专利名称：流量传感器、流量计及液体排出机器的排出量控制装置的制作方法
技术领域：
本发明属于流体流量检测技术，特别是关于为了检测在配管内流动的液体流量的流量传感器，尤其是热式流量传感器。本发明的流量传感器特别适合正确测量粘性比较高的流体的流量，还特别适合要求避免温度异常上升的可燃性流体的流量测量。
另外，本发明属流体流量检测技术，特别是关于为了测量在配管内流动的流体的瞬时流量及累计流量的流量计。
另外，本发明是关于设置在对暖炉、锅炉等煤油燃烧装置供给煤油的配管上，可以测量煤油的流量、并可容易携带的移动型流量计。
并且，本发明还属于液体流出量控制技术领域，特别是关于液体排出机器的流出量控制装置。本发明装置例如适合利用于控制使燃料油燃烧产生热能的油燃烧器的燃料油喷雾流出量，使之产生要求的火力。
现有的测量各种流体特别是液体流量(或流速)的流量传感器(或流速传感器)使用有各种形式，但是从容易降低价格的理由考虑，则采用的是热式(特别是傍热型)的流量传感器。
该傍热型流量传感器是在基板上利用薄膜技术通过绝缘层对薄膜发热体和薄膜感温体进行层叠，将基板安装在配管上。通过对发热体通电，加热感温体，使该感温体的电气特性例如电阻值变化。该电阻值的变化(根据感温体的温度上升)随着在配管内流动的流体流量(流速)而变化。这是因为发热体发热量中的一部分经过基板传递给流体中，向该流体中扩散的热量随流体的流量(流速)而变化，为此向感温体供给的热量产生变化，该感温体的电阻值产生变化。该感温度电阻值的变化也随流体的温度而有所不同，因此，在测量上述感温体电阻变化的电气电路中也可装入温度补偿用的感温元件，尽可能减小由于流体温度造成流量测量值的变化。
关于这种采用薄膜器件的傍热型流量传感器例如在特开平8-146026号公报中有所记载。
但是，现有的傍热型流量传感器安装在直线状的配管部分上，而且使流量检测部的基板或对该基板进行热连接的壳体从配管的壁面露出在流体中。
但是，当流体是粘性流体，特别是粘度比较高的粘性流体时，在与配管内的流体流动相直交的断面上的流速分布变得很显著(断面内的中央部分和外围部分流速差别很大)。在上述现有的管壁上只是露出基板或与其连接的壳体部分时，上述流速分布对流量测量的精度将产生很大影响。这是因为在流量检测时，未考虑在配管断面中央部分流动的流体流速，而只考虑在配管管壁附近的流体流速的缘故。这样，对现有的流量传感器来说，在具有比较高粘度的粘性流体时，存在难于正确进行流量测量的问题。
即使在常温下粘度较低的流体，随着温度的降低粘度也要上升，所以将产生与以上的流体粘性相关联的问题。
并且，单位时间流量比较少时要比流量大时，上述问题更为显著。
而且，使用流量传感器的温度环境随着地理条件及室内室外的不同而有极为宽的范围，再加上季节条件及昼夜的不同，温度环境的变化也极大，很希望在这样很宽的环境温度条件下能有正确检测流量的流量传感器。
为此，本发明的目的在于提供一种流量传感器，即使是比较高粘度的粘性流体，也能够正确测量流过该配管内的该流体的流量。
本发明的目的还在于提供的流体传感器，即使是比较少的流量，也能够正确测量流过该配管内的该流体的流量。
本发明的目的还在于提供的流量传感器，在广泛环境温度条件下，能够正确测量流过配管内的该流体的流量。
在现有的傍热型流量传感器中，是对发热体加一定的电压，得到规定的发热量，在该发热量中根据流体流量使一部分吸热在该流体中，其余的一部分传送给感温体。为此，发热体周围的温度随流体流量而变化，流体流量大时温度上升小，而流体流量低时温度上升大。
这里的问题是出在当由于某种原因流体特别是液体没有时。这时由于流体的吸热消失，所以感温体的温度急骤上升，造成流量传感器随时间而恶化。
另外，当流体是煤油及其他可燃性及挥发性的流体时，在上述温度急骤上升或其后供给流体时，该流体将会气化，万一混入空气等时就有可能产生着火爆炸。
为此，本发明的目的还在于防止热式流量传感器的发热体周围的温度过度上升，从而防止流量传感器随时间而恶化及防止可燃性被检测流体的着火爆炸。
另外，现有技术对用户供给煤油及燃气等燃料流体时，测量向各用户供给的燃料流体的流量(瞬时流量)，及测量对其累积的累积流量，根据该测量结果对用户提出收费请求。
各用户(例如一般家庭)所使用的燃烧消费燃料流体的机器各式各样，这些机器一般来说燃料消费量(单位时间的流量)各不相同。例如煤油风扇式加热器不使用很大的流量(例如40cc/小时)，而煤油热水器却使用很大的流量(例如6000cc/小时)。
这样，现在，燃料流体供给的流量范围变得非常宽，与此同时对流量计要求的精度误差也变得很严格了。即，如果流量测量的精度为误差1％，则对煤油热水器来说测量误差最大可达60cc/小时，这样对煤油风扇式加热器的流量40cc/小时进行测量意义就不大了。因此，在上述的燃料流体供给中，对于流量范围为10cc/小时～20000cc/小时来说就要求误差在0.01％以内的严格精度。
为了适应这样宽流量范围的高精度要求，现有技术提出将流量范围分割成多数的流量区域，分别设置小流量区域用的流路和大流量区域用的流路，在各个流路中配置各自的流量传感器(参考特开平8-240468号公报及特开平8-240468号公报)。
但是，这样的流量计中，测量部的结构即复杂又很大，使相应的故障发生的频度提高，进而流量传感器的数量增多，这是很不利的。
另外，例如在特开平2-238213号公报中，提出了在宽范围的流量区域进行高精度煤油流量的累积显示的油服务器。但是不利的是该油服务器也是测量部分的结构复杂，相应故障发生的频度变高。
为此，本发明的目的在于提供一种流量计，不使测量部分的结构复杂化，并使该测量部分的故障发生的频度降低，还不增加流量传感器的数量，在很宽的流量范围上以高的精度可以进行流量测量。
另外，暖炉、锅炉等煤油燃烧装置是通过燃烧煤油产生热量，对空气加温使室内暖和，或对水加热使大量的水沸腾，或产生作为动力源的高压蒸气。
在图26、图27A及图27B中所示的锅炉301中，从油罐302通过配管303供给煤油，通过燃烧器304使煤油喷出雾状并使其燃烧，通过此时产生的热量使大量的热水沸腾，产生高压蒸气，使燃烧气体从烟囱305排出。
而且，在油罐302和泵306之间配置除去尘、埃等异物的过滤器307，在泵306和燃烧器304之间设置测量煤油流量的流量计308。
但是，通过过滤器307的微小异物逐渐积累，或者在过滤器307和燃烧器304之间有异物侵入时，就无法除去这些异物，在燃烧器304的喷嘴309内侵入异物，可能使排出口309a一部分闭塞。
这时，由于在喷嘴309内流通的煤油量将减少，所以燃烧器304的性能不能充分发挥，在锅炉301中产生的热量减少。并且，煤油不完全燃烧，煤油的保有能量被白白流失，同时产生一氧化碳等不完全燃烧气体，成为大气污染的元凶。
作为解决这一问题的方法曾提出了控制空燃烧方法的方案，即通过在配管路内配置的流量计308测量在配管303内流通的煤油流量，供给与该测量值对应的适量空气，使煤油燃烧。
这样，即使喷嘴309的排出口309a一部分闭塞，也不会有不完全燃烧，可以防止煤油的保有能量的浪费、及不完全燃烧气体造成的大气污染。而且，通过煤油的喷出压力等使喷嘴309内的异物从排出口309a排出，则燃烧器304可发挥本来的性能，使锅炉301的发热量恢复到正常情况。
通过以上方法，虽然可以防止不完全燃烧，但是却不能阻止在锅炉301中发生的热量减少。另外，当喷嘴309内的异物不能从排出口309a排出时，最终还必须人为地去除异物。
本发明的目的在于为了解决这一问题，提供一种移动型流量计，可简单地设置在对煤油燃烧装置供给煤油的配管上，可瞬时测量煤油的流量，并且结构简单、轻量，操作人员可便于携带。
另外，在现有的使燃料油喷雾排出点火产生火焰的油燃烧器等的燃烧装置中，为了得到要求的火力需要对从油燃烧器喷雾排出的燃料油的排出量进行控制。这种排出量的控制是控制向油燃烧器供给燃料油的配管(管路)内的燃料油的流量，控制向油燃烧器的燃料油供给量。
例如，如图28所示，在返回形喷嘴1102的燃料油供给通路1103上，连接有与燃料油罐1104相连接的燃料油供给管1105，在该燃料油供给管1105上从燃料油罐1104端依次配置过滤器1106及定容泵1107。在返回形喷嘴1102的燃料油返回路径1108上连接有在过滤器1106和定容泵1107之间连接的燃料油返回管1109，在该燃料油返回管1109上从返回形喷嘴1109端依次配置流量调节阀1110和止回阀1111。
在该装置中，通过使定容泵1107动作，经过规定量过滤器1106将燃料罐1104内的燃料油供给喷嘴1102，同时该规定量供给的燃料油通燃料油回流管1109的流量调节阀1110控制该流量值，从喷嘴1102喷雾排出，剩余的燃料油通过燃料油回流管1109返回。
为了进一步提高这种装置中的燃料油排出量控制的精度，最近做了一些改良。
例如在特开平7-324728号公报中公开的技术中，为了能够对只用流量调节阀1110调节供给临界的微少流量的燃料油，将定容泵1107改为可变压力泵，提高设定燃料油的供给压力，与流量调节阀1110的节流控制相配合，控制从低喷雾排出量区域到高喷雾排出量区域的喷雾排出量，即控制向喷嘴的燃料油供给量。
