引线框架形状检查装置以及引线框架间距离的测定方法
【专利说明】弓I线框架形状检查装置以及弓I线框架间距离的测定方法
[0001]关联申请
[0002]本申请享有以日本专利申请2014 — 28332号(申请日:2014年2月18日)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的全部内容。
技术领域
[0003]本发明的实施方式涉及引线框架(Leadframe)形状检查装置以及引线框架间距离的测定方法。
【背景技术】
[0004]存在有将2个引线框架进行组合的半导体装置。例如，光耦合装置具有以使粘接了发光元件的引线框架与粘接了受光元件的引线框架对置的状态进行接合的构造。
[0005]如果相互对置的发光元件与受光元件之间的距离发生变化，则光耦合装置的特性发生变化。
[0006]在将引线框架“一出多个”时，能够提高光耦合装置的生产率。但是，在引线框架内发光元件与受光元件之间的距离的变动较大时，光耦合装置的特性的变化变大。
[0007]对从引线框架单个地分离出的光耦合装置逐一地进行全数检查时，能够进行良品选别但生产率降低。
【发明内容】
[0008]本发明提供一种能够对以相互对置的方式进行接合的引线框架的形状进行检查的引线框架形状检查装置以及引线框架间距离的测定方法。
[0009]实施方式的引线框架形状检查装置包括引线框架接合体，该引线框架接合体构成粘接于第I引线框架的发光元件与粘接于第2引线框架的受光元件对置的对，并且在水平面内纵方向以及水平面内横方向被二维地配置。弓I线框架形状检查装置具备:光源部，能够放射可见光；第I镜部，使上述可见光朝向上述引线框架接合体弯曲；第2镜部，使透射了上述引线框架接合体的上述可见光弯曲；摄像部，受光通过上述第2镜部而被弯曲的上述可见光，并对透射图像进行拍摄；以及第I输送部，在上述引线框架接合体的2个水平面内间隙部，分别插入有上述第I镜部和上述第2镜部，并且能够在水平面内纵方向上按间距进行进给。
【附图说明】
[0010]图1是第一实施方式的引线框架形状检查装置的构成图。
[0011]图2中，图2(a)是构成引线框架接合体的第I引线框架的示意俯视图，图2 (b)是单位区域U的示意俯视图，图2(c)是沿着A — A线的示意剖视图。
[0012]图3中，图3(a)是构成引线框架接合体的第2引线框架的示意俯视图，图3 (b)是单位区域U的示意俯视图，图3(c)是沿着B — B线的示意剖视图。
[0013]图4中，图4(a)是对使用第一实施方式的引线框架形状检查装置的引线框架间距离的测定方法进行说明的示意俯视图，图4(b)是沿着C 一 C线的示意剖视图。
[0014]图5中，图5(a)是引线框架接合体的示意主视图，图5 (b)是利用本实施方式的引线框架形状检查装置而得到的透视图像。
【具体实施方式】
[0015]以下，参照【附图说明】本发明的实施方式。
[0016]图1是第一实施方式的引线框架形状检查装置的构成图。
[0017]引线框架形状检查装置包括引线框架接合体10，该引线框架接合体10构成粘接于第I引线框架12的发光元件80与粘接于第2引线框架14的受光元件82对置的对，并且在水平面内纵方向以及水平面内横方向被二维地配置。
[0018]引线框架形状检查装置具有光源部40、第I镜部30、第2镜部32、摄像部50、第I输送部90以及第2输送部92。
[0019]光源部40能够放射可见光VL1，例如，能够包括背光发光装置等。背光发光装置将来自LED (Light Emitting D1de)、LD (Laser D1de)等的发光元件的放射光、波长变换光，或者上述的混合光利用导光板进行导光、以扩散板使其散射等，从而放射可见光(包括白色光)。
[0020]第I镜部30使可见光VLl朝向引线框架接合体10弯曲。另外，第2镜部32使透射了引线框架接合体10的可见光VLl朝向摄像部50弯曲。第I镜部30以及第2镜部32能够设为由电介质多层膜等构成的高反射膜等。另外，其形状能够设为平板形状或者棱柱形状等。
[0021]摄像部50对通过第2镜部32而被弯曲了的可见光VL2进行受光。另外，摄像部50能够设为例如，CCD摄像机等。将第I镜部30、第2镜部32设为棱柱形状时，将弯曲角度设为90度，容易地将光学系统小型化。另外，将摄像部50配设于台70时，能够例如在XY面内进行驱动。
[0022]第I输送部90能够在XZ面内移动引线框架接合体10。在第I镜部30与第2镜部32之间，插入有设置于引线框架接合体10，且以发光元件/受光元件的对来构成的光耦合构造部。另外，第I输送部90能够将引线框架接合体10在X方向上按间距进给(对应日语:C ^子送>9 )。
[0023]引线框架形状检查装置还能够具有能够对由摄像部50拍摄到的透射图像信息頂进行图像处理的图像处理部60。
[0024]另外，引线框架形状检查装置还能够具有能够将摄像部50在引线框架接合体10的Y方向上按间距进给的第2输送部92。以此方式，能够省略将引线框架接合体10在Y方向上按间距进给的工序，能够缩短处理时间。
[0025]第I输送部90、第2输送部92能够具有包括马达等的引线框架进给机构。
[0026]图2 (a)是构成引线框架接合体的第I引线框架的示意俯视图，图2(b)是单位区域U的示意俯视图，图2 (c)是沿着A — A线的示意剖视图。
[0027]第I引线框架12设有下模垫(die pad)部12a、引线部12b、内框部12c以及外框部12d。在下模垫部12a接合有LED等的发光元件80。
[0028]I个第I引线框架12包括例如，在X(纵)方向10列、在Y(横)方向10行等的单位区域U，能够将出数(取>9数)设为100等。另外，如图2(c)所示，与下模垫部12a连接的引线部12b朝向上方弯曲，并且在与受光元件之间设有间隙部。
[0029]图3 (a)是构成引线框架接合体的第2引线框架的示意俯视图，图3(b)是单位区域U的示意俯视图，图3 (c)是沿着B — B线的示意剖视图。
[0030]第2引线框架14设有下模垫部14a、引线部14b、内框部14c以及外框部14d。在下模垫部14a接合有光电二极管等的受光元件82。
[0031]I个第2引线框架14包括例如，在X方向10列、在Y方向10行等的单位区域U，能够将出数设为100等。另外，如图3(c)所示，下模垫部14a被朝向下方弯曲，并且在与发光元件之间设有间隙部。
[0032]以与第I引线框架12的下模垫部12a粘接的发光元件80 (发光中心Ot)和与第2引线框架14的下模垫部14a粘接的受光元件82 (受光中心Or)相互对置的方式，并且从上方观察而发光中心Ot与受光中心Or —致的方式，使第I引线框架12与第2引线框架14重叠。因此，在第I引线框架12的下模垫部12a与第2引线框架14的下模垫部14a之间，产生垂直方向间隙部16。另外，设有贯通孔12e、14e等时，容易地收纳于料盘等。
[0033]图4(a)是对使用第一实施方式的引线框架形状检查装置的引线框架间距离的测定方法进行说明的示意俯视图，图4(b)是沿着C 一 C线的示意剖视图。
[0034]以构成包括粘接于第I引线框架12的发光元件80与粘接于第2引线框架14的受光元件82对置的对的光耦合构造部的方式，通过对第I引线框架12和第2引线框架14进行金属接合等来形成引线框架接合体10。金属接合是使用YAG激光焊接、电阻焊接，银焊等，将2个引线框架的外框部12d与14d进行接合。
[0035]以