中，数据的匹配选择，降低测量难度。
[0064]以上实施例仅用以说明本发明而并非限制本发明所描述的技术方案，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本发明已进行了详细的说明，但本发明不局限于上述【具体实施方式】，因此任何对本发明进行修改或等同替换；而一切不脱离发明的精神和范围的技术方案及其改进，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
【主权项】
1.一种对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜、分光镜组和微动平台，所述微动平面反射镜设置在所述微动平台上，所述激光源射出的激光束经所述分光镜组后分为第一激光束和第二激光束，所述第一激光束射向所述微动平面反射镜，经所述微动平面反射镜反射后再次射向所述分光镜组，再经分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器，所述第二激光束射向所述移动平面反射镜，经所述移动平面反射镜反射后再次射向所述分光镜组，经分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器，所述第一激光束与第二激光束在射向所述干涉测量光电探测器时发生干涉，其特征在于，所述对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪还包括有反射测量光电探测器，所述第二激光束在由所述移动平面反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。2.如权利要求1所述的对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述分光镜组包括有第一分光镜和第二分光镜，所述激光源射出的激光束先射到第一分光镜，经第一分光镜反射形成第一激光束，经第一分光镜透射形成第二激光束，第一激光束射向所述微动平面反射镜，经反射后再次射向所述第一分光镜，然后再透射过所述第一分光镜，所述第二激光束射向所述第二分光镜，经所述第二分光镜透射后射向所述移动平面反射镜，经所述移动平面反射镜反射后再射向所述第二分光镜，经所述第二分光镜透射后射向所述第一分光镜，并且与从所述第一分光镜透射出的第一激光束发生干涉，形成干涉光束后射向所述干涉测量光电探测器，由所述移动平面反射镜射向所述第二分光镜的所述第二激光束还被所述第二分光镜反射形成所述反射激光束。3.一种用于权利要求1或2任意一项所述的对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪的标定方法，其特征在于，包括下述步骤: 步骤一、位置调整:调整好激光源、微动平面反射镜、分光镜组、干涉测量光电探测器、反射测量光电探测器和移动平面反射镜的位置； 步骤二、调整光路:启动所述激光源，进一步精确调整微动平面反射镜、分光镜组、干涉测量光电探测器、反射测量光电探测器和移动平面反射镜的位置，使激光干涉仪的光路达到设计要求； 步骤三、生成最强干涉数据库:在空气洁净的环境下控制所述微动平台移动，当射向所述干涉测量光电探测器的干涉光束为最强相长干涉时固定所述微动平台，记录此时反射测量光电探测器读数和干涉测量光电探测器读数，改变空气环境使所述反射测量光电探测器读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器读数以及对应的干涉测量光电探测器读数，得到最强干涉数据库。4.如权利要求3所述的标定方法，其特征在于，还包括有步骤四、生成最弱干涉数据库:在空气洁净的环境下控制所述微动平台移动，当射向所述干涉测量光电探测器的干涉光束为最弱相消干涉时固定所述微动平台，记录此时反射测量光电探测器读数和干涉测量光电探测器读数，改变空气环境使所述反射测量光电探测器读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器读数以及对应的干涉测量光电探测器读数，得到最弱干涉数据库。5.如权利要求4所述的标定方法，其特征在于，还包括有步骤五、生成I/η波长干涉数据库，η为大于或等2的正整数:在空气洁净的环境下控制所述微动平台移动，当射向所述干涉测量光电探测器的干涉光束为最强相长干涉时，再继续移动1/2η波长的距离，记录此时反射测量光电探测器读数和干涉测量光电探测器读数，然后改变空气环境使所述反射测量光电探测器读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器读数以及对应的干涉测量光电探测器读数，得到I/η波长干涉数据库。6.一种采用权利要求1或2所述的对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪和权利要求5所述的标定方法的测量方法，其特征在于，在实际测量环境中，设所述反射测量光电探测器测量到的信号读数为X，所述干涉测量光电探测器测量得到的信号读数为y，将X值和y值在最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库中进行比对，当X值和y值与最强干涉数据库中的某一组值相匹配，则认为此位置为最强相长干涉位置，当X值和I值与最弱干涉数据库中的某一组值相匹配，则认为此位置为最弱相消干涉位置，当X值和I值与I/η波长干涉数据库中的某一组值相匹配，则认为此位置为I/η波长干涉位置。7.如权利要求6所述的测量方法，其特征在于，设定y值的匹配阈值，设最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库中干涉测量光电探测器对应的数值为y’，根据X值对最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库进行y’的查询，如果存在y’使，再区分y’所在的数据库，如果y’在最强干涉数据库内，则认为此位置为最强相长干涉位置，如果y’在最弱干涉数据库内，则认为此位置为最弱相消干涉位置，如果y’在I/η波长干涉数据库内，则认为此位置为I/η波长干涉位置。8.如权利要求7所述的测量方法，其特征在于，设最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库中反射测量光电探测器对应的数值为X’，在实际测量中，选择最接近实际测量值X的X’作为匹配值，根据X’值对最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库进行y’进行查询，如果存在y’使，再区分y’所在的数据库，如果y’在最强干涉数据库内，则认为此位置为最强相长干涉位置，如果y’在最弱干涉数据库内，则认为此位置为最弱相消干涉位置，如果y’在I/η波长干涉数据库内，则认为此位置为I/η波长干涉位置。9.如权利要求7或8所述的测量方法，其特征在于，所述匹配阈值的大小保证在进行数据查询时，当满足时，I，为唯一值。10.如权利要求9所述的测量方法，其特征在于，所述匹配阈值的大小按照实际测量的精度要求进行设定，当需要高精度的测量值时，采用较小的匹配阈值，当不需要高精度测量值时，采用较大的匹配阈值。
【专利摘要】本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜、分光镜组和微动平台，所述微动平面反射镜设置在所述微动平台上，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
【IPC分类】G01B9/02
【公开号】CN105004263
【申请号】CN201510289678
【发明人】张白, 毛建东
【申请人】北方民族大学
【公开日】2015年10月28日
【申请日】2015年5月29日