另外，在特开平6-42746号公报中，分别将流量调节阀1110改为由控制器控制的油电磁阀，将定容泵1107同样改为由控制器控制的恒差压泵，还在燃料油回流管1109的连接部和燃料油罐1104之间，同样配置由控制器控制的可变排出量泵，在该可变排出量泵的吸入端及排出端的一个上通过在燃料油供给管1105上安装油量传感器，假定在稳定时从返回形喷嘴1102排出的油量与由可变排出量泵吸入、排出的油量相等，则检测出由可变排出量泵的吸入、排出量，根据该检测值与由控制器运算的期望流量值的差，修正向可变排出量泵的输出值，得到所期望的油排出量。
但是，在以上的现有例中，实际上都没有检测从喷嘴排出的燃料油排出量并对排出量进行控制，例如当产生泵的气穴及过滤器轻度堵塞等不良情况时，很难迅速准确得到排出量，对排出量控制还有改良的余地。
即，当燃料油排出量不进行高精度控制时，就不能最大限度发挥燃烧器的性能，实现所期望的良好燃烧状态，产生因不完全燃烧造成的能量资源使用的浪费及不完全燃烧排气造成的大气污染等问题。
以上的问题，特别是当燃料油供给量少时变动率加大，所以影响也非常大。
如上所述，没有对微小液体流量也能迅速响应正确检测的流量传感器，也是难于对上述燃料油等液体进行准确排出量控制的原因。
为此，本发明的目的之一在于提供一种液体排出量控制装置，尽可能准确检测从各种喷嘴等的液体喷出机器实际排出的液体量，根据该量可以容易得到所期望的排出量。
本发明的另一目的是构成一种液体排出量控制装置，在这样进行排出量控制时，即使是比较高粘度的粘性流体、即使是比较少的排出量、或者在很宽的环境温度条件下，通过以很高的响应性正确地检测流量，也可以实现可靠性很高的反馈控制，从而达到所期望的排出量。
根据本发明，为了达到以上的目的提供一种流量传感器，其特征在于包括具有发热功能和感温功能的流量检测部、及为使从该流量检测部传出的热量传递给被检测流体并被吸热所形成的该被检测流体的管路，在上述流量检测部中，根据发热执行受到上述被检测流体吸热影响的感温，根据该感温的结果检测上述管路内被检测流体的流量；在上述流量检测部上附设有向上述管路内延伸的传热用构件，该传热用构件至少延伸到上述管路断面的中央部分附近。
依照本发明的一种形态，上述流量检测部在基板上形成薄膜发热体及可受到该薄膜发热体的发热影响而配置的流量检测用薄膜感温体。根据该形态，上述传热用构件接合在上述基板上。
依照本发明的一种形态，上述薄膜发热体和上述流量检测用薄膜感温体在上述基板的第1面之上通过绝缘层进行层叠。根据该形态，上述传热用构件接合在上述基板的第2面上。
依照本发明的一种形态，上述传热用构件在上述管路方向的尺寸比与上述管路断面内的上述传热用构件延伸方向相直交方向的尺寸大。
依照本发明的一种形态，上述管路在上述传热用构件的延伸部分处是弯曲的。
另外，根据本发明，为了达到以上目的提供的流量传感器，其特征在于包括具有发热功能和感温功能的流量检测部、及为使从该流量检测部传出的热量传递给被检测流体并被吸热所形成的该被检测流体的管路，在上述流量检测部中，根据发热执行受到上述被检测流体吸热影响的感温，根据该感温的结果检测上述管路内被检测流体的流量；上述管路具有弯曲部分，上述流量检测部配置在位于横穿从上述管路弯曲部分的被检测流体流入端流入的被检测流体的行进方向上的被测流体流出端的壁上。
依照本发明的一种形态，上述流量检测部在基板的第1面之上使薄膜发热体和流量检测用薄膜感温体通过绝缘层进行层叠，将上述基板的第2面接合在上述弯曲部分的被检测流体流出端的壁面上。
在以上的本发明中，在检测上述管路内被检测流体的流量时，为了检测用于补偿上述管路内被检测流体的温度可以设置温度检测部。而且，上述温度检测部最好具有与上述流量检测部同等的感温功能。
另外，根据本发明，为了达到以上目的，所提供的流量传感器，其特征在于具有发热体及为接收该发热体发热的影响而设置的流量检测用感温体，为使从上述发热体发出的热量传递给被检测流体并被吸热，而形成该被检测流体的流通路径，根据上述发热体的发热，在上述流量检测用感温体上执行受到上述被检测流体的吸热影响的感温，在对上述发热体供给电力的路径上连接控制发热体发热的发热控制装置，该发热控制装置根据上述感温的结果，控制向上述发热体供给的电力，以便使该感温的结果与目标一致，并根据上述发热控制装置进行的控制状态，检测上述被检测流体的流量。
在本发明的一种形态中，利用上述流量检测用感温体形成电桥电路，从该电桥电路可得到表示上述感温结果的输出，根据该输出控制上述发热控制装置。
在本发明的一种形态中，上述电桥电路包括为对上述被检测流体进行温度补偿的温度补偿用感温体。
在本发明的一种形态中，上述发热控制装置是可变电阻。
在本发明的一种形态中，上述可变电阻采用晶体管，该晶体的控制输入中采用依据表示上述感温结果输出的信号。
在本发明的一种形态中，表示上述发热控制装置控制状态是采用加在上述发热体上的电压。
在本发明的一种形态中，表示上述感温结果的输出通过响应性设定装置输入到上述发热控制装置中。
在本发明的一种形态中，上述响应性设定装置包括差分放大电路及可输入该输出的积分电路。
在本发明的一种形态中，表示上述感温结果的输出经积分电路输入到上述发热控制装置。
在本发明的一种形态中，在上述积分电路的前级上连接差分放大电路。
在本发明的一种形态中，上述发热体及上述流量检测用感温体都由薄膜构成，这些发热体及流量检测用感温体在基板上通过绝缘层进行层叠。
另外，根据本发明，为了达到以上目的提供一种流量计，其特征在于具有发热体及为接受该发热体发热的影响而设置的流量检测用感温体，为使从上述发热体发出的热量传递给被检测流体并被吸热，而形成该被检测流体的流通路径，根据上述发热体的发热，在上述流量检测用感温体上执行受到上述被检测流体吸热影响的感温，在对上述发热体供给电力的路径上连接控制发热体发热的发热控制装置，该发热控制装置控制向上述发热体供给的电力，以便使上述感温的结果与目标一致，此处的上述发热控制装置是通过对应于上述感温结果的频率的脉冲信号对供给上述发热体的电力进行ON-OFF控制，通过测量上述脉冲信号的频率来检测上述被检测流体的流量。
在本发明的一种形态中，利用上述流量检测用感温体形成电桥电路，从该电桥电路可得到表示上述感温结果的输出，通过差分放大电路及积分电路对该输出进行处理，将所得到的电压信号进行电压—频率变换得到上述脉冲信号。
在本发明的一种形态中，在对上述发热体供给电力的路径上存在开关装置，上述发热控制装置通过对上述开关装置的开闭进行上述ON-OFF控制。
在本发明的一种形态中，具有多条对上述发热体供给电力的路径，在各电压供给路径上加有相互不同的电压，并分别装有开关装置，上述发热控制装置选择上述多条电力供给路径中的一条，通过对其开关装置的开闭进行上述ON-OFF控制。
在本发明的一种形态中，当上述脉冲信号的频率达到下限设定值时，则上述发热控制装置要选择加有更低电压的上述电力供给路径，而当上述脉冲信号的频率达到上限设定值时，则上述发热控制装置要选择加有更高电压的上述电力供给路径。
在本发明的一种形态中，上述电力供给路径的选择是通过差分放大电路及积分电路，对利用上述流量检测用感温体所形成电桥电路所得到的表示上述感温结果的输出进行处理，检测由此所得到的电压信号的方法进行的。
在本发明的一种形态中，上述开关装置是场效应晶体管。
在本发明的一种形态中，上述电桥电路包括为对上述被检测流体进行温度补偿的温度补偿用感温体。
在本发明的一种形态中，上述发热体及上述流量检测用感温体都是由薄膜构成，这些发热体及流量检测用感温体在基板上通过绝缘层进行层叠。
另外，为了达到上述目的，本发明构成的移动型流量计，包括在两端部上形成与外部配管连接的连接部、在内部贯穿流通管的全体部、及盖体部构成的壳体；装放在上述壳体内、检测流体流量的流量传感器；显示流量值的显示部；为了供给电源、测量流量的操作部；及将由上述流量传感器检测的流量显示在显示部上的电气电路。
为了进行高灵敏度的流量检测，上述流量传感器具有在基板上形成发热体和感温体的流量检测部、在与被检测流体之间进行热传导的翅片、及输出对应于流量的电压值的输出端。最好用成模方法将上述流量检测部、上述翅片的一部分及上述输出端的一部分覆盖起来。
为了减少由煤油温度造成的流量测量值的误差，最好还将检测流体温度的温度传感器装放在上述壳体内。
而且，为了进行高灵敏度的温度检测，上述温度传感器具有在基板上形成感温体的温度检测部、在与被检测流体之间进行热传导的翅片、输出对应于温度的电压值的输出端。最好通过成模将上述温度检测部、上述翅片的一部分及上述输出端的一部分覆盖起来。
上述显示部也可以设置在上述壳体盖体部的上面，对流量的测量值进行数字显示。
上述操作部也可以设置在上述壳体盖体部的上面，由电源按钮和测量按钮构成。
如果上述电气电路具有输出对应于包括上述流量传感器的感温度、上述温度传感器的感温体在内流体流量的电位差的电桥电路；将对应于流体流量的电压差变换为对应频率的脉冲信号的V/F转换电路；对该脉冲信号计数的计数器；及换算为对应于频率的流量的微型计算机，则在上述显示部上可以数字显示流量的测量值。
移动型流量计也可以安装在外部配管上附设的旁通管上，也可以安装在外部配管上附设的自封接头上。当安装在自封接头上时，就不配设开闭阀门了，安装作业也很简单。
