元130的内侧，被引入内开口部分W22。与此同时，测试流体P21被引入对应于外开口部分W21的系统。此时，气缸140支撑板110，使得板110不会通过产生左向推力而移动到右侧，并压缩固定橡胶固定构件120，从而密封外开口部分W21 (参见图6中的右向反作用力H21和H22)。
[0094]其结果是，在泄漏测试装置101中，滑动单元130被来自压力室112的测试流体P22的压力推向左侧(参见图6中的推力F22)，而压力室112用作被引入到内开口部分W22的测试流体P22的入口。以这种方式，泄漏测试装置101压缩密封件132，并用此推力F22密封内开口部分W22。
[0095]以这种方式，滑动部分130能够对测试流体P22被导入的内开口部分W22进行密封。另外，内开口部分W22相对于外开口布恩W21的距离能够被滑动单元130的滑动量所吸收，因此，气缸140能够通过仅产生等于推力F21 + F22之和的左向推力N20来密封外开口部分W21，无论该距离如何(参见图6中的右向反作用力H21)。
[0096]这里，当使用单个气缸或当如现有技术那样利用弹簧来密封内开口部分W22时，由于这一结构，测试流体P22无法被引入内开口部分W22中(参见图14和图17)。
[0097]因此，在相关技术中，开口部分W21和W2必须使用两个固定橡胶密封件来密封(参见图15)。在这种情况下，除了等于F21 + F22之和的左向推力N20之外(参见图15中的推力N63和N64)，还必须使用具有推力、以用于吸收距离和推力从而克服额外余量(B卩，橡胶构件的额外长度)的气缸。
[0098]S卩，利用滑动单元130，通过对形成在工件W20右侧表面上的多个开口部分W21和W22中的至少一个进行密封，泄漏测试装置101能够密封那些无法利用弹簧或单个气缸进行密封的开口部分。因此，泄漏测试装置101能够去除用于吸收距离的推力和用于克服额外余量(即橡胶构件的额外长度)的推力，所以能够极大地减小当密封开口部分时所需的气缸140的推力。
[0099]接着，将描述根据本发明的第三示例性实施例的泄漏检测装置201。
[0100]如图7至9所示，第三示例性实施例的泄漏检测装置201与第一示例性实施例的泄漏检测装置I的不同之处在于，其依次密封了从第一开口部分W31到第三开口部分W33的三个开口部分。
[0101]如图7所示，第一开口部分W31和第二开口部分W32形成为第一示例性实施例开口部分WlI和W12大致相同的形状。
[0102]第三开口部分W33布置在第二开口部分W32下方，并形成为与第二开口部W32大致相同的形状，并且在左右方向上还置于与第二开口部分W32相同的位置。即，第三开口部分W33布置在一位置处，该位置比第一开口部分W31向左偏移了预定长度。
[0103]这些种类的开口部分W31到W33在缸体内部是彼此不连通的。S卩，开口部分W31到W33是单独的系统。
[0104]根据第三示例性实施例的泄漏检测装置201利用固定橡胶构件220来密封外第一开口部分W31，并利用滑动单元230和250密封第三开口部分W33。
[0105]凹部213形成在板210中的凹部211的下方。凹部213被配置为类似于第一示例性实施例中的凹部11，不同的是其布置在第三开口部分W33的右侧。
[0106]固定橡胶构件220被配置为类似于第一示例性实施例的固定橡胶构件20。
[0107]滑动单元230被配置为类似于第一示例性实施例中的滑动单元30。
[0108]滑动单元250被配置为类似于第一示例性实施例中的滑动单元30，区别在于它在凹部213中滑动。
[0109]g卩，滑动单元230可滑动地插入其中的压力室212，以及滑动单元250可滑动地插入其中的压力室214，形成在泄漏测试装置201中。
[0110]以这种方式，通过用滑动单元230和250密封在左右方向布置在相同位置的所述第二开口部分W32和所述第三开口部分W33，泄漏测试装置201被配置为利用滑动单元230和250的滑动量，吸收所述第二开口部分W32和所述第三开口部分W33相对于所述第一开口部W31的距离(参见图3)。
[0111]接下来，将描述根据第三示例性实施例的泄漏测试装置201的操作。
[0112]以下，要密封第一开口部分W31所需的推力标记为F31，要密封第二开口部分W32所需的推力标记为F32，要密封第三开口部分W33所需的推力标记为F33。并且，推力F31和F32包括测试期间产生的反作用力。
[0113]泄漏测试装置201驱动气缸240，以将板210带至靠近工件W30，从而令固定橡胶构件320和密封件232和252抵靠着开口部分W31到W33。
