检测装置的制作方法

文档序号:25999211发布日期:2021-07-23 21:15阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种检测装置,其特征在于,包括水平支撑台、置于水平支撑台上的竖直支撑台及光学检测装置,所述光学检测装置包括物镜、激发光出射模块及受激光采集模块,其中,所述受激光采集模块安装于所述竖直支撑台上且在所述竖直支撑台上呈两维延伸分布。

2.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括下框架,所述水平支撑台置于所述下框架上,所述下框架还用于搭载样品载体,所述水平支撑台对应所述物镜所在位置设有避空位,所述光学检测装置透过所述避空位对所述样品载体上的样品进行检测。

3.如权利要求2所述的检测装置,其特征在于,所述水平支撑台包括蜂窝板与置于所述蜂窝板之上的水平面板,所述蜂窝板安装于所述下框架上,所述水平面板安装于所述蜂窝板上,所述蜂窝板上设有多个镂空。

4.如权利要求3所述的检测装置,其特征在于,所述水平面板上开设凹槽用于安装所述竖直支撑台,所述凹槽的侧边设有朝向凹槽中心凸出的凸起,所述凸起用于定位所述竖直支撑台。

5.如权利要求3所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括减震支撑组件,所述下框架支撑于所述减震支撑组件上以减少或隔离外界震动。

6.如权利要求3所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括移动平台,所述移动平台安装于所述下框架上,位于所述物镜的正下方,所述移动平台用于配合所述光学检测装置的检测移动所述样品载体;及/或,所述移动平台包括平面移动机构与角度调整机构,所述平面移动机构用于在一平面内移动所述样品载体,所述角度调整机构用于在所述平面内转动所述样品载体。

7.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述光学检测装置包括分光镜及/或平面反射镜,所述分光镜及/或平面反射镜各自安装于固定框中,所述固定框在被直接或间接安装至所述竖直支撑台上,所述固定框上设有应力释放结构,所述应力释放结构用于避免所述固定框的形变传递至所述分光镜或平面反射镜,或者,所述应力释放结构为开设于所述固定框上、环绕所述分光镜或平面反射镜的l型通槽。

8.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述受激光采集模块包括多个光学元器件,所述光学元器件通过各自的安装组件及/或调节组件安装于所述竖直支撑台上,所述光学元器件的位置及/或角度通过精密螺纹副、及/或通过固定所述安装组件及/或调节组件的螺钉、及/或通过多个抵顶所述安装组件及/或调节组件的抵顶件来实现精密调节。

9.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述多个抵顶件沿预设方向分布,通过调节该多个抵顶件施加于所述安装组件及/或调节组件的作用力实现所述安装组件及/或调节组件于该预设方向的角度,从而调节对应的光学元器件于该预设方向的位置及/或角度。

10.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述光学检测装置还包括自动对焦模块,所述自动对焦模块与所述激发光出射模块设置于所述水平支撑台上,且被分置于所述竖直支撑台的前后两侧。


技术总结
本发明提供一种检测装置,所述检测装置包括水平支撑台、置于水平支撑台上的竖直支撑台及光学检测装置,所述光学检测装置包括物镜、激发光出射模块及受激光采集模块,其中,所述受激光采集模块安装于所述竖直支撑台上且在所述竖直支撑台上呈两维分布。本发明提供的检测装置整机结构更紧凑、占用空间更小,且更符合人体工学,方便机器调试。

技术研发人员:姜鹤鸣;布莱恩·基思·豪泽尔;邓茜;曹明友;杨斌;黄怡;温欣;黄雁樵;伍子毅;克雷格·爱德华·乌里齐;颜景堂
受保护的技术使用者:深圳华大智造科技有限公司
技术研发日:2020.01.17
技术公布日:2021.07.23
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