另外，本发明为了达到以上目的，提供一种液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于从通过连接在液体供给源上的管路将由泵供给的液体向外部排出的液体排出机器，按所期望的排出量排出液体；在上述泵和上述液体排出机器之间，具有检测在上述管路中流动的液体流量的流量传感器、在该流量传感器的上流可使上述管路内流体流量变化的流量调节装置、及使上述流量传感器所检测的流量值成为对应于上述所期望排出量的值的控制上述流量调节装置的控制部。
在本发明的一种形态中，上述流量调节装置在上述泵与上述流量传感器之间由装在上述管路上的流量调节阀及/或排出量可变的上述泵构成。
在本发明的一种形态中，上述液体是可燃性液体，上述液体排出机器是非返回形喷嘴。
在本发明的一种形态中，上述液体是燃料油，上述液体排出机器是非返回形油压式油燃烧器。
在本发明的一种形态中，在上述管路上附设有使上述液体从紧靠上述流体传感器位置的上流位置向上述泵的上流位置回流的路径，在该路径上装有止回阀，该止回阀当在压力差超过规定值以上时使液体通过。
另外，根据本发明，为了达到以上目的提供的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于通过连接在液体供给源上的管路由泵供给的液体的一部分向外排出，而另一部分通过回流管返回上述管路的液体排出机器按所期望的排出量排出液体；在上述泵与上述液体排出机器之间具有检测在上述管路中流动的液体流量的第1流量传感器、检测在上述回流管返回的液体流量的第2流量传感器、在上述第1流量传感器的上流可使在上述管路中流动的液体流量变化的流量调节装置、及控制上述流量调节装置的控制部，该控制部使从上述第1流量传感器所检测的第1流量值减去由上述第2流量传感器所检测的第2流量值所得到的值对应于上述所期望的排出量。
在本发明的一种形态中，上述流量调节装置在上述泵和上述第1流量传感器之间，由装在上述管路中的流量调节阀及/或排出量可变的上述泵构成。
在本发明的一种形态中，上述液体是可燃性液体，上述液体排出机器是返回性喷嘴。
在本发明的一种形态中，上述液体是燃料油，上述液体排出机器是返回形油压式油燃烧器。
在以上的本发明中，上述流量传感器或上述第1流量传感器及上述第2流量传感器可使用的是具有带发热功能和感温功能的流量检测部；安装在为使从该流量检测部传出的热量传递给上述液体并被吸热的上述管路上；在上述流量检测部上，根据发热执行受到上述液体吸热影响的感温；在上述流量检测部上附设向上述管路内延伸的热传递用构件；该热传递用构件至少延伸到上述管路断面的中央部分附近。
在本发明的一种形态中，上述流量检测部在基板上形成薄膜发热体及接受该薄膜发热体发热的影响而配置的流量检测用薄膜感温体。
在本发明的一种形态中，上述热传递用构件接合在上述基板上。
在本发明的一种形态中，上述薄膜发热体和上述流量检测用薄膜感温体在上述基板的第1面之上通过绝缘层进行层叠。
在本发明的一种形态中，上述热传递用构件接合在上述基板的第2面上。
在本发明的一种形态中，上述热传递用构件的上述管路方向的尺寸比在上述管路的断面内与上述热传递用构件延伸方向相直交方向的尺寸要大。
在本发明的一种形态中，具有温度检测部，为的是在检测上述管路内液体的流量时，检测用于补偿的上述管路内液体的温度。
在本发明的一种形态中，上述温度检测部具有与上述流量检测部同等的感温功能。
在本发明的一种形态中，上述泵是容积形泵。
本发明的这些和其他目的、优点及特征将通过结合附图对本发明的实施例的描述而得到进一步说明，在这些附图中
图1、表示本发明的流量传感器实施例的部分切口侧面图。
图2、表示本发明的流量传感器实施例的断面图。
图3、表示本发明的流量传感器实施例的部分切口平面图。
图4、本发明的流量传感器实施例的流量检测部的分解透视图。
图5、本发明的流量传感器实施例的流量传感器的电路构成图。
图6A及图6B、表示本发明的流量传感器的热传递用构件的例子。
图7A及图7B、表示本发明的流量传感器实施例变形例的模式图。
图8、表示本发明的流量传感器实施例的部分断面图。
图9、表示本发明的流量传感器实施例变形例的模式图。
图10、表示本发明的流量传感器实施例的电路构成图。
图11、表示本发明的流量传感器的电桥电路变形例。
图12、表示本发明的流量计实施例的电路构成图。
图13、本发明的移动型流量计的分解透视图。
图14A及图14B、分别为本发明的移动型流量计的正面断面及取下盖体部后状态的平面图。
图15A及图15B、分别为本发明的移动型流量计的正面断面图及侧面断面图。
图16A及图16B、分别为流量传感器的正面断面图及侧面断面图。
图17、流量传感器的流量检测部的分解透视图。
图18、流量传感器的流量检测部的纵断面图。
图19、表示流量传感器制造工序的说明图。
图20、表示本发明的移动型流量计实施例的电气电路图。
图21A及图21B、表示在附设旁通管的外部配管上安装本发明的移动型流量计的方法的说明图。
图22A及图22B、表示在附设自封接头的外部配管上安装本发明的移动型流量计的方法的说明图。
图23、本发明的液体排出机器的排出量控制装置实施例的概要构成图。
图24、本发明的液体排出机器的排出量控制装置实施例的概要构成图。
图25、本发明的液体排出机器的排出量控制装置实施例的概要构成图。
图26、表示从油罐供给煤油，通过燃烧器体煤油燃烧，到从烟囱排出燃烧气的概要构成图。
图27A、锅炉的部分切断透视图；图27B、燃烧器的部分切断透视图。
图28、现有的液体排出机器的排出量控制装置的概要构成图。
下面参照附图对本发明的实施例进行说明。
图3是表示本发明的流量传感器的部分切口平面图，图1和图2分别是其部分切口的侧面图和断面图。
在这些图中，2为壳体主体部，穿通该壳体主体部形成作为被检测流体的流通路径的管路4。该管路4延伸到壳体主体部的两端。在该壳体主体部的两端，形成与外部配管连接的连接部6a、6b。在壳体2上在管路4的上方形成器件装放部，在各装放部上用螺钉固定壳体盖体部8。通过该壳体盖体部8和上述壳体主体部2构成壳体。
在上述壳体内配置流量检测部12。该流量检测部12如图4所示构成片状，即在基板12-1的上面(第1面)形成绝缘层12-2，在其上形成薄膜发热体12-3，在其上形成该薄膜发热体的一对电极层12-4、12-5，在其上形成绝缘层12-6，在其上形成流量检测用薄膜感温体12-7，在其上形成绝缘层12-8。基板12-1可以采用例如厚度为0.5mm左右、大小为2～3mm四方形的硅及氧化铝等构成的基板(在采用氧化铝等绝缘基板时，可以省去绝缘层12-2)；薄膜发热体12-3可以采用膜厚为1μm左右按要求形状图案形成的金属陶瓷构成；电极层12-4、12-5可以由膜厚为0.5μm左右的镍构成或者在其上层叠膜厚为0.1μm左右的金；绝缘层12-2、12-6、12-8可以由膜厚为1μm左右的SiO2构成；薄膜感温体12-7可以由膜厚为0.5～1μm左右按要求形状例如S形图案形成的白金及镍等温度系数大、稳定的金属电阻膜构成(或者由氧化锰系列的NTC热敏电阻构成)。这样，薄膜发热体12-3和薄膜感温体12-7之间通过薄膜绝缘层12-6极为接近进行配置，薄膜感温体12-7可以立即受到薄膜发热体12-3发热的影响。
如图1及图2中所示，在流量检测部12的下面即基板12-1的下面(第2面)，通过热传导性良好的接合剂16接合热传递用构件的翅片14。翅片14例如可由铜、杜拉铝、铜钨合金构成；接合剂例如可使用银膏。另外，在壳体主体部2上配置上述流量检测部12的位置上形成穿过翅片的开口；在该开口内插入翅片14的状态下填充密封闭的玻璃，形成玻璃封口18。
翅片14在中央位置大体弯曲成直角，上部水平部分接合在流量检测器12上，下部垂直部分伸入管路4内。该翅片14在具有大体为圆形断面的管路4内，穿过该断面内的中央从上部向下部横穿该管路4放置。不过管路4的断面也不一定需要圆形，也可以是适当的断面形状。在管路4内，上述翅片14在管路方向的尺寸L1要比该翅片14的厚度L2充分大。因此，翅片14对管路4内流体的流通没有大的影响，可以在流量检测部12和流体之间进行良好的热传递。
在上述壳体内，从流量检测器12沿着管路4隔着一段距离的位置上配置有流体温度检测部22。该温度检测部22在与上述流量检测部12相同的基板上由形成同样的薄膜感温度的片状物构成。另外，温度检测部22在壳体主体部2的管路4的正上方，为提高热传递而形成薄壁的部分上，通过热传导性良好的接合剂粘接。流体温度检测部22在管路4内的流体流通方向上最好配置在上流端。
另外，为将以上的流量检测部12及温度检测部22覆盖起来，分别形成树脂覆盖层20、24。在图3中这些树脂覆盖层已经省去。
在上述壳体内，在流量检测部12及温度检测部22以外的部分上固定配置有布线基板26。该布线基板26的电极中的几个通过焊接线28与上述流量检测部12的电极电气连接，同样通过焊接线与上述温度检测部22的电极进行电气连接。这些焊接线28通过上述树脂覆盖层20、24进行密封。布线基板26的电极中另一些与外部引线30连接，该外部引线30伸出到壳体外部。
图5是本实施例的流量传感器的电路构成图。如图所示，直流电源40的电压加到薄膜发热体12-3和电桥电路42上。电桥电路42中的差分放大器44的输出可得到表示流量的输出。即，在流量检测器12上，根据薄膜发热体12-3的发热，通过翅片14接受被检测流体吸热的影响，执行薄膜感温体12-7的感温，根据该感温的结果，检测管路4内被检测流体的流量。
