异物检测装置和涂布系统的制作方法_2

文档序号:8486893阅读:来源:国知局
置在透光盒401中的条状光源402和聚焦透镜403,透光盒401的朝向基板101的一侧设置有有一条狭缝404,狭缝404的延伸方向与条状光源402的延伸方向一致,条状光源402发出的光经过聚焦透镜403汇聚后,通过狭缝404射出。通常,为了提高光线的均匀性,光发射单元204还包括设置在条状光源402和聚焦透镜403之间的导光扩散板405。
[0044]本发明采用导光扩散板405对条状光源402发出的光进行扩散,得到平行且亮度均匀的检测光,然后采用聚焦透镜403对检测光进行汇聚,得到高亮度的条状检测光,最后经由狭缝404竖直射出,以确保最终得到的检测光源的准直性和均匀性。
[0045]本发明中的条状光源402可以包括条状发光二极管、排列为条状点阵的多个发光二极管、条状激光发射器中的任意一者。在上述光源中,优选以白光作为检测光。
[0046]进一步地,光接收单元205包括排列为条状的多个CCD摄像头或条状光电探测器中的任意一者,多个所述CCD摄像头的探测面或所述条状光电探测器的探测面用作光接收单元205的光接收面。
[0047]其中,多个所述CCD摄像头能够直接抓获异物106在基板101表面的图像,或者,采用所述条状光电探测器先获取反射光的亮度数据,然后再对所述亮度数据进行处理,获得异物106在基板101表面的位置信息。
[0048]本发明还提供了一种涂布系统,如图8所示,所述涂布系统包括喷嘴103和本发明所提供的上述异物检测装置。所述异物检测装置包括光发射单元204和光接收单元205,所述异物检测装置固定在喷嘴103沿涂布方向的前方,图中箭头表示涂布方向。其中,光发射单元204紧邻喷嘴103设置,光接收单元205设置在光发射单元204沿涂布方向的前方。在涂布过程中,首先采用所述异物检测装置对待涂布的基板101进行异物检测,之后再进行喷涂,以便于及时发现异物,避免出现喷涂不良的现象,造成资材浪费。
[0049]所述涂布系统还包括控制单元206,光接收单元205的输出端与控制单元206相连,控制单元206还与喷嘴103相连。控制单元206能够对接收到的所述光信号进行处理和判定,当控制单元206判定所述光信号中某个反光点的反射光的亮度值低于预设值时,表示该反光点处存在异物,因此控制所述涂布系统停止工作。
[0050]如上所述,所述光信号包括反射光的亮度值以及反光点的位置坐标。当基板101上方或下方存在异物106时,异物106所在位置的反射光的亮度低于基板101其它位置的反射光的亮度,控制单元206根据反射光亮度降低的位置来确定异物106的位置,并在发现异物106时控制喷嘴103停止移动及喷涂。
[0051]本发明不仅能够检测到位于基板101上方的异物106,还能够有效检测位于基板101下方的异物106,避免了由于基板101被异物106垫高而与喷嘴发生碰撞的风险。另一方面,本发明能够对异物106进行平面式检测,有利于更加快捷地确定异物106所在的位置。当发现异物106存在时,控制单元206能够及时控制喷嘴103停止移动及喷涂,以防止造成喷涂不良。
[0052]进一步地,所述涂布系统还包括驱动装置207,驱动装置207的输出端与喷嘴103相连,用于驱动喷嘴103在基板101的上方移动,驱动装置207的控制端与控制单元206相连。当控制单元206判定所述光信号中某个反光点的反射光的亮度值低于预设值时,向驱动装置207的控制端发出控制信号,以控制驱动装置207停止向喷嘴103输出动力。
[0053]本发明对于驱动装置207的具体形式不做限定,例如驱动装置可以是马达,所述马达能够驱动喷嘴103在基板101上方沿涂布方向移动。
[0054]具体地,控制单元206包括信号转换模块601和判定模块602。信号转换模块601用于将所述光信号转成电信号,所述电信号包括异物尺寸和异物位置坐标。这里的“异物尺寸”包括异物所占的面积和异物的高度。通常,异物106的尺寸越大,反射光的亮度越低,因此根据反射光的亮度分布情况就可以计算出异物106所在的具体位置和尺寸信息。
[0055]判定模块602用于将所述电信号中的异物尺寸与预设的阈值尺寸进行比较,以判定检测到的异物106的尺寸是否超出预设范围。
[0056]在本发明中,所述阈值尺寸可以直接存储在判定模块602中,也可以另外设置一个存储模块来进行存储,此处不再赘述。
[0057]进一步地,为了使操作人员更加直观地了解异物所在的位置和尺寸,控制单元206还包括模型建立模块603和显不模块604。模型建立模块603用于根据信号转换模块601处理得到的所述电信号建立三维模型。显示模块604用于展示所述三维模型,所述三维模型中包括异物在所述基板上的位置,以及异物的尺寸(包括异物所占的面积和异物的高度),如图9所示。
[0058]进一步地,控制单元206还包括报警模块605,报警模块605与判定模块602相连,当判定模块602判定所述电信号中的异物尺寸超出所述阈值尺寸时,发送异常信号给报警模块605,报警模块605接收到所述异常信号后发出报警信号,提醒操作人员进行处理。
