1.一种影像复合检测系统,其特征在于,包含:
一第一舱体,其提供容置一待测物的一真空环境;
一电子显微装置设置于该第一舱体上,其在该真空环境中检测该待测物;
一光学检测区位于该第一舱体外,其提供该待测物的一大气环境;
一第一光学显微装置设置于该光学检测区的范围内,其在该大气环境中检测该待测物,其中该第一光学显微装置包括用以建立该待测物的一光学全景影像;
一第二光学显微装置设置于该光学检测区的范围内,其在该大气环境中检测该待测物,其中该第二光学显微装置包括用以建立该待测物的一光学局部影像;及
一移载模块移载该待测物到该第一舱体中以进行检测或到该光学检测区内以进行检测。
2.如权利要求1所述的影像复合检测系统,其特征在于,更包括多个扫描移动机构分别设置于该光学检测区和该第一舱体中,其中,每一该扫描移动机构承载该待测物以及变更该待测物在该光学检测区和该第一舱体中的位置。
3.如权利要求2所述的影像复合检测系统,其特征在于,设置在该光学检测区的该扫描移动机构更包括调整该第一光学显微装置和该第二光学显微装置的聚焦位置。
4.如权利要求1所述的影像复合检测系统,其特征在于,更包含一第二舱体安排于该第一舱体和该光学检测区之间;以及多个闸机构分别控制该第一舱体和该第二舱体的连通和隔绝、以及该光学检测区和该第二舱体的连通和隔绝。
5.如权利要求4所述的影像复合检测系统,其特征在于,对应该第一舱体的该闸机构设置于该第一舱体上或该第二舱体上,并且对应该光学检测区的该闸机构设置于该第二舱体上。
6.如权利要求4所述的影像复合检测系统,其特征在于,在该第一舱体和该第二舱体连通时,该移载模块移载该待测物于该第一舱体和该第二舱体之间;以及在该光学检测区和该第二舱体连通时,该移载模块移载该待测物于该光学检测区和该第二舱体之间。
7.如权利要求6所述的影像复合检测系统,其特征在于,该移载模块包括一机械臂。
8.如权利要求1所述的影像复合检测系统,其特征在于,更包括连接该第一舱体的一真空抽气装置,其对该第一舱体抽气以创造该第一舱体的该真空环境。
9.如权利要求1所述的影像复合检测系统,其特征在于,该第一光学显微装置和该第二光学显微装置分别是电荷耦合光学显微镜,且该多个电荷耦合光学显微镜的支援倍率相同或不同。
10.如权利要求9所述的影像复合检测系统,其特征在于,该多个电荷耦合光学显微镜的支援倍率为从0.1到500。
11.如权利要求1所述的影像复合检测系统,其特征在于,该电子显微装置包括桌上型的扫描电子显微镜、穿透电子显微镜或扫描穿透电子显微镜。
12.如权利要求11所述的影像复合检测系统,其特征在于,该电子显微装置的支援倍率为从30到50000。
13.如权利要求1所述的影像复合检测系统,其特征在于,更包括收集二次电子束的一分析工具以分析该待测物的材质。
14.如权利要求1所述的影像复合检测系统,其特征在于,更包括一影像导航模块,其对于该第一光学显微装置、该第二光学显微装置和该电子显微装置分别建立个别座标系统以及一参考座标系统,其中,基于该参考座标系统切换该多个个别座标系统。
15.如权利要求1所述的影像复合检测系统,其特征在于,更包括一自动光学检测模块,其采取影像分割撷取再拼贴的方式、产生该光学全景影像。
16.如权利要求1所述的影像复合检测系统,其特征在于,更包括承载该第一舱体的一基台,其中,该光学检测区位于该基台的占地面积内。