根据以上的本实施例，即使被检测流体是粘度比较高的粘性流体，并且不论管路4的断面内的径向流量分布如何，都可以进行充分反映流量分布的准确流量检测。从而，即使是比较少的微小流量或者在很宽的环境温度条件下，都可以正确测量在配管内流动的流体流量。
在以上的实施例中，翅片14是穿过管路断面的中央部分自上部向下部横穿的，但是该翅片14也可以从管路断面的上部延伸到中央部分附近。这样，无论管路4的断面内的径向流量分布如何，都可以进行良好反映该流量分布的正确流量检测。
代替上述翅片14可以使用在管路4内断面形状不同的其他热传递用构件。这样的热传递用构件的例子如图6A及图6B所示。图6A中断面形状为流线形，特称为滴泪形形状的翅片14′，采用这一形状可以使流体的流动尽量不打乱，以高效率进行热交换。图6B中是断面形状为圆形的热传递用构件14″。
图7A和图7B是表示上述实施例的变形例的模式图。在图7A中，管路4是弯曲的，在该弯曲部分装有附设在流量检测部12上的翅片14。弯曲部分的弯曲角θ是任意的，例如为90°≤θ＜180°。在图7A的例子中，翅片14伸入在管路4弯曲部分的流体流出端。在图7B的例子中，同样，管路4是弯曲的，在流量检测部12上附设的翅片14虽然也位于该弯曲部分上，但是在该例子中，翅片14是伸入管路4的弯曲部分的流体流入端。为了构成具有与上述图1～5实施例同样的流体温度检测部22及布线基板26等配置的壳体，最好用上述图7B的配置。
图8是表示本发明的流体传感器另一实施例的部分断面图。在本图中对具有与上述图1～6A、6B、7A、7B中相同功能的构件加有相同的标号。
在本实施例中，管路4是弯曲的，在该弯曲部分流体流出一侧配置有流量检测部12。即，流量检测部12配置在位于横穿从流体流入端流入被检测流体行进方向的流体流出端的壁面上。另外，在流体流入端配置有温度检测部22。这些流量检测部12及温度检测部22为了接近壳体主体部2的管路4，提高热传递，在薄壁的部分上分别通过热传导性良好的接合剂16、16′进行粘合。
在本实施例中，由于流入弯曲部的流体将冲击配置有流量检测部12的管路壁，即使被检测流体是粘度比较高的粘性流体，并且不论管路4的直线部分的断面内的径向流量分布如何，仍能进行正确的流量检测。从而，在很宽的环境温度条件下可以正确测定在配管内流动的流量。
在本实施例中，弯曲部分的弯曲角度θ例如可以为45°≤θ≤135°。
图9是表示上述图8的实施例的变形例的模式图。在该例中，流量检测器12装放在热传导性良好的罩13内，凸出到管路4内。
图10是表示本发明的流量传感器的一个实施例的电路构成图。供给电源例如为+15V(±10％)，供给恒压电路102。该恒压电路102例如在±6V(±3％)时输出0.1W，该输出供给电桥电路104。在电桥电路104中包括流量检测用感温体104-1、温度补偿用感温体104-2及可变电阻104-3、104-4。
电桥电路104的a、b点的电压输入到差分放大电路106。该差分放大电路106通过可变电阻使放大系数可变。差分放大电路106的输出被输入到积分电路108。这些放大系数可变的差分放大电路106和积分电路108将起到下述的响应性设定装置的功能。
另一方面，上述供给电源连接在NPN晶体管110的集电极上，该晶体管110的发射极连接在发热体112上。另外，晶体管110的基极上输入上述积分电路108的输出。即，供给电源经过晶体管110向发热体112供给电流(即，在发热体112上加电压，产生电流，供给功率)，加在该发热体112上的电压通过晶体管110的分压进行控制。而且，晶体管110的分压由经过电阻向基极输入的积分电路108的输出电流进行控制，晶体管110起可变电阻的功能，起控制发热体112发热的发热控制装置的功能。
本实施例的流量传感器具有上述图1～4所示的结构部分。此处图10中所示的发热体112及流量检测用感温体104-1分别相当于图4中所示的薄膜发热体12-3及薄膜感温体12-7。温度检测部22与流量检测器12是在同样基板上形成同样薄膜感温体(相当于上述图10的温度补偿用感温体104-2)的片状物。
在流量检测部12上，根据薄膜发热体12-3(112)的发热，经过翅片14接受被检测流体的吸热影响，执行薄膜感温体12-7(104-1)的感温。而且，该感温的结果，可得到图10中所示的电桥电路104的a、b点的电压Va、Vb之差。
根据流量不同，流量检测用感温体104-4温度发生变化，使(Va-Vb)的值相应变化。预先适当设定可变电阻104-3、104-4的电阻值，就可以在基准为所期望的流体流量时，使(Va-Vb)值为零。在该基准流量时，差分放大电路106的输出为零，而积分电路108的输出一定，晶体管110的电阻值也一定。这时，加到发热体上的分压也一定，此时的流量输出表示上述基准流量。
当流体流量从基准流量增减时，则差分放大电路106的输出就根据(Va-Vb)值，改变极性(根据流量检测用感温体104-1电阻—温度特性的正负而不同)及大小，从而积分电路108的输出产生变化。积分电路108输出变化的块慢可以通过差分放大电路106的可变电阻106a进行的放大系数设定来进行调节。通过这些积分电路108和差分放大电路106，设定控制系统的响应特性。
由于流体流量增加时流量检测用感温体104-1的温度下降，所以若增加发热体112的发热量(即增加向发热体112供给的功率)，就得从积分电路108控制对晶体管110的基极的输入，降低晶体管110的电阻。
另一方面，当流体流量减少时，由于流量检测用感温体104-1的温度上升，所以若减少发热体112的发热量(即减少向发热体112供给的功率)，就要从积分电路108控制对晶体管110基极的输入，使晶体管110的电阻增加。
如上所述，为使由流量检测用感温体104-1检测的温度不随流体流量的变化而变化，经常保持目标值，则对发热体112的发热进行反馈控制(根据流量检测用感温体104-1的电阻—温度特性的正负，必要时适当反转差分放大电路106输出的极性)。而且，由于这时加到发热体112上的电压对应于流体流量，所以将其作为电流输出取出。
根据以上的本实施例，不论被检测流体的流量如何，由于发热体112周围的流量检测用感温体104-1的温度大体维持一定，所以流量传感器随时间而恶化很少，还可以防止可燃性被检测流体发生着火爆炸。
另外，在本实施例中，由于在发热体112上不需要恒压电路，所以具有在电桥电路104中使用低输出的恒压电路102即可的优点。为此，可以减小恒压电路的发热量，即使使流量传感器小型化也可良好地维持流量检测精度。
图11表示上述实施例的流量传感器的电桥电路104的变形例。该变形例与上述实施例虽然对差分放大电路106的输出(Va-Vb)的变化特性不同，但是可以进行同样的反馈控制。
图12是表示本发明的流量计一实施例的电路构成图。
供给电源采用家庭用的交流100V，然后通过直流转换电路101，输出+15V、-15V、+5V的直流。从直流转换电路101输出的直流+15V输入到稳压电路102，然后输出供给下述加热器(薄膜发热体)的稳定直流1V、5V、10V(在-40～+80℃时精度在0.1％以内)。
从稳压电路102输出例如+6V的稳定直流(输出为0.1W)。该输出供给电桥电路104。在电桥电路104中包括流量检测用感温体104-1、温度补偿用感温体104-2、电阻104-3及可变电阻104-4。
电桥电路104的a、b点的电压Va、Vb输入到放大系数可变的差分放大电路106。该差分放大电路106的输出则输入到积分电路108。这些差分放大电路106和积分电路108如下所述，起控制系统的响应性设定装置的功能。
另一方面，稳压电路102的1V、5V、10V输出分别通过加热器电流控制用(作为开关用)的3个场效应晶体管110a、110b、110c，供给加热器112 。
本实施例的流量计的测量部(传感器结构部分)与上述图1～4中所示的相同。此处图12中所示的加热器112及流量检测用感温体104-1分别相当于图4中所示的薄膜发热体12-3及薄膜感温体12-7。温度检测部22在与流量检测部12相同的基板上、形成同样的薄膜感温体(相当于上述图12的温度补偿用感温体104-2)的片状物。
在流量检测部12上，根据薄膜发热体12-3的发热，通过翅片14接受被检测流体吸热的影响，执行薄膜感温体12-7的感温。而且，该感温的结果，可得到图12中所示的电桥电路104的a、b点的电压Va、Vb的差。
根据流量不同，流量检测用感温体104-1温度发生变化使(Va-Vb)的值相应变化。预先适当设定可变电阻104-4的电阻值，就可以在达到基准的所期望流体流量时，使(Va-Vb)的值为零。在该基准流量中，差分放大电路106的输出为零，积分电路108的输出一定(对应于基准流量的值)。另外，积分电路108的输出则调整电平使最小值为OV。
积分电路108的输出被输入到V/F转换电路114中，在此形成对应于电压信号的频率(例如最大5×10-5)的脉冲信号。该脉冲信号的脉冲宽度(时间宽度)是固定的(例如是1～10微秒的期望值)。例如，在积分电路108的输出为1V时，输出频率为500Hz的脉冲信号，而在积分电路108的输出为4V时，输出频率为2000Hz的脉冲信号。
