感应电流il的路线的效果变高。另一方面，随着长度L变长，标尺2E的机械强度变低。因此，从遮断感应电流il的路线的效果和机械强度的观点出发，适当地设置长度L相对于间隔S的比率。
[0080]图7是示出应用于第二实施例的标尺的变形例的示意平面图。
[0081]在图7所示的标尺2F中，在离第一边缘部251最近的轨道Tl和第一边缘部251之间设置限制图案221。在标尺2F中，不同于图6所示的标尺2E，没有设置限制图案(中间限制图案)222。
[0082]在标尺2F中，在轨道Tl和第一边缘部251之间设置限制图案221。即使在第一边缘部251的端面上存在诸如凹形状或凸形状等的不均匀部分，由于感应电流il的路线被限制图案221遮断，因此感应电流il的路线受到第一边缘部251侧的形状的影响也变小。
[0083]顺便提及，在图6所示的标尺2E中，说明了针对轨道Tl上的控制图案211设置限制图案221和222的示例。然而，可以针对其它的轨道T2和T3上的控制图案212和213分别设置相似的限制图案221和222。在这种情况下，两个邻近轨道之间所设置的限制图案222可以由这两个轨道兼用。在限制图案222由这两个轨道兼用的情况下，期望如下:根据对位置检测的分辨率施加的影响大的轨道T上的控制图案的周期、或者根据期望使磁场分布变得更均匀的轨道上的控制图案的周期，来设置限制图案222的周期。
[0084]此外，在图6和7分别所示的标尺2E和2F中，可以在所有的轨道Tl?T3上的各个控制图案211、212和213的两侧上分别设置限制图案221和222。
[0085]此外，在图6和7分别所示的标尺2E和2F中，已经说明了在与Y轴平行的方向上观看的情况下、控制图案211与限制图案221和222重叠的示例。然而，如图4A和4B以及图5A和5B所示，在与Y轴平行的方向上观看的情况下，可以使控制图案211与限制图案221和222不重叠。
[0086]其它夺形例
[0087]在上述实施例中，作为标尺2、2A?2F，已经例示了通过对导电性板材进行冲切或蚀刻所加工得到的带状标尺。然而，如图8的示意斜视图所示，可以在绝缘性基板(例如，玻璃基板)20的表面上形成标尺2G。通过利用铜箔覆盖基板20的表面、然后通过蚀刻等进行开口，来形成标尺2G上的控制图案21和限制图案22。
[0088]此外，在上述实施例中，已经主要说明了控制图案21和限制图案22是孔图案的示例。然而，控制图案21和限制图案22可以并非孔图案。
[0089]图9A和9B是例不控制图案和限制图案的其它形式的不意斜视图。
[0090]图9A所示的控制图案21和限制图案22被形成为相对于标尺2的材料表面呈凸型。图9B所示的控制图案21和限制图案22被形成为相对于标尺2的材料表面呈凹形。这样，在标尺2中以如下方式设置控制图案21和限制图案22就足够了:相对于其它部分，在与感应电流有关的阻抗方面有所不同。
[0091]此外，与Z轴平行的方向观看的情况下的控制图案21和限制图案22的形状不限于所示形状，而且还可以采用除正方形和矩形以外的诸如多边形、圆形、椭圆形或长圆形等的合适形状。
[0092]此外，在上述实施例中，已经说明了使多个限制图案22的周期与多个控制图案21的周期一致的示例。然而，这些周期也可以彼此不一致。
[0093]在根据实施例的感应型位置测量设备100中，形成有周期图案的标尺上的感应电流的流动受到标尺的边缘部或邻近图案的影响变小，并且可以进行精度高的位置测量。
[0094]已经说明了实施例和各种示例。然而，本发明不限于这些示例。例如，在本领域技术人员针对以上所述的实施例或各种示例适当地进行组件的添加或删除或者设计改变、或者适当地组合实施例或各种示例的特征的情况下，只要这些结果没有背离本发明的精神，这些结果就包括在本发明的范围内。
[0095]产牛h的可利用件
[0096]本发明可以用于线性编码器以外的旋转编码器。此外，本发明可以应用于绝对型和增量型这两种编码器。
【主权项】
1.一种感应型位置测量设备，包括: 标尺，其包括轨道、第一边缘部和第二边缘部，所述轨道包括沿着测量基准线按等间隔设置的用以控制感应电流的流动的多个控制图案，所述第一边缘部和所述第二边缘部位于所述测量基准线的两侧；以及 传感器，其被设置成能够沿着所述测量基准线与所述标尺相对地进行移动，以检测所述感应电流， 其中，所述标尺还包括至少设置在所述轨道和所述第一边缘部之间或者所述轨道和所述第二边缘部之间、并且用于限制所述感应电流的流动的限制图案。
2.根据权利要求1所述的感应型位置测量设备，其中，所述限制图案设置在所述轨道和所述第一边缘部之间以及所述轨道和所述第二边缘部之间。
3.根据权利要求1所述的感应型位置测量设备，其中，多个所述限制图案的周期等于多个所述控制图案的周期。
4.根据权利要求2所述的感应型位置测量设备，其中，多个所述限制图案的周期等于多个所述控制图案的周期。
5.根据权利要求1所述的感应型位置测量设备，其中， 所述轨道包括: 第一轨道，其包括沿着所述测量基准线按第一周期所设置的多个第一控制图案；以及 第二轨道，其与所述第一轨道并列设置，并且所述第二轨道包括沿着所述测量基准线按与所述第一周期不同的第二周期所设置的多个第二控制图案，以及 所述限制图案至少设置在所述第一轨道和所述第一边缘部之间、所述第一轨道和所述第二轨道之间、或者所述第二轨道和所述第二边缘部之间。
6.根据权利要求5所述的感应型位置测量设备，其中， 所述感应型位置测量设备是绝对式感应型位置测量设备，其中所述绝对式感应型位置测量设备用于基于所述第一轨道上的感应电流的检测结果和所述第二轨道上的感应电流的检测结果，来求出所述传感器相对于所述测量基准线的绝对位置， 所述限制图案包括设置在所述第一轨道和所述第二轨道之间的中间限制图案，以及 多个所述中间限制图案的周期等于所述第一轨道和所述第二轨道中对位置检测的分辨率施加的影响较大的轨道上的控制图案的周期。
【专利摘要】一种感应型位置测量设备包括标尺和传感器。该标尺包括：轨道，其具有沿着测量基准线按等间隔设置的用以控制感应电流的流动的多个控制图案；以及第一边缘部和第二边缘部，其位于测量基准线的两侧。该传感器被设置成能够沿着测量基准线与标尺相对地进行移动，以检测感应电流。该标尺还包括限制图案，这些限制图案至少设置在轨道和第一边缘部之间或者轨道和第二边缘部之间，并且用于限制感应电流的流动。
【IPC分类】G01B7-00, G01D5-20
【公开号】CN104819682
【申请号】CN201510056783
【发明人】辻胜三郎, 前田不二雄
【申请人】株式会社三丰
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年2月3日
【公告号】DE102015001040A1, US20150219434