量管理系统（例如（但不限于）可从Milpitas，California的 KLA-Tencor获得的K-T分析器）可植入于数据处理平台108上或可为数据处理平台108存 取。
[0042] 图2A是描绘根据本发明的方面的方法200的流程图，所述方法可用以产生适合于 校准计量工具的一或多个比例因数。首先，在261处，可针对跨越衬底分布的多个测量位置 中的每一测量位置获得多个计量测量信号221。测量位置可为将加以测量的计量目标117 的位置，或可为多个目标117位于最接近彼此处的位置。针对每一测量位置所获得的多个 测量信号221中的每一者是由计量工具106在多个不同测量条件中的一者下测量所述测量 位置而产生。
[0043] 在图2B中，计量测量集合220经展示为含有多个计量测量信号221。通过实例且 非通过限制，可存在数目N个测量集合22(ν2202....... 220Ν。每一测量集合220可具有 数目η个测量信号。通过实例，测量集合22(^可具有通过在第一测量条件下测量含有目标 117i、1172& 117η(展示于图IC中）的位置而产生的测量信号221^221".......22Vn。 通过实例且非通过限制，第一测量条件可为使用绿光来执行测量。另外，第二计量测量集合 2202可包含测量信号221h、2212_2.......221 2_n，其为由测量相同目标117^ 1172及117 "产 生的信号，但此次是在第二测量条件下测量（例如，通过白光执行测量）。
[0044] 其后，在262处，针对每一测量信号221确定测量计量值222及一或多个质量优值 223。通过实例且非通过限制，测量计量值222可为所测量的覆盖误差OVL meas。确定测量计 量值222及所述一或多个质量优值的过程详细描述于由Daniel Kandel等人在2012年5 月7日申请的题为用于提供质量量度以改进工艺控制的方法及系统（METHOD AND SYSTEM FOR PROVIDING A QUALITY METRIC FOR MPROVED PROCESS CONTROL)且全部并入本文中 的共同拥有的美国专利申请案第13/508, 495号中。简洁地说，关于覆盖测量信号的质量优 值，可通过将多个覆盖算法应用于一或多个所获取的计量信号221以便计算许多覆盖估计 来实现对质量优值的确定。接着，基于这些所计算的覆盖估计的跨度或分布，可产生衬底的 每一经取样的计量目标117的质量优值223。
[0045] 在已针对经取样的目标117中的每一者确定计量测量值222及质量优值223之 后，则可接着确定对应于多个测量条件中的每一者的比例因数，如由方法200的框263所 不O
[0046] 通过使用经由不同测量条件所获得的测量计量值222及Qmerit 223,且通过使用 〇VLa。。的强固性（如上文所描述，其为所有测量方法所常见），可通过最小化等式3来确定 每一测量方法的比例因数。
[0047]
【主权项】
1. 一种非暂时性计算机可读媒体，其含有用于产生适合于校准计量工具的一或多个比 例因数的程序指令，且其中通过计算机系统的一或多个处理器来执行所述程序指令致使所 述一或多个处理器进行以下步骤： 针对跨越衬底分布的多个测量位置中的每一测量位置获得多个计量测量信号，其中针 对每一测量位置所获得的所述多个测量信号中的每一者是由计量工具在多个不同测量条 件中的一者下测量所述测量位置而产生； 确定每一测量信号的测量计量值及一或多个质量优值； 利用所述测量计量值及所述质量优值来确定各对应于所述多个不同测量条件中的一 者的比例因数；及 校准所述计量工具以在产生后续计量测量值时使用对应于用以测量后续目标的所述 测量条件的所述比例因数。
2. 根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其进一步包括： 比较对应于所述测量条件中的每一者的所述比例因数以确定哪一测量条件组合产生 优化的测量配方；及 指导所述计量工具在后续计量测量中利用所述优化的测量配方。
3. 根据权利要求2所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述优化的测量配方使所述 计量测量值中的不准确度的量最小化。
4. 根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述多个测量条件为不同彩 色滤光片。
5. 根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述多个测量条件为不同焦 点位置。
