一种平面靶材背面金属化检测装置的制作方法

文档序号:20648974发布日期:2020-05-08 12:45阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:包括机架(1),所述机架(1)内部对称安装有两根输送轴(5),所述输送轴(5)外侧包裹有输送带(4),所述机架(1)外侧安装有输送电机(3),所述输送电机(3)的输送端与任一根所述输送轴(5)相连接;所述输送带(4)表面均匀设置有放置板(6),所述放置板(6)表面设置有夹紧组件(7),用于将靶材夹紧固定在所述放置板(6)表面;

所述机架(1)上端安装有门型架(2),所述门型架(2)上表面竖直贯穿安装有调高杆(8),所述调高杆(8)的伸缩端伸入所述门型架(2)内部且安装有弹性伸缩杆(9),所述弹性伸缩杆(9)的伸缩端竖直向下且安装有承载架(10),所述承载架(10)呈“n”字型结构,且内部转动安装有升降辊(11),所述升降辊(11)沿着所述输送带(4)宽度方向延伸,所述承载架(10)靠近所述输送带(4)输送尾端的侧面安装有固定架(12),所述固定架(12)内部倾斜安装有刮刀(13),所述刮刀(13)的底部刀刃与所述升降辊(11)底部外圆面平齐。

2.根据权利要求1所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述夹紧组件(7)包括承载立板(703),所述承载立板(703)共有两块,且以所述输送带(4)宽度中线对称分布在所述放置板(6)上表面,所述承载立板(703)表面贯穿设置有滑动孔(707),所述滑动孔(707)内部滑动安装有滑动柱(706),所述滑动柱(706)外端安装有拉板(702),所述滑动柱(706)内端伸入两块所述承载立板(703)之间且安装有夹紧板(705),所述滑动柱(706)外侧套装有夹紧弹簧(704),所述夹紧弹簧(704)位于所述夹紧板(705)和所述承载立板(703)之间。

3.根据权利要求2所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述滑动柱(706)和所述滑动孔(707)的截面均为方形,且所述滑动柱(706)与所述滑动孔(707)间隙配合。

4.根据权利要求2所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述拉板(702)外侧面设置有拉环(701)。

5.根据权利要求1所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述调高杆(8)包括承载管(801),所述承载管(801)竖直贯穿安装在所述门型架(2)表面,所述承载管(801)外壁贯穿设置有导向槽(802),所述导向槽(802)沿着所述承载管(801)轴向延伸,所述承载管(801)内部通过轴承安装有承载套(804),所述承载套(804)穿出所述承载管(801)底端,所述承载套(804)底端安装有调节螺母(805),所述调节螺母(805)内部通过螺纹安装有升降丝杠(806),所述升降丝杠(806)底端与所述弹性伸缩杆(9)相连接,所述升降丝杠(806)上端伸入所述承载管(801)内部且设置有导向块(803),所述导向块(803)与所述导向槽(802)间隙配合。

6.根据权利要求5所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述弹性伸缩杆(9)包括固定管(901),所述固定管(901)上端密闭且底端开口,所述固定管(901)的密封端与所述升降丝杠(806)底端相连接,所述固定管(901)开口端安装有导向板(904),所述导向板(904)表面贯穿设置有导向孔(906),所述导向孔(906)内部滑动安装有升降柱(905),所述升降柱(905)底端与所述承载架(10)相连接,所述升降柱(905)上端伸入所述固定管(901)内部且安装有升降块(903),所述升降块(903)上表面放置有砝码(902)。

7.根据权利要求6所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述升降柱(905)和所述导向孔(906)的截面均为方形,且所述升降柱(905)与所述导向孔(906)间隙配合。

8.根据权利要求6所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述升降块(903)上表面均匀设置有放置凹槽(907),用于放置所述砝码(902)。

9.根据权利要求6所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述固定管(901)外壁贯穿设置有取放口(908)。


技术总结
本实用新型公开了一种平面靶材背面金属化检测装置,包括机架,所述机架内部对称安装有两根输送轴,所述输送轴外侧包裹有输送带;所述机架上端安装有门型架,所述门型架上表面竖直贯穿安装有调高杆,所述调高杆的伸缩端安装有弹性伸缩杆,所述弹性伸缩杆的伸缩端安装有承载架,所述承载架内部转动安装有升降辊,所述承载架侧面安装有固定架,所述固定架内部倾斜安装有刮刀。有益效果在于:通过输送带对靶材进行输送,配合弹性伸缩杆将刮刀压紧在靶材表面,通过刮刀对靶材表面金属化铟层刮擦,检测金属化铟层与靶材的结合效果;能够适用于不同大小和厚度的靶材使用需求,适用范围广。

技术研发人员:陈华鑫;高毅;陈小梅
受保护的技术使用者:厦门格雷迪科技有限公司
技术研发日:2019.09.10
技术公布日:2020.05.08
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