V/F转换电路114的输出被输入到输出转换开关116。在此，通过下述的微型计算机的控制，对V/F转换电路114的输出脉冲信号进行输出转换，使其供给3个开关晶体管110a、110b、110c中的某一个栅极。这样，对栅极有输入脉冲信号的晶体管(即，通过输出转换开关所选择的晶体管)，可以向加热器112提供电流。从而，在加热器112上通过由输出转换开关116所选择的晶体管，以对应于积分电路108输出值的频率并以脉冲形式加上1V、5V、10V中的某一个电压，对该加热器流入脉冲状电流(即，供给功率)。这样使加热器发热。由于加热器112的发热量大体与所加电压的平方成比例，所以在本实施例中当加5V、10V的电压时，就分别可以得到相当于加1V电压时的约25倍及约100倍的发热量。
在本实施例中，将应测量的流量范围划分为3个流量区。通过上述开关晶体管110a、110b、c110所选择的所加电压1V、5V、10V分别使用在低流量区(例如10～500cc/小时)、中流量区(例如100～5000cc/小时)及高流量区(例如1000～20000cc/小时)，这样，相邻的流量区部分范围也可以重复。
V/F转换电路114的频率在基准频率发生电路120中根据温度补偿型晶体振子所设定的高精度时钟设定。V/F转换电路114输出的脉冲信号由脉冲计数器124进行计数。微机126以基准频发生电路120所发生的频率为基准进行脉冲计数(脉冲频率)，将其结果换算为对应的流量(瞬时流量)，以对该流量按时间换算来计算累积流量。这些瞬时流量及累积流量的值通过显示电路128进行显示，同时通过数据传输线路130传输向外部(传输线路例如可利用电话线及其他网络)。另外，根据要求可以将瞬时流量及累积流量的数据存储在存储器132中。
103是后备电源(例如电池)。
在此，当流体流量增减时，差分放大电路106的输出根据(Va-Vb)的值改变极性(随着流量检测用感温体104-1的电阻—温度特性的正负而有所不同)及大小，从而积分电路108的输出产生变化。积分电路108输出变化的快慢可以通过差分放大电路106放大系数的设定进行调节。通过这些积分电路108和差分放大电路106设定控制系统的响应特性。
由于在流体流量增加时，流量检测用感温体104-1的温度降低，所以可得到使加热器112发热量增加(即使脉冲频率增加)的积分电路108的输出(更高的电压值)，在该积分电路输出达到对应于流体流量的电压时，电桥电路104达到平衡状态。
另一方面，由于流体流量减少时，流量检测用感温体104-1的温度增加，所以可得到使发热体112发热量减少(即，使脉冲频率减少)的积分电路108的输出(更低的电压值)，该积分电路输出达到对应于流体流量的电压时，电桥电路104达到平衡状态。
即，在本实施例的控制系统中，设定向加热器112供给的脉冲状电流的频率(对应于热量)使电桥电路104达到平衡状态，实现这样的平衡状态(控制系统的响应)例如可在0.1秒以内进行。
下面说明流体流量大幅度变化的情况。对积分电路108的输出，设定应测量范围的下限值(例如略大于OV的值)及上限值(例如比饱和电压值略低的值)，只在该下限值和上限值之间进行流量测量。因此，微机126总要监视积分电路108的输出，当该输出下降到下限值时，转换输出转换开关116使之选择与更低电压的电源相连接的开关晶体管。反之，当积分电路108的输出上升到上限值时，转换输出转换开关116使之选择与更高电压的电源相连接的开关晶体管。当不存在更低电压及更高电压的电源时，不进行输出转换开关的转换，但是实际上可以设定流量区及电路特性使之不产生这样的情况。另外，代替积分电路108的输出，而对V/F转换电路114的输出设定频率的下限值及上限值，通过微机126经常监视V/F转换电路114的输出，也可以实现同样的功能。
当然，用微机126进行从脉冲数向流量的换算时，将根据现在所选择的是哪一个流量区而采用不同的换算系数。
如上所述，即使流体流量发生变化，也可以对加热器112的发热进行反馈控制(根据流量检测用感温体104-1的电阻—温度特性的正负，必要时适当反转差分放大电路106输出的极性)，使由流量检测用感温体104-1所检测的温度总是保持目标值。而且，此时加到加热器112上的脉冲状电压的频率(V/F转换电路114输出的频率)是对应于流体流量的(在达到上述平衡状态之前的期间是不对应的，但是通常由于流量随时间的变化与达到上述平衡状态的时间相比是极长的，所以实际上没有问题)，所以将其作为流量输出取出。
根据以上的实施例，在流量检测中采用由V/F转换电路114生成的脉冲信号，由于该脉冲信号容易使温度变化产生的误差充分减小，所以可以显著减小根据脉冲频率算出的流量及累积流量的测量误差。另外，在本实施例中，对加热器112的通电控制由于是通过由V/F转换电路114生成的脉冲信号的ON-OFF进行的，所以由温度变化产生的控制误差极小。另外，根据在流量测量中采用上述脉冲信号，通过多个开关装置(开关晶体管等)的转换使通电转换到一个流量传感器的加热器，从而可在最佳条件下高精度测量宽范围的流量。
另外，在本实施例中，由于流量检测部是采用包括薄膜发热体及薄膜感温体在内的微小片状物，所以可实现以上的高速响应性，进行精度良好的流量测量。
另外，在本实施例中，不论被检测流体的流量如何，加热器112周围的流量检测用感温体104-1的温度都可大体维持一定，所以流量传感器随时间而恶化很少，还可以防止可燃性被检测流体发生着火爆炸。
图13、14A、14B、15A、15B表示本发明的移动型流量计的一实施例。如这些图中所示，移动型流量计201的构成包括壳体202、流通管203、流量传感器204、温度传感器205、显示部206、操作部207、及电路基板208。
壳体202由氯乙烯树脂等合成树脂制造，由本体部209及对其可自由装卸的盖体部210构成，本体部209的两端部作为与外部配管连接的连接部211、212，在本体部209内贯通流通管203，在本体部209的上部形成传感器插入空间213，从该传感器插入空间213朝向流通管203穿设有传感器插入孔214、215。流管203是由铜、铁、不锈钢等金属构成的圆管，在对应于上述传感器插入孔214、215的位置上形成开口部216、217。
如图16A、图16B所示，流量传感器204由流量检测部218、翅片219、输出端220及覆盖构件221构成。如图17中所示，流量检测部218在基板222之上依次层叠绝缘层223、薄膜发热体224、电极层225、226、绝缘层227、薄膜感温体228、绝缘层229，形成片状物。
基板222是由硅、氧化铝等构成的厚度为600μm、尺寸为2×3mm左右的矩形板，如图18中所示，从层叠发热体224、感温体228的反面，通过腐蚀等方法形成深度为550μm的凹下部230。而且，在层叠基板222的发热体224、感温体228的反面固着由玻璃构成的膜厚为50～200μm的配制板231，使上述凹下部230完全密封。
发热体224由膜厚为1μm左右按所期望的形状图案形成的金属陶瓷构成，电极层225、226由膜厚为0.5μm左右的镍或者在其上层叠膜厚为0.5μm左右的金构成。感温体228由膜厚为0.5-1μm左右按所期望的形状例如S状图案形成的白金、镍等温度系数大而稳定的金属电阻膜、或者氧化锰系列的NTC热敏电阻组成。绝缘层223、227、229由膜厚为1μm左右的SiO2构成。
翅片219由铜、杜拉铝、铜钨合金等热传导性良好的材料构成，是厚度为200μm、宽度为2mm左右的矩形薄板。
流量检测部218如图16A、图16B中所示，在翅片219的上端部的面上与层叠发热体224、感温体228的面相对，通过银胶等接合剂232进行固着。而且，通过焊接线233与输出端220连接，将流量检测部218、翅片219的上半部及输出端220的下半部进行成模的覆盖构件221进行覆盖。
流量传感器204的制造方法可以采用种种方法，也可以将上述翅片219和输出端220作成一体化。
例如如图19所示，依次对板型素材234进行腐蚀形成规定形状的板型基材235(S1)；对接合流量检测部218的部分进行镀银处理(S2)；涂付银胶固着流量检测部218，对流量检测部218和输出端220通过焊接线233进行连接，对相当于翅片219的部分进行镀镍(S3)。然后，对流量检测部218、翅片219的上半部及输出端220的下半部通过环氧树脂进行成模，形成覆盖构件221(S4)，也可以按图16A、16B所示制造流量传感器204的方法。
温度传感器205具有与流量传感器204相类似的构成，包括从该流量传感器204的流量检测部218中除去发热体224、电极层225、226、绝缘层227所得到的温度检测部；与流量传感器204同样的翅片237、输出端及覆盖构件。
另外，温度传感器205的制造方法也可以采用与流量传感器同样的方法。
流量传感器204通过对发热体224通电加热感温体228，检测感温体228的电阻值变化。在此，由于流量传感器204设置在流通管203上，所以发热体224发热量的一部分通过翅片219向在流通管203内流动的煤油中散放，传递给感温体228的热量要减去该散放热量。而且，该散放热量对应于煤油的流量变化，所以通过检测由供给的热量变化而产生感温体228电阻值的变化，就可以测量在流通管203内流动的煤油流量。
另外，由于上述散放热量也随煤油温度而变化，所以如图15A中所示，在流通管203的适当位置设置温度传感器205，在检测感温体228的电阻值变化的流量检出电路中附加温度补偿电路，尽可能减少煤油温度引起的流量测量值的误差。
