明。
[0032]首先，说明本发明的基本概念。本发明是对检测对象物进行导通检测时，从用于进行导通检测的电力供应状态，管理接触于该检测对象物的接触端子的维修。
[0033]图1是用于说明导通检测的概略侧面图。其示出导通检测是将在基板CB上形成的配线T作为检测对象物进行的检测。在图1中，检测对象基板CB上形成有配线T，并检测该配线T的导通状态。由此，在配线T的两端，配置有接触端子P (符号Pl和P2)，串联电流源CC对配线T之间供应电力。该接触端子P之间连接有电压计V以便测定该接触端子P之间的电压。根据由电压计V测定的电压值和电流源CC供应的电流值计算配线T的电阻值。根据该计算的电阻值来判定配线T的导通状态是良好状态或不良状态。
[0034]在图1所示的导通检测中，从电流源CC供应电力开始，经过所定的时间后，用电压计V进行测定。这是为了稳定检测对象物的配线T的电特性，等到电特性稳定之后测定电压，从而可以进行高精度的测定。
[0035]本发明是在供应用于进行配线T的导通检测的电力时，测定电压的变化，从而进行接触端子P是否需要维修的判断。由此，电压计V测定所供应电压的时间序列性变化(继时性变化)，其详细内容后述。
[0036]对根据本发明的基板检测装置I进行说明。图2是根据本发明的基板检测装置的概略构成图。基板检测装置I包括电源设备2、电压检出设备3、演算设备4、判定设备5、选择设备6、记忆设备10和显示设备11等。而且，在此基板检测装置I上配置有用于电性连接基板CB的配线T和此基板检测装置I的夹具(未图示)，在此夹具上设置接触端子CP使其接触配线T上所定的检测点。
[0037]在图2示出基板检测装置I对基板CB准备进行导通检测的状态，且基板CB上有2个配线Tl和配线T2。配线Tl和配线T2示出以二探针测定方法进行导通检测的状态。另夕卜，以四探针测定方法对配线T进行导通检测时，例如，可在配线Tl的一端导通接触2个接触端子CP，在另一端导通接触2个接触端子CP而进行测定。在此情形，将连接于一端和另一端的各2个接触端子CP作为一对接触端子，分别使用为电流供应用和电压测定用，从而进行四探针测定方法。
[0038]电源设备2是供应电力用于检测基板CB上形成的配线T的导通状态。此电源设备2可以供应如第一电流和第二电流，至少2种电流值的电流。此电源设备2例如可以使用正电流源。在此情形，电源设备2将向配线T供应的电流值作为电流值信息，传送给后述的演算设备4等。
[0039]电压检出设备3是，由电源设备2对检测对象配线T供应电力时，检测该配线T的电压。此电压检出设备3检测出配线T的电压，从而后述的演算设备4计算配线T的电阻值。此电压检出设备3可以使用电压计。另外，电源设备2、电压检出设备3及后述的电流检出设备12是与后述的演算设备4或记忆设备10等连接，将供应电流的条件(电流值或电压值)或检测的电流值或电压值作为信息传送。
[0040]尤其是，在向配线T供应电力时，此电压检出设备3以时间序列测定配线T的电压值。此测定信息，如上所述，被传送给记忆设备10等。
[0041]演算设备4基于由电压检出设备3检测的电压值信息，计算检测对象配线T的电阻值。此演算设备4是以电源设备2供应的电流值信息和电压检出设备3检测的电压值信息作为基础，计算电阻值。此演算设备4计算电阻值的方法，例如可以设定为使用欧姆定律来计算处理。演算设备4算出的计算结果(电阻值信息)传送给判定设备5及/或记忆设备10。
[0042]判定设备5是利用由演算设备4算出的电阻值来判定检测对象配线T的导通状态的不良与否。此判定设备5使用电阻值信息来判定的方法是，例如预先设定良好状态的范围，在此范围内电阻值信息存在时可以判定为良好状态。判定设备5处理的判定结果(判定信息)传送给记忆设备10或显示设备11。
[0043]而且，判定设备5是从电压检出设备3检测的电压值信息的变化，检测出接触端子CP的维修信息。此判定设备5是以时间序列监测在导通检测时供应的配线T电压值信息，从此电压值信息的变化可以获得接触端子CP的维修信息(接触端子的更换信息)。
[0044]此判定设备5执行的维修信息获得方法是，在供应用于导通检测的电力的过程中，当电压值信息发生所定的变化时，发送接触端子CP的更换信息。
[0045]判定设备5执行的更换信息获得方法是，利用向检测对象配线T供应的电压以时间序列增加来执行。更具体地说，判定设备5是将电压检出设备3检测的电压值信息以时间序列记忆，从而计算出时间序列变化来执行。判定设备5是基于电压值信息的时间序列变化，检测出接触端子CP的更换时期。由此，判定设备5是根据电压值的时间序列变化，可以执行接触端子CP需要更换/不需更换的判断。
[0046]具体地说，接触端子CP没有异常时，该电压值信息以一定的增加率增加。图3的(a)是示出接触端子CP没有异常时电压值信息的变化图表。如图3的(a)所示，开始供应电压之后(时间tl附近)至达到进行导通检测的所定电压之前(时间t2附近)的电压是以一定的斜率增加。然而，在接触端子CP存在异常时，此电压不是以一定的增加斜率增加，而是例如图3的(b)所示，存在局部减小的情形或局部不增不减的情形(例如，在时间t4的电压值一时减小)。如此，电压值不以一定的增加斜率增加时，某接触端子CP上存在异常的情形较多，因此通过捕捉这种现象，可以管理接触端子CP的更换时期。
[0047]判定设备5是，如上所述，当电压值一定地增加时，判断接触端子CP没有异常(无需更换接触端子的状态)，当电压值不为一定地增加时，判断接触端子CP有异常(即，需要更换接触端子的状态)。
[0048]此判定设备5执行的具体判断方法是，从开始供应用于进行导通检测的电力之后，直至进行用于导通检测的测定期间，监测电压值的变化。在这种情形，当判定设备5检测到电压值的变化是减小的负方向斜率时，判断为接触端子CP的更换时期。
[0049]而且，此判定设备5执行的具体判断方法可以例举为，通过监测供应电力的一定期间的电压值，从而掌握这期间电压值增加率的方法。在这种情形，一定期间的电压值不具有一定的增加率(斜率)时，判断为接触端子CP的更换时期。
[0050]如上所述，当判定设备5判断为更换时期时，表示该接触端子CP更换时期的指示显示在显示设备11上。
[0051]所述判定设备5的判断方法是，监测从开始供应电力直至进行导通检测为止的电压值信息来进行，但为了更正确地检测接触端子CP的更换时期，可将电压分成多阶段来进行监测。
[0052]例如，可将电压值设定为在进行导通检测时的第一电压值，和用于检测出接触端子CP更换状态的第二电压值，从而分别以设定的两个阶段进行监测。第一电压值设定为比第二电压值小，在电压值达到第一电压值的期间检测出所述更换信息时，将电压值上升到第二电压值。而且，从第一电压值到第二电压值之间，判定设备5如上所述监测是否检测到所述更换信息。当判定设备5在从第一电压值到第二电压值之间检测出更换信息(电压值的所定变化)时，判定设备5发送接触端子CP的更换信