形状测量方法和形状测量装置的制造方法_5

文档序号:9308381阅读:来源:国知局
光切断线的亮度的像素的情况下,由于无须使纵向区域152 沿另一方的方向延伸,故可使图像处理时间和处理量减少。
[0216] 或者,图像识别单元143不管光切断线沿一个方向(例如,上方向)是否呈凸起的 形状,设定仅沿该方向延伸的纵向区域152,在该纵向区域152内未检测到具有相当于光切 断线的亮度的像素的情况下,设定沿与该方向相反的方向(例如,下方向)延伸的纵向区域 152也是可能的。
[0217](第二实施方式)
[0218] 在上述第一实施方式的形状测量装置100中,图像识别单元143设定纵向区域 152,决定统合了整个纵向区域152的区域153作为实施下次图像处理的区域。
[0219] 与此相对照,在第二实施方式的形状测量装置中,图像识别单元143如下面将要 述及的那样,决定实施下次图像处理的区域。
[0220] 图19为在本实施方式中,示出决定下次的图像处理小区的过程的概略图。
[0221] 图像识别单元143若从反射光的图像抽出光切断线160,则设定将该光切断线160 的最上部161和最下部162分别定为上边171和下边172,将每单位时间中光切断线160所 变化的左右方向的最大值定为左边173和右边174的长方形170。
[0222] 下次的图像处理在长方形170内进行。
[0223] 按照本实施方式,与第一实施方式不同,由于没有分割图像的必要性,可将处理时 间缩得较短。
【主权项】
1. 一种形状测量方法,从被投影到在规定方向移动的目标物上的狭缝光的反射光抽出 光切断线,基于该光切断线测量上述目标物的立体形状,所述形状测量方法包括: 第一过程,在包含所抽出的光切断线的区域内描绘沿上述规定的方向延伸的N(N为1 以上的整数)个小区分割线,将该区域分割成(N+1)个小区; 第二过程,设定以位于各小区内的光切断线的位置为中心,在上述规定方向扩展了预 定数目的像素的量的纵向区域;以及 第三过程,在上述第二过程中所设定的每一上述小区的上述纵向区域的总区域内,进 行图像处理。2. 如权利要求1所述的形状测量方法,其特征在于,包括: 第四过程,在上述总区域中,在未检测到具有相当于光切断线的亮度的像素的情况下, 将上述纵向区域在上述规定方向依次扩展预定数目的像素的量。3. 如权利要求1或2所述的形状测量方法,其特征在于,上述N根据噪声量决定。4. 如权利要求1至3的任一项中所述的形状测量方法,其特征在于,上述N在噪声量 超越预定的阈值的情况下,由30以上的范围决定;在噪声量为上述阈值以下的情况下,由1 至29的范围决定。5. 如权利要求1至4的任一项中所述的形状测量方法,其特征在于,上述预定的数目根 据上述目标物的移动速度决定。6. 如权利要求1至5的任一项中所述的形状测量方法,其特征在于,上述预定的数目根 据伴随上述目标物移动的上述目标物的每单位时间的形状变化量决定。7. 如权利要求1至6的任一项中所述的形状测量方法,其特征在于,在上述第二过程 中,在上述光切断线沿一个方向形成凸起形状的情况下,设定仅仅沿上述一个方向延伸的 上述纵向区域。8. 如权利要求7所述的形状测量方法,其特征在于,在上述纵向区域的全部区域内,在 仅仅沿上述一个方向延伸的上述纵向区域内未检测到具有相当于光切断线的亮度的像素 的情况下,设定沿与上述一个方向相反的方向延伸的上述纵向区域。9. 如权利要求1至6的任一项中所述的形状测量方法,其特征在于,在上述第二过程 中,设定仅仅沿上述规定的方向或与上述规定的方向相反的方向延伸的上述纵向区域。10. 如权利要求9所述的形状测量方法,其特征在于,在上述纵向区域的全部区域内, 在未检测到具有相当于光切断线的亮度的像素的情况下,设定沿相反的方向延伸的上述纵 向区域。11. 一种形状测量方法,从被投影到在规定方向移动的目标物上的狭缝光的反射光抽 出光切断线,基于该光切断线测量上述目标物的立体形状,所述形状测量方法包括: 第一过程,设定将所抽出的光切断线的最上部和最下部分别定为上边和下边,将每单 位时间内上述光切断线所变化的左右方向的最大值定为左边和右边的四边形;以及 第二过程,在上述第一过程中所设定的上述四边形内的区域中进行图像处理。12. -种形状测量装置,包括:将狭缝光照射到在规定方向移动的目标物上的光源;对 上述目标物的表面上所反射的反射光进行摄像的摄像装置;仅仅使规定波长的反射光通过 上述摄像装置的滤光片;以及控制上述光源和上述摄像装置的工作,并且基于从上述反射 光的图像所抽出的光切断线,测量上述目标物的立体形状的控制装置,其中, 上述控制装置从上述反射光的图像抽出光切断线, 在包含所抽出的光切断线的区域内描绘沿上述规定的方向延伸的N(N为1以上的整 数)个小区分割线,将该区域分割成(N+1)个小区, 设定以位于各小区内的光切断线的位置为中心,在上述规定方向扩展了预定数目的像 素的量的纵向区域, 在每个上述小区的上述纵向区域的总区域内进行图像处理。