流量传感器204在流量检测部218的基板222上形成凹下部230，在此具有隔热效果很好的空气层，同时在翅片219的上端的面上相对于层叠发热体224、感温体228的面，固着流量检测部218，使接触覆盖部件221、发热体224及感温体228的面积极力减少，使感温体228保有的热量、或传递翅片219的热量极少向覆盖构件221流出或流入。
从而，即使流体的比热很小、流量很少时，也不会降低流量传感器204的灵敏度。
另外，当流量传感器204由将流量检测部218、翅片219的上半部及输出端220的下半部成模的覆盖构件221覆盖时，就可以牢固地嵌插入壳体202的传感器插入孔214、215中，可极力减少因密封状态不完全而使传递翅片219的热量通过金属制流通管203向壳体202流出或流入。
从这一点看，即使流体的比热很小、流量很少时，也不会降低流量传感器204的灵敏度。
再有，由于流量传感器204是通过将流量检测部218、翅片219的上半部及输出端220的下半部成模的覆盖构件221覆盖形成一体化，只嵌插入在壳体202上形成的传感器插入孔214、215中即可，所以向壳体202装入极为简单，而且固定状态也稳定、耐久性高。
显示部206及操作部207如图13及图14A、14B所示，配置在壳体202的盖体部210的上面。显示部206是液晶板，流量的测量值由数字显示。操作部207由电源按钮240及测量按钮241构成，按下电源按钮供给电源，通过按测量按钮241认可进行测量。
如图13及图15A、图15B所示，将流量传感器204、温度传感器205从壳体202的传感器插入空间213嵌插入传感器插入孔214、215中，使翅片219、237的下半部插通流通管203的开口部216、217，位于流通管203内，使翅片219、237的下端到达流通管203轴线的下方。
另外，在流量传感器204、温度传感器205和传感器插入孔214、215之间加有O型环，以防止从这些间隙泄漏流体。
在嵌插入流量传感器204、温度传感器205之后，在传感器插入空间213中插入传感器挤压板243，挤压在流量传感器204、温度传感器205的覆盖构件221的上面。
再在传感器插入空间213上插入、配置电路基板208，在主体部209上安装固定盖体部210，构成移动型流量计201。
电路基板209与流量传感器204、温度传感器205、显示部206、操作部207及电源线进行电气连接(图中未画出)，整体构成图20所示的电气电路。
首先，将电源交流100V通过直流转换电路245变换为适当电压值的直流。通过稳压电路246对所得到的直流电压进行稳压，对流量传感器204的发热体224及电桥电路247供给电压。
电桥电路247由流量传感器204的感温体228、温度传感器205的感温体248、电阻249及可变电阻250构成，由于对应于煤油的流量，感温体228的电阻值发生变化，所以电桥电路247的a、b点的电压差Va-Vb也变化。
电压差Va-Vb通过差分放大电路251、积分电路252输入到V/F转换电路253，在V/F转换电路253上形成对应于输入电压信号的频率的脉冲信号。V/F转换电路253的频率根据温度补偿型晶体振子254的振荡在基准频率发生电路255上根据高精度时钟所设定的基准频率形成。
V/F转换电路253输出的脉冲信号输入到晶体管256时，在发热体224上流过电流而发热。另外，该脉冲信号由计数器257进行计数，在微型计算机258上换算成对应于该频率的流量。然后，该流量值在显示部206进行数字显示的同时，存储在存储器259内。
260是电池等备用电源。
下面对本发明的移动型流量计201的使用方法进行说明，在使用移动型流量计201时，需要使煤油燃烧装置的配管具有可安装移动型流量计201的结构。为此参照配管的结构进行说明。
第1种结构如图21A所示，在煤油燃烧装置的配管261上附设有配置关闭阀262、263的旁通管264、265，经常安装着连接管266。
在该结构中，首先关闭开闭阀262、263，从旁通管264、265取下连接管266。接着将移动型流量计201的连接部211、212连接在旁通管264、265的连接部267、268上，如图21B所示，安装移动型流量计201，开放开闭阀262、263。
第2种结构如图22A所示，在煤油燃烧装置的配管261上附设自封接头269、270。
在该结构中，首先将移动型流量计201的连接部211、212连接在连结管271、272的连接部273、274上，接着将连结管271、272的连接部275、276连接在自封接头269、270上，如图22B所示安装移动型流量计201。
这样，在安装自封接头时不需要配设关闭阀，安装作业也很简单，是可喜的。
在将移动型流量计201安装在煤油燃烧装置的配管261上之后，按电源按钮240，供给电源，接着如果按测量按钮241，就可关闭图20中所示的电气电路。
从而，根据煤油的流量不同，感温体228的电阻值变化，在电桥电路247的a、b点上产生电压差Va-Vb，在V/F转换电路253上所形成的脉冲信号由计数器257计数，通过微型计算机258换算成流量，流量值在显示器206是进行数字显示。
作业人员看着该流量值，当在规定值以下时，判断为燃烧器的喷嘴内侵入异物，排出口一部分已经闭塞，要进行从喷嘴中除去异物的作业。
图23是本发明的液体排出机器的排出量控制装置的第1实施例概要构成图。在本实施例中，液体排出机器使用非返回形喷嘴，在该嘴上供给、排出的液体使用煤油等燃料油。
在图23中，51是液体供给源燃料油罐，在该油罐上连接管路52的一端，该管路的另一端连接非返回形喷嘴53。该喷嘴53构成具有空气供给喷嘴及点火装置等的非返回形油压式油燃烧器。在管路52的途中配置泵(P)54和流量调节阀(V)55，在该流量调节阀55和喷嘴53之间配置流量传感器(S)56。泵53可以使用容积形泵，其排出量也可以是可变的。
57是控制部，该控制部57接受流量传感器56的检测信号的输入，控制调节阀55，调节管路52内的流体流量。该流量调节使由流量传感器56所检测的流量值调节到对应于从喷嘴53喷出所期望排出量的值。该流量调节在泵54排出量可变时也可通过调节该泵排出量进行。(这时也可以省去流量调节阀55)，也可以并用由该泵进行的流量调节和由流量调节阀55进行的流量调节。
在本实施例中的流量传感器56具有上述图1～4所示的结构部分。另外，本实施例的流量传感器具有上述图5中所示的电路构成。
根据这样的本实施例中的流量传感器56，即使被检测液体是粘度比较高的粘性液体，并且无论管路4的断面内的径向流量分布如何，都能进行充分反映该流量分布的正确的流量检测。从而，即使是比较少的微小流量，或者在很宽的环境温度条件下，都可以正确测量在配管内流动的液体流量。
根据以上的本发明的第1实施例，如图23中所示，由于是在紧靠着与管路52的喷嘴53相连接端的上流位置安装流量传感器56(即在流量传感器56和喷嘴53之间不存在管路以外的机器)，所以可以正确检测供给喷嘴53的燃料油的流量(即从喷嘴53喷出的燃料油排出量)。从而，根据由流量传感器56所检测的燃料油流量值，通过控制部57的命令，在流量传感器56的上流端调节管路52内的燃料油流量，使该检测值与要求的排出量一致，即使是例如0.1cc/分左右的微小排出量也能稳定控制。
另外，在本实施例中，结构上也可以将流量传感器56和喷嘴53作成一体化(即在喷嘴内的管路上安装流量传感器)。还可以在结构上将流量调节阀55和流量传感器56及喷嘴53作成一体化(即在喷嘴内的管路上安装流量调节阀和流量传感器)。
图24是本发明的液体排出机器的排出量控制装置的第2实施例的概要构成图。在本图中对具有与上述图23中相同功能的构件加有相同的标号。
在本实施例中，在上述第1实施例的管路52上，附设从靠近流量传感器56位置的上流位置(即在流量调节阀55和流量传感器56之间的位置)向泵54的上流位置返回燃料油的返回路径58。在该返回路径58上装有止回阀(V)59。当有规定值以上的压力差时该止回阀59使液体通过(向泵54的上流端返回燃料油)，可以防止在泵54和流量传感器56之间的管路52内燃料油的异常压力上升。
还可以使止回阀59的可通过最小压力差的值可变，由控制设定部57设定该值。
当然，在本实施例中也可以取得与上述第1实施例同样的作用效果。
图25是本发明的液体排出机器的排出量控制装置的第3实施例概要构成图。在本图中与上述图23～24中具有相同功能的构件加有相同的标号。
在本实施例中，液体排出机器使用返回形喷嘴，供给该喷嘴并排出的液体使用煤油等燃料油。
在本实施例中，管路52连接在返回形喷嘴53′的燃料油供给端。喷嘴53′构成具有空气供给喷嘴及点火装置等的返回形油压式油燃烧器。在管路52上，在流量调节阀55和喷嘴53′之间安装有第1流量传感器(S1)56′。
另一方面，在返回形喷嘴53′的燃料油返回端上连接返回管60的一端，该返回管60的另一端在泵54的上流端与管路52相连接。在返回管60上安装有第2流量传感器(S2)56″。另外，在返回管60上装有止回阀59。
第1流量传感器56′及第2流量传感器56″使用与上述第1和第2实施例的流量传感器56相同的传感器。