[0114]于是，泄漏测试装置201对第一开口部分W31对应的系统进行加压，并测试第一开口部分W31对应的系统中的泄漏。
[0115]S卩，通过产生左向推力并压缩固定橡胶构件220 (参见图7中的右向反作用力H31)，气缸240密封第一开口部分W31。此时，测试流体P32和P33 (参见图8和9 )未被引入压力室212和214，因此，滑动单元230和250滑至凹部211和213，滑过一对应于固定橡胶构件220的压缩量的量。即，密封件232和252未被沿着固定橡胶构件220压缩。
[0116]因此，当测试对应于第一开口部分W31的系统时，气缸240能够通过简单地生成等于推力F31的左向推力N31来密封第一开口部分W31。
[0117]接着，泄漏测试装置201停止对第一开口部分W31对应的系统进行加压，使其向外部空气打开，并测试第二开口部分W32所对应的系统中的泄漏，如图8所示。
[0118]S卩，泄漏测试装置201将测试流体P32弓I入到对应于第二开口部分W32的系统。泄漏测试装置201通过利用来自压力室212的测试流体P32的压力，将滑动单元230推向左侦牝来密封所述第二开口部分W32 (参见图8中的推力F32)。此时，滑动单元230相对于板210和滑动部分250向左移动(即，固定橡胶构件220)，移动一对应于密封件232的压缩量的量。
[0119]因此，当检测对应于所述第二开口部分W32的系统时，气缸240能够简单地通过产生等于推力F32的向左的推力N32来密封第二开口部分W32 (参见图8中的推力F32和向右的反作用力H32)。当密封第三开口部分W33时(参见图9中的测试流体P33、推力F33、右向反作用力H33和推力N33)情况也是如此。
[0120]以这种方式，泄漏测试装置201能够通过用滑动单元230和250密封第二开口部分W32和第三开口部分W33，来选择性地密封开口部分W31到W33中的每一个。
[0121]因此，泄漏测试装置201能够减少在密封开口部分时所需的气缸240的推力。更具体地说，泄漏测试装置201能够将气缸240的推力减至一等于推力F31至F33的最大值的推力。
[0122]泄漏测试装置201能够选择性地密封开口部分中的每一个，即使当所述开口部分由三个滑动单元密封时也是如此。即，通过利用滑动单元来密封全部开口，或通过利用滑动单元密封除一个系统所对应的开口部分以外的开口部分，泄漏测试装置201能够在为每一系统检测开口部分的泄漏时选择性地密封每个开口部分。
[0123]接着，将描述根据本发明的第四示例性实施例的泄漏测试装置301。
[0124]如图1OA和1B所示，根据第四示例性实施例的泄漏测试装置301与根据第一示例性实施例的泄漏测试装置I的不同之处在于，要进行负压测试的第一开口部分W41，和要进行正压测试的第二开口部分W42，是依次密封的。
[0125]所述第一开口部分W41被配置为类似于第一示例性实施例的第一开口部W11，不同之处在于其内径尺寸比第一示例性实施例的第一开口部分Wll的内径尺寸大。
[0126]所述第二开口部分W42被配置为类似于第一示例性实施例的第二开口部分W12。
[0127]这些种类的开口部分W41和W42在缸体内部是彼此不连通的。S卩，开口部分W41和W42是单独的系统。
[0128]根据第四示例实施例的泄漏测试装置301利用固定橡胶构件320来密封第一开口部分W41，并利用滑动单元330来密封第二开口部分W42。
[0129]固定橡胶构件320被配置为类似于第一示例性实施例的固定橡胶构件20，除了其形成为能够密封所述第一开口部分W41的形状。
[0130]滑动单元330被配置成类似于第一示例性实施例的滑动单元30。
[0131]接着，将描述根据第四示例实施例的泄漏测试装置301的操作。
[0132]要密封第一开口部分W41所需的推力标记为F41，要密封第二开口部分W42所需的推力标记为F42。并且，推力F42包括测试期间产生的反作用力。
[0133]如图1OA所示，泄漏测试装置301驱动气缸340，以使板310接近工件W40，从而使得固定橡胶构件320和密封件332抵靠开口部分W41和W42。
[0134]然后，泄漏测试装置301使对应于第一开口部分W41的系统减压，并测试对应于第一开口部分W41的系统中的泄漏。
[0135]此时，板310被所述第一开口部分W41牵引(B卩，吸住)，使得固定橡胶构件320被吸至第一开口部分W41。此外，测试液体P42不被引入压