6. 根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述多个测量条件为不同光 偏振。
7. 根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述多个测量条件为不同目 标类型。
8. 根据权利要求7所述的非暂时性计算机可读媒体，其中每一测量位置包括位于最接 近彼此处的多个目标类型。
9. 根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述计量工具为覆盖工具。
10. 根据权利要求9所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述测量计量值为覆盖测 量。
11. 根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述计量工具为临界尺寸 计量工具。
12. 根据权利要求11所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述测量计量值是通过散 射测量而得出。
13. 根据权利要求11所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述测量计量值是通过椭 圆对称而得出。
14. 根据权利要求11所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述测量计量值是通过 CD-SEM而得出。
15. -种经配置以在网络上操作的计量工具，其包括： 处理器； 存储器，其耦合到所述处理器； 体现于存储器中以供所述处理器执行的一或多个指令，所述指令经配置以产生适合于 校准所述计量工具的一或多个比例因数，方法包括： 针对跨越衬底分布的测量位置中的每一测量位置获得多个计量测量信号，其中针对每 一测量位置所获得的所述多个测量信号中的每一者是由计量工具在多个不同测量条件中 的一者下测量所述测量位置而产生； 确定每一测量信号的测量计量值及一或多个质量优值； 利用所述测量计量值及所述质量优值来确定各对应于所述多个不同测量条件中的一 者的比例因数；及 校准所述计量工具以在产生后续计量测量值时使用对应于用以测量后续目标的所述 测量条件的所述比例因数。
16. -种非暂时性计算机可读媒体，其含有用于通过计量工具使比例因数与目标缺陷 相关联的程序指令，且其中通过计算机系统的一或多个处理器来执行所述程序指令致使所 述一或多个处理器进行以下步骤： 从具有已知缺陷的目标获得计量信号，其中所述计量工具使用具有第一已知的比例因 数的第一测量条件来产生所述计量信号； 计算所述计量信号的一或多个质量优值； 使所述一或多个质量优值与所述比例因数的组合与所述已知缺陷相关联；及 将所述关联性存储于缺陷数据库中。
17. -种非暂时性计算机可读媒体，其含有用于通过计量工具来检测目标缺陷类型的 程序指令，且其中通过计算机系统的一或多个处理器来执行所述程序指令致使所述一或多 个处理器进行以下步骤： 通过根据测量配方来测量衬底上的一或多个目标而产生一或多个测量信号，其中所述 测量配方中的至少一个测量条件具有已知比例因数； 针对所述一或多个测量信号中的每一者产生一或多个质量优值； 将所述已知比例因数与所述一或多个质量优值的组合与已与缺陷数据库中的目标缺 陷相关联的一组存储的比例因数与质量优值组合相比较。
【专利摘要】本发明的方面描述用于通过使用比例因数来校准计量工具的系统及方法。可通过在不同测量条件下测量衬底来获得所述比例因数。接着计算测量计量值及一或多个质量优值。可从此信息确定比例因数。其后，可使用所述比例因数来量化计量测量中的不准确度。还可使用所述比例因数来确定优化测量配方。应强调，提供此摘要以遵从需要将允许搜索者或其它读者快速确定本技术揭示内容的标的物的摘要的规则。提交所述摘要，应理解其将不用以解释或限制权利要求书的范围或意义。
【IPC分类】G01B21-04
【公开号】CN104736962
【申请号】CN201380054535
【发明人】依兰·阿米特, 达纳·克莱因, 盖伊·科恩, 阿米尔·威德曼, 尼姆洛德·雪渥尔, 阿姆农·玛纳森, 努里尔·阿米尔
【申请人】科磊股份有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2013年9月5日
【公告号】US20140060148, WO2014039674A1