在本实施例中，控制部57接收第1流量传感器56′的检测信号输入及第2流量传感器56″的检测信号输入，控制流量调节阀55。该流量调节是从由第1流量传感器56′所检测的第1流量值减去由第2流量传感器56″所检测的第2流量值，使之等于对应于从嘴喷出的要求排出量的值。
当然，该流量调节也与第1及第2实施例一样，在泵54是可变排出量时，也可通过调整该泵的排出量进行调节(这时也可以省去流量调节阀55)。也可以并用由该泵进行的流量调节和由流量调节阀55进行的流量调节。
另外，在本实施例中，在结构上也可以将第1流量传感器56′和第2流量传感器56″及喷嘴53′进行一体化(即在喷嘴内的燃料油供给管路及燃料油返回管路上分别安装第1及第2流量传感器)。还可以在结构上将流量调节阀55和止回阀59′及第1和第2流量传感器56′、56″及喷嘴53′进行一体化(即在喷嘴内的管路上安装流量调节阀、止回阀、第1及第2流量传感器)。
在本实施例中也可以取得与上述第1实施例同样的作用效果。
在以上的实施例中，根据要求也可以在管路52的适当位置装有抑制燃料油流量脉动的装置。
在以上的实施例中，液体是燃料油，液体排出机器是非返回形或返回形的油压式油燃烧器，但是本发明并不仅限于这些实施例。本发明同样可以适用于对燃料油以外的液体例如各种药液等以喷雾排出或不喷雾排出的液体排出机器等当中。
如以上说明，根据本发明的流量传感器，即使是粘度比较高的粘性流体，也可以正确测量在配管内流动的该流体的流量。并且，根据本发明，即使是比较少的流量也可以正确测量在配管内流动的该流体的流量。以及，根据本发明，在很宽的环境温度条件下，可以正确测量在配管内流动的该流体的流量。
而且，根据本发明的流量传感器，不论被检测流体的流量如何，发热体周围的流量检测用感温体的温度都可大体维持一定，所以流量传感器随时间恶化很少，还可以防止可燃性被检测流体发生着火爆炸。
而且，根据本发明，由于在流量测量中采用脉冲信号，所以不会使测量部的结构复杂化，降低该测量部的故障发生的频度，另外在不增加流量传感器数量的情况下可在广泛流量范围上进行高精度的流量测量。
另外，本发明的移动型流量计可以简单地设置在对煤油燃烧装置供给煤油的配管上，可以瞬时测量煤油的流量，所以操作人员能够迅速判断是否在燃烧器的喷嘴内侵入异物，排出口一部分已经闭塞，可以立即进行从喷嘴内除去异物的作业。而且，可以防止不完全燃烧，防止煤油的保有能量的浪费、及不完全燃烧气体造成的大气污染，同时可发挥燃烧器本来的性能，使发热量恢复到正常。
本发明的移动型流量计，又由于结构简单而轻量，所以作业人员容易携带，可以立即设置在对煤油燃烧装置供给煤油的配管上，极其实用。
而且，根据本发明的液体排出量控制装置，可以极其准确地检测从液体排出机器实际排出的液体的量，根据该量可很容易得到所期望的排出量。
另外，根据本发明的液体排出量控制装置，由于在这种排出量控制时，即使是粘度比较高的粘性流体，即使是比较少的排出量，并在很宽环境温度条件下，进行具有高响应性准确地检测流量，可以进行可靠性很高的反馈控制，达到要求的排出量。
权利要求
1.一种流量传感器，其特征在于包括具有发热功能和感温功能的流量检测部、及为使从该流量检测部传出的热量传递给被检测流体并被吸热所形成的该被检测流体的管路，在上述流量检测部中，根据发热而执行受到上述被检测流体吸热影响的感温，根据该感温的结果检测上述管路内被检测流体的流量；在上述流量检测部上附设延伸到上述管路内的热传递用构件，该热传递用构件至少延伸到上述管路断面的中央部分附近。
2.根据权利要求1中所述的流量传感器，其特征在于上述流量检测部在基板上形成薄膜发热体及为接受该薄膜发热体发热的影响而配置的流量检测用薄膜感温体。
3.根据权利要求2中所述的流量传感器，其特征在于上述热传递用构件接合在上述基板上。
4.根据权利要求2中所述的流量传感器，其特征在于上述薄膜发热体和上述流量检测用薄膜感温体在上述基板的第1面上通过绝缘层进行层叠。
5.根据权利要求4中所述的流量传感器，其特征在于上述热传递用构件接合在上述基板的第2面上。
6.根据权利要求1～5的任一项中所述的流量传感器，其特征在于上述热传递用构件的上述管路方向的尺寸比在上述管路的断面内与上述热传递用构件的延伸方向相直交方向的尺寸大。
7.根据权利要求1～6的任一项中所述的流量传感器，其特征在于上述管路在上述热传递用构件延伸的部分是弯曲的。
8.一种流量传感器，其特征在于包括具有发热功能和感热功能的流量检测部、及为使从该流量检测部传出的热量传递给被检测流体并被吸热所形成的该被检测流体的管路，在上述流量检测部中，根据发热而执行受到上述被检测流体吸热影响的感温，根据该感温的结果检测上述管路内被检测流体的流量；上述管路具有弯曲部，上述流量检测部配置在位于穿过上述管路弯曲部的被检测流体流入端流入的被检测流体行进方向上的被检测流体流出端的壁上。
9.根据权利要求8中所述的流量传感器，其特征在于上述流量检测部在基板的第1面之上对薄膜发热体和流量检测用薄膜感温体通过绝缘层进行层叠，使上述基板的第2面接合在上述弯曲部分的被检测流体流出端的壁上。
10.根据权利要求1～9的任一项中所述的流量传感器，其特征在于具有在检测上述管路内的被检测流体的流量时为进行补偿而检测在上述管路内的被检测流体温度的温度检测部。
11.根据权利要求10中所述的流量传感器，其特征在于上述温度检测部具有与上述流量检测部相同等的感温功能。
12.一种流量传感器，其特征在于具有发热体及为接受该发热体的发热影响而配置的流量检测用感温体，为使从上述发热体传出的热量能传递给被检测流体并被吸热而形成该被检测流体的流通路径，根据上述发热体的发热，在上述流量检测用感温体上执行受到上述被检测流体吸热影响的感温，在对上述发热体供给电力的路径上连接控制上述发热体发热的发热控制装置，该发热控制装置根据上述感温结果控制向上述发热体供给的电力，以便使该感温的结果与目标一致，根据上述发热控制装置的控制状态检测上述被检测流体的流量。
13.根据权利要求12中所述的流量传感器，其特征在于采用上述流量检测用感温体形成电桥电路，从该电桥电路可得到表示上述感温结果的输出，根据该输出控制上述发热控制装置。
14.根据权利要求13中所述的流量传感器，其特征在于上述电桥电路包括为对上述被检测流体进行温度补偿的温度补偿用感温体。
15.根据权利要求12～14的任一项中所述的流量传感器，其特征在于上述发热控制装置是可变电阻。
16.根据权利要求15中所述的流量传感器，其特征在于上述可变电阻采用晶体管，在该晶体管的控制输入中使用根据表示上述感温结果的输出所得到的信号。
17.根据权利要求12～16的任一项中所述的流量传感器，其特征在于表示上述发热控制装置的控制状态是利用加到上述发热体上的电压。
18.根据权利要求12～17的任一项中所述的流量传感器，其特征在于表示上述感温结果的输出通过响应性设定装置输入到上述发热控制装置。
19.根据权利要求18中所述的流量传感器，其特征在于上述响应性设定装置包括差分放大电路及输入该输出的积分电路。
20.根据权利要求12～17的任一项中所述的流量传感器，其特征在于表示上述感温结果的输出经过积分电路输入给上述发热控制装置。
21.根据权利要求20中所述的流量传感器，其特征在于在上述积分电路的前级连接差分放大电路。
22.根据权利要求12～21的任一项中所述的流量传感器，其特征在于上述发热体及上述流量检测用感温体都是由薄膜构成，这些发热体及流量检测用感温体在基板上通过绝缘层进行叠层。
23.一种流量计，其特征在于具有发热体及为接受该发热体发热影响而配置的流量检测用感温体，为使从上述发热体传出的热量能传递给被检测流体并被吸热而形成该被检测流体的流通路径，根据上述发热体的发热，在上述流量检测用感温体上执行受到上述被检测流体吸热影响的感温，在对上述发热体供给电力的路径上连接控制上述发热体发热的发热控制装置，该发热控制装置控制向上述发热体供给的功率，以便使上述感温的结果与目标一致，在此上述发热控制装置通过对应于上述感温结果的频率的脉冲信号，对向上述发热体供给的功率进行ON-OFF控制，用测量上述脉冲信号的频率来检测上述被检测流体的流量。
24.根据权利要求23中所述的流量计，其特征在于采用上述流量检测用感温体形成电桥电路，从该电桥电路得到表示上述感温结果的输出，将通过差分放大电及积分电路对该输出进行处理所得到的电压信号，进行电压—频率变换，得到上述脉冲信号。
25.根据权利要求23～24的任一项中所述的流量计，其特征在于在对上述发热体供给电力的路径中装有开关装置，上述发热控制装置通过对上述开关进行开闭来进行上述ON-OFF控制。
26.根据权利要求23～24的任一项中所述的流量计，其特征在于向上述发热体供给电力的路径具有多个，在各功率供给路径上相互加有不同的电压，并且分别装有开关装置，上述发热控制装置通过选择上述多个功率供给路径中的一个后，对其开关装置进行开闭来进行上述ON-OFF控制。
27.根据权利要求26中所述的流量计，其特征在于当上述脉冲信号的频率到达下限设定值时，上述发热控制装置则选择加有更低电压的上述功率供给路径，而当上述脉冲信号的频率到达上限设定值时，上述发热控制装置则选择加有更高电压的上述功率供给路径。
28.根据权利要求27中所述的流量计，其特征在于上述功率供给路径的选择是用上述流量检测用感温体所形成的电桥电路，对表示该电路得到的上述感温结果的输出通过差分放大电路及积分电路进行处理，对该处理所得到的电压信号进行检测来实现的。
