1.一种流体处理装置，其特征在于，具有：
第一液体导入部，用于导入第一液体；
第一清洗液导入部，用于导入清洗液；
第一流路，用于使导入至所述第一液体导入部的液体及导入至所述第一清洗液导入部的液体流动；
第二液体导入部，用于导入第二液体；
第二清洗液导入部，用于导入清洗液；
第二流路，用于使导入至所述第二液体导入部的液体及导入至所述第二清洗液导入部的液体流动；
第三流路，用于使在所述第一流路中流过来的液体及在所述第二流路中流过来的液体流动；
第一隔膜阀，配置于所述第一流路与所述第三流路之间；
第二隔膜阀，配置于所述第二流路与所述第三流路之间；以及
腔室，与所述第三流路连接。
2.如权利要求1所述的流体处理装置，其中，
在所述第三流路的流动方向上，所述第一隔膜阀及所述第二隔膜阀配置于彼此不同的位置。
3.如权利要求1所述的流体处理装置，其中，还具有：
第三隔膜阀，配置于所述第一液体导入部与所述第一流路之间；
第四隔膜阀，配置于所述第一清洗液导入部与所述第一流路之间；
第五隔膜阀，配置于所述第二液体导入部与所述第二流路之间；以及
第六隔膜阀，配置于所述第二清洗液导入部与所述第二流路之间。
4.一种流体处理装置，其特征在于，具有：
第一液体导入部，用于导入第一液体；
第二液体导入部，用于导入第二液体；
清洗液导入部，用于导入清洗液；
第一流路，用于使导入至所述第一液体导入部的液体及导入至所述清洗液导入部的液体流动；
第二流路，用于使导入至所述第二液体导入部的液体及导入至所述清洗液导入部的液体流动；
第一隔膜阀，配置于所述清洗液导入部与所述第一流路及所述第二流路之间；
第三流路，与所述第一流路及所述第二流路连接，用于使在所述第一流路中流过来的液体及在所述第二流路中流过来的液体流动；以及
腔室，与所述第三流路连接。
5.如权利要求4所述的流体处理装置，其中，还具有：
第二隔膜阀，配置于所述第一液体导入部与所述第一流路之间；以及
第三隔膜阀，配置于所述第二液体导入部与所述第二流路之间。
6.一种流体处理装置，其特征在于，具有：
第一液体导入部，用于导入第一液体；
第一清洗液导入部，用于导入清洗液；
第一流路，用于使导入至所述第一液体导入部的液体及导入至所述第一清洗液导入部的液体流动；
第二液体导入部，用于导入第二液体；
第二清洗液导入部，用于导入清洗液；
第二流路，用于使导入至所述第二液体导入部的液体及导入至所述第二清洗液导入部的液体流动；以及
腔室，与所述第一流路及所述第二流路分别单独地连接。
7.如权利要求6所述的流体处理装置，其中，还具有：
第一隔膜阀，配置于所述第一液体导入部与所述第一流路之间；
第二隔膜阀，配置于所述第一清洗液导入部与所述第一流路之间；
第三隔膜阀，配置于所述第二液体导入部与所述第二流路之间；以及
第四隔膜阀，配置于所述第二清洗液导入部与所述第二流路之间。