13. 如权利要求12所述的形状测量装置,其特征在于,上述控制装置在上述总区域内, 在未检测到具有相当于光切断线的亮度的像素的情况下,将上述纵向区域在上述规定方向 依次扩展预定数目的像素的量。14. 如权利要求12或13所述的形状测量装置,其特征在于,上述控制装置根据噪声量 决定上述N。15. 如权利要求12至14的任一项中所述的形状测量装置,其特征在于,上述控制装置 在噪声量超越预定的阈值的情况下,由30以上的范围决定上述N,在噪声量为上述阈值以 下的情况下,由1至29的范围决定上述N。16. 如权利要求12至15的任一项中所述的形状测量装置,其特征在于,上述控制装置 根据上述目标物的移动速度决定上述预定的数目。17. 如权利要求12至16的任一项中所述的形状测量装置,其特征在于,上述控制装置 根据伴随上述目标物移动的上述目标物的每单位时间的形状变化量决定上述预定的数目。18. 如权利要求12至16的任一项中所述的形状测量装置,其特征在于,上述控制装置 根据上述摄像装置的扫描周期决定上述预定的数目。19. 如权利要求12至18的任一项中所述的形状测量装置,其特征在于,上述控制装置 在上述光切断线沿一个方向形成凸起形状的情况下,设定仅仅沿上述一个方向延伸的上述 纵向区域。20. 如权利要求19所述的形状测量装置,其特征在于,上述控制装置在仅仅沿上述一 个方向延伸的上述纵向区域内未检测到具有相当于光切断线的亮度的像素的情况下,设定 沿与上述一个方向相反的方向延伸的上述纵向区域。21. 如权利要求12至18的任一项中所述的形状测量装置,其特征在于,上述控制装置 设定仅仅沿上述规定的方向或与上述规定的方向相反的方向延伸的上述纵向区域。22. 如权利要求21所述的形状测量装置,其特征在于,上述控制装置在上述纵向区域 内未检测到具有相当于光切断线的亮度的像素的情况下,设定沿相反的方向延伸的上述纵 向区域。23. -种形状测量装置,包括:将狭缝光照射到在规定方向移动的目标物上的光源;对 上述目标物的表面上所反射的反射光进行摄像的摄像装置;在上述摄像装置中仅仅使规定 波长的反射光通过的滤光片;以及控制上述光源和上述摄像装置的工作,并且基于从上述 反射光的图像所抽出的光切断线,测量上述目标物的立体形状的控制装置,其中, 上述控制装置从上述反射光的图像抽出光切断线, 设定将上述光切断线的最上部和最下部分别定为上边和下边,将每单位时间内上述光 切断线所变化的左右方向的最大值定为左边和右边的四边形, 在上述四边形内的区域中进行图像处理。24. 如权利要求12至23的任一项中所述的形状测量装置,其特征在于,上述滤光片由 移动平均滤光片、高斯滤光片和中值滤光片中的任一种或两种以上组成。25. -种程序,其使计算机执行形状测量方法,该形状测量方法从被投影到在规定方向 移动的目标物上的狭缝光的反射光抽出光切断线,基于该光切断线测量上述目标物的立体 形状, 上述程序使上述计算机执行的处理包括: 第一处理,在包含所抽出的光切断线的区域内描绘沿上述规定的方向延伸的N(N为1 以上的整数)个小区分割线,将该区域分割成(N+1)个小区; 第二处理,设定以位于各小区内的光切断线的位置为中心,在上述规定方向扩展了预 定数目的像素的量的纵向区域;以及 第三处理,在上述第二处理中所设定的每个上述小区的上述纵向区域的总区域内进行 图像处理。26. -种程序,其使计算机执行形状测量方法,该形状测量方法从被投影到在规定方向 移动的目标物上的狭缝光的反射光抽出光切断线,基于该光切断线测量上述目标物的立体 形状, 上述程序使上述计算机执行的处理包括: 第一处理,设定将所抽出的光切断线的最上部和最下部分别定为上边和下边,将每单 位时间内上述光切断线所变化的左右方向的最大值定为左边和右边的四边形;以及 第二处理,在上述第一处理中所设定的上述四边形内的区域中进行图像处理。
【专利摘要】本发明的目的在于,缩短在光切断法中光切断线的检测所需的时间,进而,使目标物的形状测量的精度提高。在本发明的形状测量方法中,在包含所抽出的光切断线(160)的区域内描绘小区分割线(150),在分割成小区(151)后,设定以位于各小区(151)内的光切断线(160)的位置为中心,沿上下方向扩展了多个像素的量的纵向区域(152)。在纵向区域(152)的总区域(153),进行下次的图像处理。
【IPC分类】G01B11/24
【公开号】CN105026881
【申请号】CN201280072658
【发明人】太田佳孝
【申请人】株式会社尼利可
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2012年10月12日
【公告号】EP2908091A1, US20150153161, WO2014057580A1
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