29.根据权利要求25～28的任一项中所述的流量计，其特征在于上述开关装置是场效应晶体管。
30.根据权利要求23～29的任一项中所述的流量计，其特征在于上述电桥电路包括为对上述被检测流体进行温度补偿的温度补偿用感温体。
31.根据权利要求23～30的任一项中所述的流量计，其特征在于上述发热体及上述流量检测用感温体都由薄膜构成，这些发热体及流量检测用感温体在基板之上通过绝缘层进行层叠。
32.一种移动型流量计，包括由主体部和盖体部构成的壳体，该主体部的两端部形成与外部配管连接的连接部，在其内部使流通管贯通；装放在上述壳体内，检测流体流量的流量传感器；显示流量值的显示部；供给电源并测量流量的操作部；及为使通过上述流量传感器检测的流量显示在上述显示部上的电气电路。
33.根据权利要求32中所述的移动型流量计，其特征在于上述流量传感器具有在基板之上形成发热体和感温体的流量检测部、与被检测流体之间进行热传递的翅片、及输出对应于流量的电压值的输出端，并对上述流量检测部、上述翅片的一部分及上述输出端的一部分通过成模进行覆盖。
34.根据权利要求32～33的任一项中所述的移动型流量计，其特征在于还将检测流体温度的温度传感器装放在上述壳体内。
35.根据权利要求34中所述的移动流量计，其特征在于上述温度传感器具有在基板之上形成感温体的温度检测部、与被检测流之间进行热传递的翅片、及输出对应于温度的电压值的输出端，上述温度检测部、上述翅片的一部分及上述输出端的一部分通过成模进行覆盖。
36.根据权利要求32～35的任一项中所述的移动型流量计，其特征在于上述显示部配置在上述壳体的盖体部的上面。
37.根据权利要求32～36的任一项中所述的移动型流量计，其特征在于上述显示部对流量的测量值进行数字显示。
38.根据权利要求32～37的任一项中所述的移动型流量计，其特征在于上述操作部配置在上述壳体的盖体部的上面。
39.根据权利要求32～38的任一项中所述的移动型流量计，其特征在于上述操作部由供给电源的电源按钮和测量流量的测量按钮构成。
40.根据权利要求32～39的任一项中所述的移动型流量计，其特征在于上述电气电路包括上述流量传感器的感温体、及上述温度传感器的感温体，并具有输出对应于流体流量的电压差的电桥电路。
41.根据权利要求40中所述的移动型流量计，其特征在于上述电气电路包括使对应于流体流量的电压差变换为对应频率的脉冲信号的V/F转换电路；对该脉冲信号进行计数的计数器；及换算对应于频率的流量的微型计算机。
42.根据权利要求32～41的任一项中所述的移动型流量计，其特征在于安装在外部配管上的旁通管上。
43.根据权利要求32～41的任一项中所述的移动型流量计，其特征在于安装在外部配管上附设的自封接口上。
44.一种液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于通过在液体供给源上连接的管路，从由泵所供给的液体向外部排出的液体排出机器，以要求的排出量排出液体；在上述泵和上述液体排出机器之间具有检测在上述管路内流动的液体流量的流量传感器、通过该流量传感器在上流可改变上述管路内液体流量的流量调节装置、及为使由上述流量传感器所检测的流量值对应于上述要求排出量的值而控制上述流量调节装置的控制部。
45.权利要求44中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述流量调节装置在上述泵和上述流量传感器之间，由附设在上述管路上的流量调节阀及/或排出量可变的上述泵构成。
46.根据权利要求44～45的任一项中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述液体是可燃性液体；上述液体排出机器是非返回形喷嘴。
47.根据权利要求44～45的任一项中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述液体是燃料油；上述液体排出机器是非返回形油压式油燃烧器。
48.根据权利要求44～47的任一项中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于在上述管路上附设有从靠近上述流量传感器位置的上流位置向上述泵的上流位置返回上述液体的路径；在该路径上装有止回阀；该止回阀在有规定值以上的压力差时使液体通过。
49.一种液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于从通过在液体供给源上连接的管路，将由泵所供给的液体的一部分向外部排出，其他部分通过返回管返回上述管路的液体排出机器，以要求的排出量排出液体；在上述泵和上述液体排出机器之间具有检测在上述管路内流动的流体流量的第1流量传感器；检测在上述返回管返回的液体流量的第2流量传感器；通过该第1流量传感器在上流可改变上述管路内流动的液体流量的流量调节装置；及控制上述流量调节装置的控制部，以便使从由上述第1流量传感器检测的第1流量值减去由上述第2流量传感器所检测的第2流量值所得到的值达到对应于上述要求排出量的值。
50.根据权利要求49中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述流量调节装置在上述泵和上述第1流量传感器之间，由在上述管路上附设的流量调节阀及/或排出量可变的上述泵构成。
51.根据权利要求49～50的任一项中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述液体是可燃性液体；上述液体排出机器是返回形喷嘴。
52.根据权利要求49～50的任一项中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述液体是燃料油；上述液体排出机器是返回形油压式油燃烧器。
53.根据权利要求44～52的任一项中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述流量传感器或上述第1流量传感器及上述第2流量传感器为包括具有发热功能和感温功能的流量检测部；为使从该流量检测部传出的热量传递给上述液体并被吸热而安装在上述管路上；在上述流量检测部上，根据发热执行受到上述液体吸热影响的感温；根据该感温的结果检测上述管路内的液体流量；在上述流量检测部上附设延伸到上述管路内的热传递用构件；该传递用构件至少延伸到上述管路断面的中央部分附近。
54.根据权利要求53中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述流量检测部在基板上形成薄膜发热体及接受该薄膜发热体发热影响而配置的流量检测用薄膜感温体。
55.根据权利要求54中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述热传递用构件接合在上述基板上。
56.根据权利要求54中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述薄膜发热体和上述流量检测用薄膜感温体在上述基板的第1面之上通过绝缘层进行层叠。
57.根据权利要求56中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述热传递用构件接合在上述基板的第2面上。
58.根据权利要求53～57的任一项中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述热传递用构件在上述管路方面的尺寸比在上述管路断面内与上述热传递用构件的延长方向相直交方向的尺寸大。
59.根据权利要求53～58的任一项中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于具有在检测上述管路内的液体流量时，为进行补偿而检测在上述管路内的液体温度的温度检测部。
60.根据权利要求59中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述温度检测部具有与上述流量检测部同等的感温功能。
61.根据权利要求44～60的任一项中所述的液体排出机器的排出量控制装置，其特征在于上述泵是容积形泵。
全文摘要
一种流量传感器和流量计。在基极的第1面之上将薄膜发热体和薄膜感温体通过绝缘层进行层叠构成流量检测部(12),为使从流量检测部传出的热量传递给被检测流体并被吸热而形成被检测流体管路(4)。在流量检测部(12)上根据薄膜发热体的发热在薄膜感温体上执行接受被检测流体吸热影响的感温,根据该结果检测管路(4)内的被检测流体的流量。在流量检测部(12)的基板第2面上用接合剂(16)粘合延伸到管路(4)内的翅片(14),翅片(14)延伸到管路(4)的圆形断面的中央部分。翅片(14)在管路(8)方向的尺寸比厚度L
文档编号G01F1/696GK1276059SQ98810178
公开日2000年12月6日 申请日期1998年10月14日 优先权日1997年10月15日
发明者小高博文, 小池淳, 山岸喜代志, 川西利明, 友成健二, 井上真一, 尾征広, 宫嶋浩光 申请人:三井金属矿业株式会社