9。
[0044]本实施例的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器6可以测量移动平面反射镜3反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
[0045]作为进一步的优选方案，在所述激光源1、微动平面反射镜2、干涉测量光电探测器4、分光镜组5、反射测量光电探测器6中任意两个之间的激光束设置在封闭空间内而不与外部环境空间接触。在本申请中，激光源1、微动平面反射镜2、干涉测量光电探测器4、分光镜组5和反射测量光电探测器6这些部件任意两个之间的激光束设置在封闭空间内，使得在进行测量的过程中，上述这些部件之间的激光束并不会受到环境因素的影响，进而保证了本申请激光干涉仪的测量精度。
[0046]作为进一步的优选方案，所述分光镜组5与所述移动平面反射镜3之间的激光束暴露在环境空气之中。在实际使用时，移动平面反射镜3设置在被测物体上，随被测物体运动，所以在本申请中，将分光镜组5与移动平面反射镜3之间的激光束暴露在环境空气之中，首先是使得本申请激光干涉仪结构简单，同时还方便本申请激光干涉仪的布置。
[0047]实施例2，如图示，一种用于对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪的标定方法，包括下述步骤:
[0048]步骤一、位置调整:调整好激光源1、微动平面反射镜2、分光镜组5、干涉测量光电探测器4、反射测量光电探测器6和移动平面反射镜3的位置；
[0049]步骤二、调整光路:启动所述激光源I，进一步精确调整微动平面反射镜2、分光镜组5、干涉测量光电探测器4、反射测量光电探测器6和移动平面反射镜3的位置，使激光干涉仪的光路达到设计要求；
[0050]步骤三、生成最强干涉数据库:在空气洁净的环境下控制所述微动平台10移动，当射向所述干涉测量光电探测器4的干涉光束为最强相长干涉时固定所述微动平台10，记录此时反射测量光电探测器6读数和干涉测量光电探测器4读数，改变空气环境使所述反射测量光电探测器6读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器6读数以及对应的干涉测量光电探测器4读数，得到最强干涉数据库。
[0051]本实施例的激光干涉仪结构以及标定方法，在最强相长干涉时，改变测量环境，记录反射测量光电探测器6读数和干涉测量光电探测器4读数形成最强干涉数据库，在实际测量过程中，如果存在由于环境因素而导致干涉测量光电探测器4不能够正常检测到最强相长干涉时，可以根据反射测量光电探测器6读数和干涉测量光电探测器4读数与最强干涉数据库中的数据进行比对，如果存在有匹配数据，则该位置为最强相长干涉，如此使得本实施例的激光干涉仪实现抗环境干扰的能力。
[0052]作为本实施例的优选方案，本实施例的标定方法还包括有步骤四、生成最弱干涉数据库:在空气洁净的环境下控制所述微动平台10移动，当射向所述干涉测量光电探测器4的干涉光束为最弱相消干涉时固定所述微动平台10，记录此时反射测量光电探测器6读数和干涉测量光电探测器4读数，改变空气环境使所述反射测量光电探测器6读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器6读数以及对应的干涉测量光电探测器4读数，得到最弱干涉数据库。
[0053]作为进一步的优选方案，本申请的标定方法还包括有步骤五、生成l/η波长干涉数据库，η为大于或等2的正整数:在空气洁净的环境下控制所述微动平台10移动，当射向所述干涉测量光电探测器4的干涉光束为最强相长干涉时，再继续移动1/2η波长的距离，记录此时反射测量光电探测器6读数和干涉测量光电探测器4读数，然后改变空气环境使所述反射测量光电探测器6读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器6读数以及对应的干涉测量光电探测器4读数，得到l/η波长干涉数据库。
[0054]在两束激光发生干涉时，相邻的最强相长干涉与最弱相消干涉之间的光程差为半个波长，在本申请的标定方法中，对最强相长干涉、最弱相消干涉、l/η波长干涉都进行了标定，也就是说，在采用本申请的激光干涉仪进行实际测量时，可以根据反射测量光电探测器6读数和干涉测量光电探测器4读数与最强干涉数据库、最弱干涉数据库、l/η波长干涉数据库中的数据进行比对，根据数据的匹配情况确定该位置是最强相长干涉、最弱相消干涉还是l/η波长干涉。使得本申请的激光干涉仪不仅能够抗环境干扰，而且还提高了测量精度。
[0055]实施例3，如图示，一种采用对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪和标定方法的测量方法:
[0056]在实际测量环境中，设所述反射测量光电探测器6测量到的信号读数为X，所述干涉测量光电探测器4测量得到的信号读数为y，将χ值和y值在最强干涉数据库、最弱干涉数据库、l/η波长干涉数据库中进行比对，当χ值和I值与最强干涉数据库中的某一组值相匹配，则认为此位置为最强相长干涉位置，当χ值和I值与最弱干涉数据库中的某一组值相匹配，则认为此位置为最弱相消干涉位置，当χ值和I值与l/η波长干涉数据库中的某一组值相匹配，则认为此位置为l/η波长干涉位置。
[0057]本实施例的测量方法，通过χ值和y值确定当前干涉光束的干涉情况，以此实现抗环境干扰的能力，同时还提高了测量精度。
[0058]作为本实施例的优选方案，设定y值的匹配阈值Λ，设最强干涉数据库、最弱干涉数据库、l/η波长干涉数据库中干涉测量光电探测器对应的数值为r，根据χ值对最强干涉数据库、最弱干涉数据库、l/η波长干涉数据库进行y’的查询，如果存在y’使I y_y’ < Δ,再区分y’所在的数据库，如果y’在最强干涉数据库内，则认为此位置为最强相长干涉位置，如果y’在最弱干涉数据库内，则认为此位置为最弱相消干涉位置，如果y’在l/η波长干涉数据库内，则认为此位置为l/η波长干涉位置。
[0059]作为进一步的优选方案，设最强干涉数据库、最弱干涉数据库、l/η波长干涉数据库中反射测量光电探测器对应的数值为χ’，在实际测量中，选择最接近实际测量值χ的X’作为匹配值，根据χ’值对最强干涉数据库、最弱干涉数据库、l/η波长干涉数据库进行y’进行查询，如果存在y’使|y_y’ |〈 Λ，再区分y’所在的数据库，如果y’在最强干涉数据库内，则认为此位置为最强相长干涉位置，如果I，在最弱干涉数据库内，则认为此位置为最弱相消干涉位置，如果I，在l/η波长干涉数据库内，则认为此位置为l/η波长干涉位置。
[0060]作为本实施例的优选方案，所述匹配阈值Λ的大小保证在进行数据查询时，当满足ly-y’ |〈Λ时，y’为唯一值。当匹配阈值Λ较大时，可能会出现一组χ值和y值匹配到两组或者多组χ’值和y’值，给测量带来不便，所以先匹配阈值Λ，使在测量过程中一组χ值和I值最多匹配一组χ’值和I’值，方便测量。
[0061]作为本实施例的优选方案，所述匹配阈值Λ的大小按照实际测量的精度要求进行设定，当需要高精度的测量值时，采用较小的匹配阈值，当不需要高精度测量值而希望较快测量时，采用较大的匹配阈值。
[0062]作为进一步的优选方案，设Λ= 5%。
[0063]在本实施例的测量方法中，通过设置匹配阈值Λ，根据实际测量精度的需要设置匹配阈值Λ的大小，以此方便测量过程