[0059]综上所述,本发明所提供的涂布系统能够对待涂布的基板进行平面式异物检测,提高了异物检测的效率。同时,本发明不仅能够检测到位于基板上方的异物,还能够有效检测到位于基板下方的异物,进一步避免了涂布不良的风险。此外,本发明能够对异物的尺寸以及异物所在的位置建立三维模型,有利于更加快捷直观地进行异物检测,提高涂布良率。
[0060]可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种异物检测装置,其特征在于,包括并排设置的光发射单元和光接收单元,所述光发射单元用于发出照射在待检测的基板上的光,所述光接收单元用于检测所述基板反射回的反射光的光信号,所述光信号包括反射光的亮度分布信息以及反光点的位置信息,并且所述光接收单元具有能够将测得的所述光信号输出的输出端。
2.根据权利要求1所述的异物检测装置,其特征在于,所述光发射单元和所述光接收单元均为条形,所述光发射单元和所述光接收单元的长度均大于或等于待检测基板的宽度。
3.根据权利要求1所述的异物检测装置,其特征在于,所述光发射单元能够发出垂直于基板的光线。
4.根据权利要求3所述的异物检测装置,其特征在于,所述光发射单元包括透光盒和设置在所述透光盒中的条状光源和聚焦透镜,所述透光盒的朝向所述基板的一侧设置有一条狭缝,所述狭缝的延伸方向与所述条状光源的延伸方向一致,所述条状光源发出的光经过所述聚焦透镜汇聚后,通过所述狭缝射出。
5.根据权利要求4所述的异物检测装置,其特征在于,所述光发射单元还包括设置在所述条状光源和所述聚焦透镜之间的导光扩散板。
6.根据权利要求4所述的异物检测装置,其特征在于,所述条状光源包括条状发光二极管、排列为条状点阵的多个发光二极管、条状激光发射器中的任意一者。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的异物检测装置,其特征在于,所述光接收单元包括排列为条状的多个CCD摄像头或条状光电探测器中的任意一者。
8.一种涂布系统,包括喷嘴和异物检测装置,其特征在于,所述异物检测装置为权利要求I至7中任意一项所述的异物检测装置,所述异物检测装置固定在所述喷嘴沿涂布方向的前方,所述涂布系统还包括控制单元,所述光接收单元的输出端与所述控制单元相连,所述控制单元还与所述喷嘴相连,所述控制单元能够对接收到的所述光信号进行处理和判定,当所述控制单元判定所述光信号中某个反光点的反射光的亮度值低于预设值时,控制所述涂布系统停止工作。
9.根据权利要求8所述的涂布系统,其特征在于,所述涂布系统还包括驱动装置,所述驱动装置的输出端与所述喷嘴相连,用于驱动所述喷嘴在所述基板的上方移动,所述驱动装置的控制端与所述控制单元相连,当所述控制单元判定所述光信号中某个反光点的反射光的亮度值低于预设值时,向所述驱动装置的控制端发出控制信号,以控制所述驱动装置停止向所述喷嘴输出动力。
10.根据权利要求9所述的涂布系统,其特征在于,所述控制单元包括信号转换模块和判定模块,所述信号转换模块用于将所述光信号转成电信号,所述电信号包括异物尺寸和异物位置坐标, 所述判定模块用于将所述电信号中的异物尺寸与预设的阈值尺寸进行比较,以判定检测到的异物的尺寸是否超出预设范围。
11.根据权利要求10所述的涂布系统,其特征在于,所述控制单元还包括模型建立模块和显示模块,所述模型建立模块用于根据所述信号转换模块处理得到的所述电信号建立三维模型,所述显示模块用于展示所述三维模型,所述三维模型中包括异物在所述基板上的位置,以及异物的尺寸。
12.根据权利要求10所述的涂布系统,其特征在于,所述控制单元还包括报警模块,所述报警模块与所述判定模块相连,当所述判定模块判定所述电信号中的异物尺寸超出所述阈值尺寸时,发送异常信号给所述报警模块,所述报警模块接收到所述异常信号后发出报警信号。
【专利摘要】本发明公开了一种异物检测装置和涂布系统,所述异物检测装置包括并排设置的光发射单元和光接收单元,所述光发射单元用于发出照射在待检测的基板上的光,所述光接收单元用于检测所述基板反射回的反射光的光信号,所述光信号包括反射光的亮度分布信息以及反光点的位置信息,并且所述光接收单元具有能够将测得的所述光信号输出的输出端。本发明通过向基板发射光源并检测反射光的亮度变化情况来检测异物。与现有技术相比,本发明能够同时检测到位于基板上方和下方的异物,避免了由于基板被异物垫高而与喷嘴发生碰撞的风险。此外,本发明能够对异物进行平面式检测,有利于更加快捷地确定异物所在的位置。
【IPC分类】B05C11-00, G01S17-02
【公开号】CN104808213
【申请号】CN201510237955
【发明人】尹冬冬
【申请人】合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年5月11日
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