的，网孔6设置在弧度部的第二弧度部7，且网孔6的数量为多个，根据实际需求进行选择，网孔6的尺寸为25-100mm，网孔6的形状可以是圆形，或者是方形，或者是其他的形状，根据实际需求进行选择。

直壁部用于测量石英坩埚直壁部分的尺寸，该直壁部包括观察部1和测量部，观察部1设于测量部一端，测量部另一端开口，测量部设有观察孔5；观察部1的设置，便于在对石英坩埚的直壁部分测量时进行观察，便于判断石英坩埚直壁部分的尺寸是否合格；测量部的设置，便于对石英坩埚直壁部分进行测量；观察部1安装在测量部的一端，且观察部1与测量部可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或者是其他连接方式，根据实际需求进行选择，且观察部1与测量部垂直相交设置。

上述的观察部1为板状结构，其形状与测量部的横截面形状相适应，便于观察部1与测量部连接，观察部1的形状优选为圆形，在观察部1上设置有多个观察孔5，观察孔5的形状可以是圆形，或者是方形，或者其他形状，根据实际形状进行选择，这里不做具体要求，其尺寸这里同样不做具体要求，根据实际需求进行选择。观察部1安装在测量部的一端，测量部的另一端开口，便于套装在石英坩埚上，对石英坩埚的直壁部分进行测量。

上述的测量部包括内径层3和外径层4，内径层3与外径层4同轴设置，内径层3与外径层4之间具有测量间隙，测量间隙2与石英坩埚的壁厚相适应，内径层3与外径层4的形状均与石英坩埚的直壁部分形状相适应，便于对石英坩埚的直壁部分进行测量，优选的，内径层3与外径层4均为圆柱形结构，内部中空，两端开口，也就是，测量部为环形结构，内径层3位于内部，外径层4位于外部，内径层3与外径层4构成环状结构，内径层3与外径层4之间的距离与石英坩埚的直壁部分的厚度相适应，便于对石英坩埚的直壁部分的尺寸进行测量，内径层3与外径层4的一端均与观察部1连接，也就是，内径层3与外径层4构成的圆柱状的环形结构一端与观察部1连接，该端测量间隙2闭口，另一端开口，且该端测量间隙2开口，便于对石英坩埚的直壁部分进行测量。观察部1的设置，当直壁部在进行测量时，测量部套装在石英坩埚的直壁部分，石英坩埚的直壁部分的端部对观察部进行阻挡，使得测量部悬停在此位置处，保证测量过程位置固定，避免测量部掉落，对石英坩埚的弧度部分造成损害，同时避免对测量造成影响。

为避免弧度部和直壁部对石英坩埚造成影响，该弧度部与直壁部均为透明材质，便于测量。

一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置的使用方法，包括以下步骤：

s1：弧度部与石英坩埚进行装配，将石英坩埚放置在弧度部上，使得石英坩埚的弧度部分的外壁与弧度部接触，通过网孔6判断弧度部与石英坩埚是否合理装配，该判断弧度部与石英坩埚合理装配的依据为弧度部与石英坩埚贴合，若石英坩埚的弧度部分的外壁与弧度部内壁紧密接触，则说明石英坩埚的弧度部分的尺寸符合规格，可以进行直拉单晶使用；若石英坩埚的弧度部分的外壁与弧度部内壁没有紧密接触，有间隙，则说明石英坩埚的弧度部分的尺寸不合格，不能进行直拉单晶使用。在进行弧度部与石英坩埚的弧度部分装配时，可以通过滑块与连杆机构进行装配，也可以通过其他方式进行装配，实现自动化装配，同时通过激光检测仪器检测装配是否合理，即通过检测石英坩埚外壁与弧度部外壁距离差，若距离差在设定值范围内，则说明弧度部与石英坩埚装配合理，反之，则说明弧度部与石英坩埚的装配不合理，便于实现自动化。

s2：直壁部与石英坩埚进行装配，石英坩埚的直壁部分插入内径层3与外径层4之间的测量间隙内，从直壁部的下部测量间隙处进行石英坩埚的直壁部分与直壁部装配，石英坩埚的直壁部分沿着直壁部的下部的测量间隙插入，将直壁部套装在石英坩埚的直壁部分上，通过观察孔判断直壁部与石英坩埚是否合理装配，判断直壁部与石英坩埚合理装配的依据为石英坩埚直壁部分可插入测量间隙2内，且石英坩埚直壁部分的内壁与外壁分别与内径层3和外径层4贴合，则石英坩埚尺寸合理，可以进行直拉单晶使用；若无法装配或装配后间距较大，说明尺寸不合理，不能应用于直拉单晶；在直壁部与石英坩埚的直壁部分装配时，可以结合自动线完成装配，也可以结合数控程序进行装配，若装配不合理，即可停止装配，保证坩埚不受损伤。判断直壁部与石英坩埚是否合理装配时可以通过激光检测仪器，即通过检测石英坩埚外壁(通过外径层开孔)与直壁部外壁距离差，若距离差在设定值范围内，则说明弧度部与石英坩埚装配合理，反之，则说明弧度部与石英坩埚的装配不合理，便于实现自动化。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置结构简单，使用方便，具有弧度部和直壁部，且弧度部与直壁部配合使用时的形状与石英坩埚相适应，弧度部和直壁部分别与石英坩埚装配，通过判断弧度部与直壁部是否与石英坩埚装配合理来判断石英坩埚的尺寸是否合格，快速测量，节约测量工时，测量误差小，一致性好，测量方便、易懂，测量装置成本小，便于实现自动化测量。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。